مختلف قسم کے ری ایکٹرز کے درمیان ساختی فرق

ری ایکشن چیمبر کنفیگریشن کی بنیاد پر، ہیٹ ٹریٹمنٹ کا سامان (فرنس ٹیوب کا سامان) بنیادی طور پر تین قسموں میں تقسیم کیا جاتا ہے: عمودی فرنس ٹیوب، افقی فرنس ٹیوب، اور ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP) فرنس۔

عمودی فرنس ٹیوبوں میں کوارٹج ٹیوبیں عمودی طور پر ترتیب دی جاتی ہیں، جن میں ویفرز کو گرم کرنے کے لیے ٹیوبوں کے ارد گرد رکھا جاتا ہے۔ ان کے اہم فوائد میں درجہ حرارت کی یکساں تقسیم، ماحول کا عین مطابق کنٹرول، ہائی آٹومیشن، کم ذرات کی آلودگی، چھوٹے فٹ پرنٹ، اور بیچ پروسیسنگ کے لیے سپورٹ (خاص طور پر 12 انچ ویفرز کے لیے موزوں) ہیں، جو انھیں فی الحال دستیاب مرکزی دھارے کا سامان بناتے ہیں۔ عالمی مارکیٹ کا حجم 2024 میں $3.2 بلین تک پہنچ گیا (SEMI ڈیٹا)۔ ان کے نقصانات میں آسان گیس مائع علیحدگی شامل ہے، اور درمیانے درجے کا نیچے کی طرف بہاؤ ممکنہ طور پر فرنس ٹیوب کو جلانے کا سبب بنتا ہے۔

افقی فرنس ٹیوبوں میں افقی طور پر کوارٹج ٹیوبیں رکھی گئی ہیں، جو ایک وقت میں 100-200 ویفرز پر کارروائی کرتی ہیں۔ ان کے فوائد میں فرنس ٹیوب کے اندر یکساں گیس مائع بہاؤ اور زیادہ درست درجہ حرارت کا کنٹرول شامل ہے۔ ان کے نقصانات میں ایک بڑا نقشہ اور ہائی الائے اسٹیل انٹرمیڈیٹ ٹیوب سپورٹ کا زیادہ استعمال شامل ہے۔ ساختی طور پر، افقی فرنس ٹیوبیں پروسیسنگ کے لیے ویفرز کو افقی ٹیوبوں کے اندر عمودی طور پر رکھتی ہیں۔

ریپڈ تھرمل اینیلنگ (RTP) بھٹیاں سنگل ویفرز کو تیزی سے گرم کرنے کے لیے ہالوجن انفراریڈ لیمپ کا استعمال کرتی ہیں، تیز حرارتی اور کولنگ کی شرحیں پیش کرتی ہیں جو چیمبر کے درجہ حرارت کو تبدیل کیے بغیر صرف ویفر کے درجہ حرارت کو تبدیل کرتی ہیں۔ وہ چھوٹے بیچ کی تیز رفتار اینیلنگ کے لیے موزوں ہیں لیکن بڑے پیمانے پر پیداوار کے لیے نہیں۔

ویفر پروسیسنگ میں، افقی فرنس ٹیوبیں ویفر کو کوارٹج بوٹ پر رکھتی ہیں، جو بدلے میں سلکان کاربائیڈ (SiC) سپورٹ فریم پر ٹکی ہوئی ہے۔ اس کے بعد سپورٹ فریم کو کوارٹج فرنس ٹیوب میں دھکیل دیا جاتا ہے، جہاں ویفر ایک مستقل درجہ حرارت والے زون میں رد عمل سے گزرتا ہے۔ دوسری طرف، عمودی فرنس ٹیوبیں، ویفر کو کوارٹج ٹاور پر رکھتی ہیں اور آہستہ آہستہ اسے پروسیسنگ کے لیے کوارٹج فرنس ٹیوب میں اٹھاتی ہیں۔ رد عمل کے بعد، موڑنے یا ٹوٹنے سے بچنے کے لیے ویفر کو آہستہ آہستہ نیچے کیا جاتا ہے۔

Semicorex اپنی مرضی کے مطابق اعلی معیار کی فراہمی کرتا ہے۔کوارٹج فرنس ری ایکٹر. ہماری مصنوعات کو اعلی تھرمل استحکام، توسیعی سروس لائف، اور غیر معمولی عمل کی مستقل مزاجی فراہم کرنے کے لیے انجنیئر کیا گیا ہے۔ اپنی مرضی کے مطابق حل یا اضافی تکنیکی معلومات کے لیے، براہ کرم بلا جھجھک ہماری انجینئرنگ ٹیم سے رابطہ کریں۔

فون: +86-13567891907

ای میل: sales@semicorex.com