سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے سیمیکوریکس پائیدار فوکس رِنگز کو سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے پلازما ایچ چیمبرز کے انتہائی ماحول کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ہمارے فوکس رِنگز اعلیٰ پاکیزگی والے گریفائٹ سے بنے ہیں جو گھنے، پہننے کے لیے مزاحم سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ کے ساتھ لیپت ہیں۔ SiC کوٹنگ میں اعلی سنکنرن اور گرمی کے خلاف مزاحمت کی خصوصیات کے ساتھ ساتھ بہترین تھرمل چالکتا بھی ہے۔ ہم اپنے فوکس رِنگز کی سروس لائف کو بہتر بنانے کے لیے کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) کے عمل کا استعمال کرتے ہوئے گریفائٹ پر پتلی تہوں میں SiC لگاتے ہیں۔
سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے ہمارے پائیدار فوکس رِنگز کو ویفر کے کنارے یا فریم کے ارد گرد اینچ یکسانیت کو بہتر بنانے، آلودگی کو کم کرنے اور غیر طے شدہ دیکھ بھال کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ ریپڈ تھرمل اینیلنگ (RTA)، ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP)، اور سخت کیمیائی صفائی کے لیے انتہائی مستحکم ہیں۔
Semicorex میں، ہم سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے اعلیٰ معیار کی، لاگت سے موثر پائیدار فوکس رِنگز فراہم کرنے پر توجہ مرکوز کرتے ہیں، ہم صارفین کی اطمینان کو ترجیح دیتے ہیں اور لاگت سے موثر حل فراہم کرتے ہیں۔ ہم آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے، اعلیٰ معیار کی مصنوعات اور غیر معمولی کسٹمر سروس کی فراہمی کے منتظر ہیں۔
سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے ہمارے پائیدار فوکس رِنگز کے بارے میں مزید جاننے کے لیے آج ہی ہم سے رابطہ کریں۔
سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے پائیدار فوکس رِنگز کے پیرامیٹرز
CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
μm |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
ینگ کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300℃) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
تھرمل چالکتا |
(W/mK) |
300 |
سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے پائیدار فوکس رِنگز کی خصوصیات
● اعلی طہارت گریفائٹ اور SiC کوٹنگ پن ہول مزاحمت اور اعلی زندگی کے لیے۔
● گریفائٹ سبسٹریٹ اور SiC پرت دونوں میں اعلی تھرمل چالکتا اور بہترین گرمی کی تقسیم کی خصوصیات ہیں۔
● سروس لائف کو بہتر بنانے کے لیے SiC کوٹنگ پتلی تہوں میں لگائی جاتی ہے۔