PECVD سولر گریفائٹ بوٹ

سیمیکوریکسPECVD شمسی گریفائٹ کشتیاںاعلی پاکیزگی سے صحت سے متعلق بنائے گئے ہیں۔isostatic گریفائٹ. Semicorex سے ہر PECVD شمسی گریفائٹ کشتی اعلی درجہ حرارت کے پلازما ماحول میں مستحکم کارکردگی کو یقینی بنانے کے لیے درست مشینی، جہتی معائنہ اور برقی کارکردگی کی جانچ سے گزرتی ہے۔

پی ای سی وی ڈی پروسیسنگ کے دوران، پی ای سی وی ڈی سولر گریفائٹ بوٹ سلکان ویفرز کو پی ای سی وی ڈی ری ایکشن چیمبر میں لے جاتی ہے اور آر ایف پاور سپلائی سے منسلک الیکٹروڈ کے طور پر کام کرتی ہے۔ جب ملحقہ کشتی پلیٹوں کے درمیان متبادل وولٹیج کا اطلاق ہوتا ہے، تو ایک برقی میدان قائم ہوتا ہے۔ برقی میدان کے زیر اثر، رد عمل والی گیسیں (جیسے سائلین SiH₄ اور امونیا NH₃) چمکتی ہوئی خارج ہوتی ہیں اور پلازما پیدا کرتی ہیں۔ پلازما میں آئن اور آزاد ریڈیکلز پیشگی گیسوں کو گل کر سلیکون (Si) اور نائٹروجن (N) آئن بناتے ہیں۔ یہ آئن مل کر سلکان نائٹرائڈ (Si₃N₄) مالیکیول بناتے ہیں، جو پھر سلکان ویفر کی سطح پر جمع ہو کر پتلی فلمیں بناتے ہیں۔

1. غیر معمولی تھرمل استحکام

سیلیکون ویفرز کے قریب تھرمل ایکسپینشن گتانک کے ساتھ، سیمیکورکسPECVD شمسی گریفائٹ کشتیگرم ہونے پر نہ ہونے کے برابر جہتی تبدیلی کا تجربہ کرتا ہے، جو کہ ویفرز کو تھرمل تناؤ کی وجہ سے ہونے والے نقصان سے محفوظ رکھتا ہے۔

2. اعلیٰ برقی اور تھرمل چالکتا

Semicorex PECVD شمسی گریفائٹ بوٹس میں بہترین برقی چالکتا ہے، جو RF کرنٹ اور یکساں برقی میدان کی تقسیم کی تیز رفتار ترسیل کو یقینی بناتی ہے، جو مستحکم پلازما جنریشن اور یکساں سلکان ویفر جمع کرنے کے لیے فائدہ مند ہے۔ مزید برآں، اس کی اعلی تھرمل چالکتا تیز رفتار ٹھنڈک اور حرارتی نظام کی سہولت فراہم کرتی ہے، پیداواری کارکردگی کو بہتر بناتی ہے جبکہ مقامی حد سے زیادہ گرمی کو جمع کرنے کے معیار کو متاثر کرنے سے روکتی ہے۔

3. مضبوط کیمیائی استحکام

پریمیم گریڈ میٹریل کے استعمال کی بدولت، Semicorex PECVD سولر گریفائٹ بوٹ ری ایکٹیو گیسوں اور پلازما کے ساتھ رد عمل کا کم شکار ہے۔ یہ خصوصیت گریفائٹ بوٹ میں سنکنرن، اخترتی یا ناپاکی کے جمع ہونے کی وجہ سے برقی میدان کی غیر مساوی تقسیم کو نمایاں طور پر روکتی ہے، اس طرح جمع کرنے کے عمل کے استحکام اور سلیکون ویفرز کی سطح کے معیار کو یقینی بناتا ہے۔

4. بقایا میکانی طاقت

اپنی شاندار مکینیکل طاقت کے ساتھ، Semicorex PECVD سولر گریفائٹ بوٹ آسانی سے زیادہ حجم والے ویفر بوجھ کے وزن کو سنبھال سکتی ہے۔ وہ لوڈنگ اور نقل و حمل کے دوران پیدا ہونے والے مکینیکل تناؤ کو آسانی سے خراب یا ٹوٹے بغیر طویل عرصے تک برداشت کر سکتے ہیں۔

5. بہترین جہتی مستقل مزاجی

سیمیکوریکس پی ای سی وی ڈی سولر گریفائٹ بوٹ درست مشینی کے ذریعے تمام اجزاء میں غیر معمولی جہتی درستگی حاصل کرتی ہے۔ یہ سلکان ویفر کو جمع کرنے کے دوران ایک مقررہ پوزیشن میں رکھتا ہے، جو خود کار پیداوار کے ساتھ یکساں جمع اور مطابقت کو یقینی بناتا ہے۔