سیمیکوریکس پلازما پروسیسنگ فوکس رِنگ کو خاص طور پر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں پلازما ایچ پروسیسنگ کے اعلیٰ مطالبات کو پورا کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ہمارے جدید ترین، اعلیٰ پاکیزگی والے سلیکون کاربائیڈ لیپت اجزاء انتہائی ماحول کو برداشت کرنے کے لیے بنائے گئے ہیں اور مختلف ایپلی کیشنز میں استعمال کے لیے موزوں ہیں، بشمول سلیکون کاربائیڈ لیئرز اور ایپیٹیکسی سیمی کنڈکٹرز۔
ہماری پلازما پروسیسنگ فوکس رِنگ RTA، RTP، یا سخت کیمیائی صفائی کے لیے انتہائی مستحکم ہے، جو انہیں پلازما ایچ (یا ڈرائی ایچ) چیمبرز میں استعمال کے لیے ایک مثالی انتخاب بناتی ہے۔ ویفر ایج یا پریمیٹر کے ارد گرد اینچ کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، ہمارے فوکس رِنگز یا ایج رِنگز کو آلودگی کو کم کرنے اور غیر طے شدہ دیکھ بھال کے لیے بنایا گیا ہے۔
ہماری SiC کوٹنگ ایک گھنی، لباس مزاحم سلکان کاربائیڈ کی کوٹنگ ہے جس میں اعلی سنکنرن اور گرمی کے خلاف مزاحمت کی خصوصیات کے ساتھ ساتھ بہترین تھرمل چالکتا بھی ہے۔ ہم کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) کے عمل کا استعمال کرتے ہوئے گریفائٹ پر پتلی تہوں میں SiC کا اطلاق کرتے ہیں۔ یہ اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ہمارے SiC فوکس رِنگز میں اعلیٰ معیار اور پائیداری موجود ہے، جس سے وہ آپ کی پلازما اینچ پروسیسنگ کی ضروریات کے لیے ایک قابل اعتماد انتخاب ہیں۔
ہمارے پلازما پروسیسنگ فوکس رنگ کے بارے میں مزید جاننے کے لیے آج ہی ہم سے رابطہ کریں۔
پلازما پروسیسنگ فوکس رنگ کے پیرامیٹرز
CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
¼m |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
نوجوان کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300â) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
حرارت کی ایصالیت |
(W/mK) |
300 |
پلازما پروسیسنگ فوکس رنگ کی خصوصیات
- سروس لائف کو بہتر بنانے کے لیے سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ کوٹنگز۔
- اعلی کارکردگی صاف کرنے والے سخت کاربن سے بنا تھرمل موصلیت۔
- کاربن/کاربن کمپوزٹ ہیٹر اور پلیٹ۔- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ دونوں تہہ میں اعلی تھرمل چالکتا، اور بہترین گرمی کی تقسیم کی خصوصیات ہیں۔
- اعلی طہارت گریفائٹ اور SIC کوٹنگ پن ہول مزاحمت اور اعلی زندگی کے لیے