گریفائٹ سسیپٹرز پر CVD SiC کوٹنگ کیوں لگائیں؟

تیسری نسل کی سیمی کنڈکٹر صنعت تیزی سے صلاحیت کی توسیع سے گزر رہی ہے۔ سلکان کاربائیڈ (SiC) اور گیلیم نائٹرائڈ (GaN) ایپیٹیکسی عمل اعلی درجہ حرارت کے آپریٹنگ ماحول، انتہائی اعلیٰ پاکیزگی والے خام مال اور چھوٹے چپ آلات کی طرف تیار ہوتے رہتے ہیں۔ اس کے باوجود، سخت اعلی درجہ حرارت اور انتہائی سنکنرن کام کرنے والے حالات کے سامنے آنے والے روایتی غیر کوٹیڈ گریفائٹ سسیپٹرز پراسس کی آلودگی، مختصر سروس لائف اور بار بار آلات کی بندش، مسلسل پروڈکشن لائن کی کارکردگی اور چپ کی پیداوار کو محدود کرنے سمیت درد کے اہم مقامات کو متحرک کرتے ہیں۔ صنعت کے ان چیلنجوں سے نمٹنے کے لیے، CVD سلکان کاربائیڈ کوٹنگ سلوشنز، خصوصی مادی کارکردگی کی خوبیوں کے ساتھ، جدید MOCVD اور MBE ایپیٹیکسی پروڈکشن لائنوں کے لیے بہترین انتخاب بن گئے ہیں۔

اعلی درجے کی مینوفیکچرنگ میں Uncoated Graphite Susceptors کی بڑی خرابیاں

سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی مینوفیکچرنگ انتہائی کام کرنے والے حالات میں کام کرتی ہے۔ SiC اور GaN epitaxy کے عمل کو 1000 ° C سے 1600 ° C کے درمیان مستحکم اعلی درجہ حرارت کی ضرورت ہوتی ہے۔گریفائٹ سسیپٹرsہائیڈروجن، امونیا اور ہائیڈروجن کلورائیڈ جیسی انتہائی رد عمل والی گیسوں کا مسلسل سامنا رہتا ہے، جس سے تین ناقابل واپسی مسائل پیدا ہوتے ہیں:

1. ذرات سے پیدا ہونے والی آلودگی

غیر محفوظ گریفائٹ سسپٹرز میں بہت زیادہ سوراخ ہوتے ہیں۔ اعلی درجہ حرارت کے تحت، وہ گیس کے کٹاؤ اور سطح کے پھیلنے کے لیے حساس ہوتے ہیں، باریک ذرات پیدا کرتے ہیں۔ ایک بار جب یہ ذرات epitaxial تہوں سے منسلک ہو جاتے ہیں، تو وہ اعلی کثافت کے نقائص پیدا کرتے ہیں اور پاور ڈیوائسز اور آپٹو الیکٹرانک چپس کی پیداوار کو کافی حد تک کم کر دیتے ہیں۔ موجودہ صنعت کی پاکیزگی کے معیار کو 7N (99.99999%) تک بڑھا دیا گیا ہے۔ ٹریس نجاست ڈیوائس کے رساو اور آپٹو الیکٹرانک کارکردگی کو کم کرنے کا سبب بنے گی۔

2. گریفائٹ اجزاء کی تیزی سے عمر بڑھ رہی ہے۔

ننگے گریفائٹ susceptors کیمیائی سنکنرن مزاحمت کی کمی ہے. سنکنرن ماحول میں طویل مدتی نمائش آکسیڈیٹیو پہننے کا سبب بنتی ہے، جس سے اجزاء جیسے سسپٹرس، ہیٹ انسولیشن بیرل اور فلو گائیڈ آستین کے انحطاط کو تیز کرتا ہے، جس کے نتیجے میں استعمال کے قابل حصولی اخراجات میں مسلسل اضافہ ہوتا ہے۔ مزید برآں، گریفائٹ سسپٹرز کے لیے عمر بڑھنے کی شرح کا کوئی متفقہ معیار نہیں ہے، جس کی وجہ سے سسپٹرز کے متبادل وقت کی درست پیش گوئی کرنا ناممکن ہو جاتا ہے، جس سے پیداواری نظام الاوقات میں آسانی سے خلل پڑتا ہے۔

سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کا طریقہ کار اور فوائد

گریفائٹ مواد میں بہترین تھرمل چالکتا اور اعلیٰ مشینی صلاحیت ہوتی ہے، جو انہیں ایپیٹیکسی سسپٹرز کے لیے مثالی اختیارات بناتی ہے۔ تاہم، اس کی موروثی کیمیائی رد عمل کی خامیوں کو ختم نہیں کیا جا سکتا، جس سے اعلی درجہ حرارت، انتہائی سنکنرن ایپیٹیکسی ماحول میں اس کا اطلاق محدود ہو جاتا ہے۔ کیمیائی بخارات جمع (CVD)سلکان کاربائیڈکوٹنگ ٹکنالوجی بنیادی طور پر مادی ترمیم کے ذریعے گریفائٹ سسپٹرز اور انتہائی عمل کے ماحول کے درمیان انٹرفیس کی مطابقت کے تنازعہ کو حل کرتی ہے۔

ایک مہر بند ری ایکشن چیمبر کے اندر، CVD عمل گیس فیز ری ایکشن کو ٹھیک ٹھیک کنٹرول کرتا ہے۔ سلکان کاربن پیشگی گیسیں درست طریقے سے ریگولیٹڈ درجہ حرارت کے تحت گل جاتی ہیں، جوہری سطح پر گریفائٹ سبسٹریٹس پر سلکان کاربائیڈ کرسٹل جمع کر کے ایک ہموار، مکمل طور پر گھنے ہرمیٹک حفاظتی تہہ بناتی ہیں۔ کوٹنگ اور سبسٹریٹ کے درمیان ایٹم بانڈنگ بنتی ہے، جو سنکنرن گیسوں کے داخلے کو روکتی ہے اور اندرونی گریفائٹ کی نجاستوں کو پھنساتی ہے، جبکہ سبسٹریٹ کی اعلی تھرمل چالکتا اور درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کی طاقت کو مکمل طور پر برقرار رکھتی ہے۔ جامع ڈھانچہ شاندار تحفظ اور مستحکم تھرمل فیلڈ کی کارکردگی میں توازن رکھتا ہے۔

Semicorex CVD SiC کوٹنگ سلوشنز کو کیا چیز نمایاں کرتی ہے؟

CVD سلکان کاربائیڈ لیپت گریفائٹ سسپٹرز محض ایک سادہ کوٹنگ ٹریٹمنٹ نہیں ہیں، بلکہ ایک مکمل مربوط انجینئرنگ ورک فلو ہے جو تمام مراحل میں جہتی درستگی، کوٹنگ کے معیار اور آلات کی مطابقت کو سختی سے کنٹرول کرتا ہے۔ چین میں ایک سرکردہ گھریلو صنعت کار کے طور پر، Semicorex مستحکم، دیرپا اور کم لاگت کی فراہمی کے لیے وقف ہے۔سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ کوٹنگگاہکوں کے لئے حل. سیمیکوریکس گریفائٹ سبسٹریٹس کو پروسیس کرنے کے لیے درست CNC آلات کا استعمال کرتا ہے، ان کی شکل کے سموچ، جہتی رواداری، بیس فلیٹنس، اور گروو پوزیشننگ کی درستگی کو سختی سے کنٹرول کرتا ہے، تاکہ پروسیسنگ کی ناکافی درستگی کی وجہ سے پیدا ہونے والے ثانوی مسائل کو ختم کیا جا سکے۔ مختلف آپریٹنگ حالات اور استعمال کی ضروریات کے لیے، Semicorex کی تکنیکی ٹیم کوٹنگ اور سبسٹریٹ کے درمیان اعلی مطابقت کو یقینی بنانے کے لیے اپنی مرضی کے مطابق کوٹنگ سلوشنز فراہم کرتی ہے، جو کوٹنگ کے کریکنگ اور بار بار تھرمل سائیکلنگ کی وجہ سے چھیلنے کی ناکامی کو مؤثر طریقے سے روکتی ہے۔ ایک بار جب CVD SiC کوٹنگ مکمل ہو جائے گی، Semicorex اس بات کو یقینی بنانے کے لیے مکمل اسپیکٹرم کوٹنگ کے نقائص کا معائنہ کرے گا تاکہ کوٹنگ برقرار، گھنی اور کسی بھی نقص سے پاک ہو، اس طرح مشین پر CVD سلکان کاربائیڈ لیپت گریفائٹ ٹرے کے استحکام کی ضمانت دیتا ہے۔