سیمیکوریکس پورس ٹینٹلم کاربائیڈ رِنگز اعلیٰ کارکردگی والے ریفریکٹری پرزے ہیں جو خاص طور پر سلیکون کاربائیڈ (SiC) کرسٹل گروتھ کے فزیکل ویپر ٹرانسپورٹ (PVT) عمل کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں، جس میں یک سنگی سنٹرڈ ڈھانچہ موجود ہے جو غیر معمولی تھرمل استحکام اور کنٹرول شدہ گیس پرمی پیش کرتا ہے۔
Silicon Carbide (SiC) انگوٹوں کی اعلیٰ داؤ پر لگی مینوفیکچرنگ میں، "ہاٹ زون" کا ماحول سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں سب سے زیادہ سزا دینے والا ہے۔ 2,200 اور 2500 ℃ کے درمیان درجہ حرارت پر کام کرنے والے معیاری ریفریکٹری مواد اکثر اعلیٰ یا دھاتی نجاست کو متعارف کراتے ہیں جو کرسٹل جالیوں کو برباد کر دیتے ہیں۔ سیمیکوریکس پورس ٹینٹلم کاربائیڈ رِنگز کو ان انتہائی چیلنجوں کے لیے یک سنگی، sintered حل کے طور پر بنایا گیا ہے، جو طویل مدتی کرسٹل گروتھ سائیکل کے لیے درکار ساختی اور کیمیائی اعتبار فراہم کرتا ہے۔
روایتی لیپت گریفائٹ اجزاء کے برعکس، ہمارے غیر محفوظ TaC حلقے مکمل باڈی سنٹرنگ کے عمل کے ذریعے تیار کیے جاتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں ایک "ٹھوس حالت" سیرامک باڈی بنتی ہے جو اپنے پورے حجم میں اپنی کیمیائی شناخت کو برقرار رکھتی ہے۔
الٹرا ہائی پیوریٹی: ٹینٹلم کاربائیڈ کے مواد کے 99.9% سے زیادہ ہونے کے ساتھ، یہ انگوٹھیاں باہر گیس ہونے یا دھاتی ٹریس عناصر کے اخراج کے خطرے کو کم کرتی ہیں جو SiC انگوٹ میں مائکرو پائپس یا دیگر خلفشار کا باعث بن سکتی ہیں۔
کوئی ڈیلامینیشن نہیں: چونکہ انگوٹھی کوئی کوٹنگ نہیں ہے، اس لیے تھرمل ایکسپینشن کی مماثلت کی وجہ سے چھیلنے یا "پھلنے" کا کوئی خطرہ نہیں ہے، معیاری لیپت حصوں میں ایک عام فیل موڈ۔
ہمارے ٹینٹلم کاربائیڈ کی "غیرمحفوظ" نوعیت جسمانی بخارات کی نقل و حمل (PVT) کے عمل کے لیے جان بوجھ کر انجینئرنگ کا انتخاب ہے۔ تاکنا کے سائز اور تقسیم کو کنٹرول کرکے، ہم عمل کے کئی اہم فوائد کو فعال کرتے ہیں:
تھرمل موصلیت اور تدریجی کنٹرول: غیر محفوظ ڈھانچہ ایک اعلیٰ کارکردگی والے تھرمل انسولیٹر کے طور پر کام کرتا ہے، جس سے ماخذ مواد سے سیڈ کرسٹل تک SiC بخارات کو چلانے کے لیے ضروری کھڑی اور مستحکم درجہ حرارت کے میلان کو برقرار رکھنے میں مدد ملتی ہے۔
وانپ فیز مینجمنٹ: انگوٹھی کی پارگمیتا کروسیبل کے اندر کنٹرول گیس کے پھیلاؤ اور دباؤ کو برابر کرنے کی اجازت دیتی ہے، ہنگامہ خیزی کو کم کرتی ہے جو کرسٹلائزیشن انٹرفیس میں خلل ڈال سکتی ہے۔
ہلکا پھلکا پائیداری: پورسٹی ہاٹ زون کے اجزاء کے مجموعی ماس کو کم کرتی ہے، جس سے تیز تر تھرمل رسپانس ٹائمز کی اجازت ملتی ہے جبکہ ٹی اے سی میں شامل اعلی مکینیکل طاقت کو برقرار رکھا جاتا ہے۔
ٹینٹلم کاربائیڈ کسی بھی بائنری کمپاؤنڈ ($3,880^\circ C$) کا سب سے زیادہ پگھلنے والا مقام رکھتا ہے۔ جارحانہ SiC بخارات اور اعلی درجہ حرارت کے ماحول کی موجودگی میں، ہمارے غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ رنگ پیش کرتے ہیں:
Si/C بخارات کی جڑت: گریفائٹ کے برعکس، جو سیلیکون بخارات کے ساتھ رد عمل ظاہر کر کے SiC بنا سکتا ہے اور C/Si تناسب کو تبدیل کر سکتا ہے، TaC کیمیاوی طور پر مستحکم رہتا ہے، جس سے نمو کے عمل کی مطلوبہ سٹوچیومیٹری کو محفوظ رکھا جاتا ہے۔
تھرمل شاک ریزسٹنس: آپس میں جڑا ہوا غیر محفوظ فریم ورک لچک کی ایک ڈگری فراہم کرتا ہے جو انگوٹھی کو بغیر کسی شگاف کے بار بار، تیز تھرمل سائیکلوں میں زندہ رہنے دیتا ہے۔