سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے سیمیکوریکس پائیدار فوکس رِنگز کو سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے پلازما ایچ چیمبرز کے انتہائی ماحول کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ہمارے فوکس رِنگز اعلیٰ پاکیزگی والے گریفائٹ سے بنے ہیں جو گھنے، پہننے کے لیے مزاحم سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ کے ساتھ لیپت ہیں۔ SiC کوٹنگ میں اعلی سنکنرن اور گرمی کے خلاف مزاحمت کی خصوصیات کے ساتھ ساتھ بہترین تھرمل چالکتا بھی ہے۔ ہم اپنے فوکس رِنگز کی سروس لائف کو بہتر بنانے کے لیے کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) کے عمل کا استعمال کرتے ہوئے گریفائٹ پر پتلی تہوں میں SiC لگاتے ہیں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔