سیمیکوریکس پورس ساک چک ایک اعلی کارکردگی والا سیرامک ویکیوم چک ہے جو سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ میں محفوظ اور یکساں ویفر جذب کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس کا انجنیئر مائکرو غیر محفوظ ڈھانچہ بہترین ویکیوم تقسیم کو یقینی بناتا ہے ، جس سے یہ صحت سے متعلق ایپلی کیشنز کے لئے مثالی ہے۔*
سیمیکوریکس پورس ساک چک ایک سیرامک حصہ ہے جو معائنہ ، جانچ اور لتھوگرافی جیسے عمل کے اقدامات کے ذریعہ سیمیکمڈکٹر ایپلی کیشنز کے لئے ویفر سبسٹریٹس کے محفوظ ، موثر ہینڈلنگ کے لئے صحت سے متعلق جمع کیا گیا ہے۔ چک مائکرو غیر محفوظ سلیکن کاربائڈ سیرامک (ایس آئی سی) سے تیار کیا گیا ہے۔ ایس آئی سی میں میکانکی طاقت ، کیمیائی مزاحمت ، اور تھرمل استحکام کی خصوصیات ہیں جو جدید سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ ماحول کے لئے درکار ہیں۔
غیر محفوظ SIC چک کی ایک لازمی خصوصیت اس کا انوکھا مائکرو اسٹرکچر ہے ، جو 35 ٪ -40 ٪ کی تزئین و آرائش کی نمائش کرتا ہے۔ چک کی مضبوطی کو مضبوطی سے کنٹرول کرنے کے ساتھ ، اوورلنگ ڈیزائن ویکیوم سکشن کو عام طور پر نازک ویفر سبسٹریٹس کے لئے مستقل مستحکم اور غیر رابطہ معاونت پیدا کرنے والے کو یکساں طور پر بھیجنے کی اجازت دیتا ہے: سلیکن یا گین ، اور دیگر کمپاؤنڈ سیمیکمڈکٹرز۔ ویکیوم سکشن موڈ ذرہ آلودگی اور مکینیکل نقصان دونوں سے گریز کرتا ہے ، اس طرح اس عمل کے دوران ویفر سالمیت کو محفوظ رکھتا ہے۔
چک کا سیرامک جسم بنیادی طور پر اعلی طہارت کا ہے ، دوسرے سیرامکس کے ساتھ ، جیسے ایلومینا (AL2O3) ، ممکنہ طور پر اطلاق کے لحاظ سے محدود تعداد میں فعال پرتوں کے لئے استعمال ہوتا ہے۔ مادے کی تحقیق اور ترقی سے تاکنا سائز اور تقسیم کو ویفر سائز اور عمل کی شرائط پر منحصر ہے کہ ہوا کے بہاؤ اور ہولڈنگ فورس کو ڈیزائن کرنے کا انتظام کیا جاسکتا ہے۔ اگر پتلی ویفروں پر خلا کو کنٹرول کرنا ضروری ہے تو ، چھوٹے تاکنا سائز کو شامل کیا جائے گا۔ تیز بہاؤ کی شرحوں کے لئے جہاں مناسب ہو ، بڑے تاکنا سائز کا استعمال کیا جائے گا۔
متغیر تاکنا سائز ، سیرامک کمپوزیشن ، اور فائرنگ کے حالات کے نتیجے میں غیر محفوظ sic چکس رنگ کی مختلف حالتوں کی نمائش کرتے ہیں۔ ایس آئی سی کے چکس سیاہ یا گہری بھوری رنگ کا ہوتے ہیں کیونکہ سلیکن کاربائڈ کا رنگ یا تو سرمئی یا سیاہ ہوتا ہے ، تاہم بڑے ایلومینا مواد والے چکس سفید رنگ میں سفید ہوتے ہیں۔ رنگ میں مختلف حالتوں کا مصنوع کی کارکردگی پر کوئی اثر نہیں ہوتا ہے اور وہ صرف انجنیئرڈ پراپرٹیز کی نمائندگی کرتے ہیں جو مخصوص ایپلی کیشنز کے لئے مخصوص صارفین کی ضروریات کی تعمیل کے لئے بنائے گئے تھے۔
اعلی کے آخر میں ویفر پروسیسنگ ٹولز میں ، تھرمل استحکام اور کیمیائی جڑنی دو سب سے اہم خصوصیات ہیں۔ سلیکن کاربائڈ سنکنرن گیسوں اور تھرمل سائیکلنگ کے لئے بہترین مزاحمت فراہم کرتا ہے۔ غیر محفوظ SIC چک کامیابی کے ساتھ ویکیوم چیمبرز اور پلازما اینچ ٹولز میں کام کرتا ہے ، اور یہ تیزی سے بدلتے ہوئے درجہ حرارت کے ساتھ اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتا رہتا ہے۔ چک کے مدھم استحکام کو برقرار رکھنے کی ان کی قابلیت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ ویفر ایک ہی جگہ پر باقی رہتا ہے ، حالانکہ درستگی کی ضروریات ذیلی مائکرون سے نیچے ہوسکتی ہیں جس سے عمل کے عمل کے لحاظ سے جہتی مستحکم ہونے میں مدد ملتی ہے۔
سیمیکوریکس پورس سکس چکس مجاز فارمنگ اور سائنٹرنگ کے طریقہ کار کا استعمال کرتے ہوئے بنائے جاتے ہیں جو یکساں پوروسٹی ، اعلی لچکدار طاقت اور کم تھرمل توسیع مہیا کرتے ہیں۔ قابل اعتماد اور تکرار مصنوعات کو یقینی بنانے کے لئے ہر چک کا تاکنا ساخت ، چپٹا اور ویکیوم کارکردگی کے لئے معائنہ کیا جاتا ہے۔ مخصوص ویفر سائز اور سسٹم انضمام کی ضروریات جیسے بیک سائیڈ گیس فلو چینلز یا بڑھتے ہوئے خصوصیات کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے کسٹم ڈیزائن بھی دستیاب ہیں۔
آخر میں ، پورس ساک چک ایک اعلی وشوسنییتا سبسٹریٹ سپورٹ سسٹم ہے جسے صحت سے متعلق ویفر پروسیسنگ کی ضروریات کے ساتھ مل کر کام کرنے کے لئے احتیاط سے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ایک اعلی ویکیوم انعقاد کی اہلیت ، تخصیص بخش تاکنا ڈھانچہ ، اور بقایا مادی استحکام کے ساتھ ، یہ آج کے سیمیکمڈکٹر تانے بانے والی لائنوں میں ایک ناگزیر مصنوعات ہے۔