سلیکن کاربائیڈ چیمبر کا ڈھکن

کرسٹل گروتھ اور ویفر ہینڈلنگ پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے سلکان کاربائیڈ چیمبر کے ڈھکن کو زیادہ درجہ حرارت اور سخت کیمیائی صفائی کو برداشت کرنا چاہیے۔ سیمیکوریکس چین میں سلکان کاربائیڈ لیپت گریفائٹ سسپٹر کا ایک بڑے پیمانے پر مینوفیکچرر اور سپلائر ہے۔ ہماری مصنوعات کی قیمتوں کا اچھا فائدہ ہے اور وہ بہت سے یورپی اور امریکی بازاروں کا احاطہ کرتے ہیں۔ ہم آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

سنگل کرسٹل گروتھ یا MOCVD، یا ویفر ہینڈلنگ پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے سلکان کاربائیڈ چیمبر کا ڈھکن زیادہ درجہ حرارت اور سخت کیمیائی صفائی کو برداشت کرنا چاہیے۔ سیمیکوریکس ہائی پیوریٹی سلکان کاربائیڈ (SiC) لیپت گریفائٹ کی تعمیر اعلی گرمی مزاحمت فراہم کرتا ہے، یہاں تک کہ مسلسل ایپی پرت کی موٹائی اور مزاحمت کے لیے تھرمل یکسانیت، اور پائیدار کیمیائی مزاحمت فراہم کرتا ہے۔ یہ غیر مستحکم پیشگی گیسوں، پلازما اور اعلی درجہ حرارت کے امتزاج کا تجربہ کرنے کے لیے پائیدار ہیں۔
ہمارے سلیکون کاربائیڈ چیمبر کا ڈھکن بہترین لیمینر گیس کے بہاؤ کے پیٹرن کو حاصل کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جس سے تھرمل پروفائل کی یکسانیت کو یقینی بنایا گیا ہے۔ یہ کسی بھی قسم کی آلودگی یا نجاست کے پھیلاؤ کو روکنے میں مدد کرتا ہے، جس سے ویفر چپ پر اعلیٰ معیار کے ایپیٹیکسیل نمو کو یقینی بنایا جاتا ہے۔
ہمارے سلیکون کاربائیڈ چیمبر کے ڈھکن کے بارے میں مزید جاننے کے لیے آج ہی ہم سے رابطہ کریں۔

سلیکن کاربائیڈ چیمبر کے ڈھکن کے پیرامیٹرز

CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات
SiC-CVD پراپرٹیز
کرسٹل کا ڈھانچہ	ایف سی سی β مرحلہ
کثافت	g/cm ³	3.21
سختی	Vickers سختی	2500
اناج کا سائز	μm	2~10
کیمیائی طہارت	%	99.99995
حرارت کی صلاحیت	J kg-1 K-1	640
Sublimation درجہ حرارت	℃	2700
Felexural طاقت	MPa (RT 4 پوائنٹ)	415
ینگ کا ماڈیولس	Gpa (4pt موڑ، 1300℃)	430
حرارتی توسیع (C.T.E)	10-6K-1	4.5
تھرمل چالکتا	(W/mK)	300