سیمیکوریکس کی طرف سے پی بی این الیکٹرو سٹیٹک چک اپنی منفرد مادی خصوصیات کی وجہ سے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ویفر ہینڈلنگ کے شعبے میں نمایاں ہے۔
کی مادی خصوصیاتپی بی اینالیکٹروسٹیٹک چک
اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور ڈائی الیکٹرک طاقت
دیپی بی اینالیکٹروسٹیٹک چک اپنے غیر معمولی اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت کے لیے مشہور ہے، یہ ایک خاصیت ہے جو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں اہم ہے۔ Pyrolytic Boron Nitride (PBN)، چک کی تعمیر میں استعمال ہونے والا مواد، عام طور پر استعمال ہونے والے سیرامکس سے زیادہ مزاحمتی صلاحیت کو ظاہر کرتا ہے، جو جانسن-رہبیک (J-R) چک فورس کو 1050 ° C کے درجہ حرارت تک برقرار رکھنے کے لیے بہت ضروری ہے۔ یہ اعلی مزاحمت، اس کی اعلی ڈائی الیکٹرک طاقت کے ساتھ، اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ شدید گرمی میں بھی برقی خرابی کو مؤثر طریقے سے روکا جاتا ہے، اس طرح چک کی آپریشنل وشوسنییتا میں اضافہ ہوتا ہے۔
تھرمل یکسانیت اور جھٹکا مزاحمت
پی بی این کی ہیکساگونل جالی ساخت، جو 1500 ° C سے زیادہ درجہ حرارت پر کیمیائی بخارات کے ذخیرہ کے ذریعے تیار کی جاتی ہے، اس کی شاندار تھرمل یکسانیت اور صدمے کی مزاحمت میں معاون ہے۔ کے اندر اعلی کثافت حرارتی عناصرپی بی اینالیکٹروسٹیٹک چک اسے 600–800°C کے درجہ حرارت پر 1.1–1.5% کی اچھی یکسانیت کے ساتھ ایک مستقل ویفر تھرمل پروفائل حاصل کرنے کے قابل بناتا ہے۔ مزید برآں، PBN پر مبنی چک شاندار تھرمل جھٹکا مزاحمت اور کم تھرمل ماس کا مظاہرہ کرتا ہے، جس سے یہ 23°C/sec کی تیز رفتار ریمپنگ رفتار سے 600°C تک پہنچ سکتا ہے بغیر کریکنگ یا ڈیلامینیشن کے خطرے کے۔
مرضی کے مطابق ملٹی زون ہیٹنگ
پی بی این الیکٹرو سٹیٹک چک انتہائی حسب ضرورت ہے، جس میں کثیر زون حرارتی صلاحیتیں ہیں جو زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کی اجازت دیتی ہیں۔ حسب ضرورت کی یہ سطح یقینی بناتی ہے کہ ہر چک کو انفرادی گاہکوں کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لیے تیار کیا جا سکتا ہے، مختلف سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ ایپلی کیشنز کے لیے ایک لچکدار حل فراہم کرتا ہے۔
کی درخواستیںپی بی اینالیکٹروسٹیٹک چک
آئن امپلانٹیشن اور ویفر ہینڈلنگ
پی بی این الیکٹروسٹیٹک چک آئن امپلانٹیشن کے عمل میں ویفر ہینڈلنگ کا ترجیحی اپریٹس ہے۔ 1000 ° C سے زیادہ درجہ حرارت پر ویفرز کو پکڑنے کی اس کی صلاحیت اسے مارکیٹ میں سب سے زیادہ ورسٹائل الیکٹرو سٹیٹک چک بناتی ہے۔ اعلی کثافت، ملٹی زون حرارتی عناصر کی بدولت، انتہائی سخت درجہ حرارت کی حدود میں ویفرز کو برقرار رکھنے کی صلاحیت سے اس استعداد میں مزید اضافہ ہوتا ہے۔
سلیکن کاربائیڈ آئن امپلانٹیشن
SiC آئن امپلانٹیشن کے مخصوص اطلاق میں،پی بی اینالیکٹرو سٹیٹک چک ویفر ہیٹنگ اور ہینڈلنگ کے چیلنجوں کا ایک قابل عمل حل پیش کرتا ہے۔ اس کی دوہری فنکشن کی صلاحیتیں، جس میں ہائی چک فورس، ہائی ہیٹنگ پاور، اچھی تھرمل یکسانیت، اور تیز ردعمل شامل ہیں، اسے SiC آئن امپلانٹیشن کی پیچیدہ ضروریات کو پورا کرنے کے لیے ایک مثالی انتخاب بناتے ہیں۔
سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ
پی بی این الیکٹرو سٹیٹک چک سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے، جہاں عین مطابق ویفر ہینڈلنگ اور درجہ حرارت کا کنٹرول ضروری ہے۔ اس کی اعلی تھرمل جھٹکا مزاحمت اور تیز درجہ حرارت ریمپنگ کی صلاحیتیں اسے اعلی درجے کے سیمی کنڈکٹر عمل کے لیے موزوں بناتی ہیں جو سخت درجہ حرارت کے انتظام اور تیز تھرمل سائیکلنگ کا مطالبہ کرتے ہیں۔