سلیکن سنگل کرسٹل کھینچنے کے لئے کوارٹج کروسبل

سلیکن سنگل کرسٹل کھینچنے کے لئے سیمیکوریکس کوارٹج کروسبل سلیکن ویفر تانے بانے میں بنیادی جزو ہے۔ سنگل کرسٹل تیاری کا مرحلہ تکنیکی پیرامیٹرز کا تعین کرتا ہے ، جیسے قطر ، کرسٹل واقفیت ، ڈوپنگ کی قسم ، مزاحمتی حد اور تقسیم ، آکسیجن اور کاربن حراستی ، اقلیتی کیریئر کی زندگی بھر ، اور سلیکن کے جعلی نقائص۔ اس کی ضرورت ہے کہ مائکرو نقائص ، آکسیجن حراستی ، دھات کی نجاست ، اور کیریئر حراستی یکسانیت سب کو ایک خاص حد میں کنٹرول کیا جائے۔

زیچرالسکی سنگل کرسٹل نمو کے عمل میں ، سلیکن سنگل کرسٹل کھینچنے کے لئے کوارٹج کو سلیکن (1420 ℃) ​​کے پگھلنے والے مقام سے زیادہ درجہ حرارت کا مقابلہ کرنے کی ضرورت ہے۔ کوارٹج کروسبل زیادہ تر پارباسی اور متعدد پرتوں پر مشتمل ہوتا ہے۔

بیرونی پرت ایک ایسا خطہ ہے جس میں بلبلا کثافت ہے ، جسے بلبلا جامع پرت کہا جاتا ہے۔ اندرونی پرت ایک 3-5 ملی میٹر شفاف پرت ہے ، جسے بلبلا کی کمی پرت کہا جاتا ہے۔ بلبلا کی کمی کی پرت کی موجودگی مصیبت کے حل کے علاقے کی کثافت کو کم کرتی ہے ، اس طرح سنگل کرسٹل نمو کو بہتر بناتا ہے۔

چونکہ کوارٹج کی اندرونی پرت سلیکن مائع کے ساتھ براہ راست رابطے کرتی ہے ، لہذا یہ سلیکن میں مسلسل تحلیل ہوجائے گی ، اور کروسیبل شفاف پرت میں مائکرو بلبلا کرٹ اور مائکرو بلبلوں کو توڑنے اور جاری کرنے کے لئے بڑھتا ہے۔ اس کے بعد یہ نجاست پورے سلیکن پگھلنے سے گزرتی ہے ، براہ راست سلیکن سنگل کرسٹل کے کرسٹاللائزیشن اور معیار کو متاثر کرتی ہے۔

کوارٹج مصلوبسلیکن سنگل کرسٹل سلیکن مائع کے ساتھ براہ راست رابطوں کو کھینچنے کے ل ، ، لہذا نجاست اور بلبلوں کو جو پیداوار کے عمل میں موثر انداز میں کنٹرول نہیں کرتے ہیں ، اس سے واضح طور پر کھینچنے والے کرسٹل کے نتائج پر اثر پڑے گا ، یہاں تک کہ کرسٹل کھینچنے اور مادی خرابی/فضلہ میں بھی ناکام ہوجاتا ہے۔ چونکہ سنگل کرسٹل سلیکن ویفروں کو اعلی طہارت کی ضرورت ہوتی ہے اور ایک ہی کرسٹل کھینچنے کے عمل کی قیمت زیادہ ہوتی ہے ، لہذا پاکیزگی ، بلبلے کی کارکردگی اور معیار کے استحکام کے لحاظ سے سلیکن سنگل کرسٹل کھینچنے کے لئے کوارٹج کروسبل پر بہت زیادہ مطالبات ہوتے ہیں۔

نجاست: نجاست براہ راست واحد کرسٹل کی کارکردگی اور پیداوار کو متاثر کرتی ہے۔ لہذا ، ناپاک مواد کاکوارٹجمصلوب جو سلیکن پگھل کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہے بہت ضروری ہے۔ مصیبت میں ضرورت سے زیادہ نجاست اکثر کوارٹج کروسی ایبل میں کرسٹاللائزیشن کا باعث بنتی ہے (ناپاک آئنوں کا مقامی جمع جس کی وجہ سے واسکعثیٹی کم ہوتی ہے)۔ اگر اندرونی سطح کے قریب کرسٹاللائزیشن واقع ہوتی ہے تو ، ضرورت سے زیادہ موٹی مقامی کرسٹاللائزیشن پرت چھلکنے کا شکار ہوتی ہے ، جس سے مزید سنگل کرسٹل نمو کو روکتا ہے۔ اگر بیرونی دیوار پر ایک موٹی کرسٹاللائزیشن پرت بنتی ہے تو ، نیچے یا گھماؤ پر بلجنگ ہونے کا امکان ہے۔ اگر کرسٹاللائزیشن مصالحہ دار جسم میں گھس جاتی ہے تو ، یہ آسانی سے سلیکن رساو جیسے سنگین نتائج کا سلسلہ شروع کرسکتا ہے۔

بلبلوں: اعلی طہارت کوارٹج ریت میں خود گیس مائعات شامل ہیں۔ کرسٹل کھینچنے کے عمل کے دوران ، سلیکن کے ساتھ رابطے میں مصلوب کی اندرونی سطح پگھل جاتی ہے سلیکن پگھل میں مسلسل گھل جاتی ہے۔  شفاف پرت میں مائکرو بلبلوں میں مسلسل اضافہ ہوتا ہے ، اور بلبلوں کو اندرونی سطح کے پھٹ جانے کے قریب قریب ، سلیکن پگھل میں کوارٹج مائکرو ذرات اور مائکرو بلبلوں کو جاری کرتے ہیں۔ ان مائکرو ذرات اور مائیکرو بلبلوں کے اندر موجود نجاست کو پورے سلیکن پگھل میں لے جایا جاتا ہے ، جس سے براہ راست سلکان (پیداوار کی شرح ، کرسٹاللائزیشن کی شرح ، حرارتی وقت ، براہ راست پروسیسنگ لاگت وغیرہ) کے کرسٹاللائزیشن کو متاثر ہوتا ہے اور سنگل کرسٹل سلیکن (سوراخ شدہ ویفرز ، بلیک چپس وغیرہ) کا معیار۔