کوارٹج فرنس ٹیوب

سلیکن سنگل کرسٹل نمو کے لئے سیمیکوریکس کوارٹج فرنس ٹیوب ، ویفر کشتیاں ، کوارٹج مصلوبکوارٹج میٹیریاl. سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں کوارٹج بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا ہے ، اعلی طہارت کوارٹج ویفر تانے بانے میں اہم قابل استعمال ہے۔ سیمیکمڈکٹر فیلڈ میں کوارٹج حصوں کی مرکزی ہدف مارکیٹ ویفر تانے بانے میں بازی اور اینچنگ کا عمل ہے ، اسے دو اہم قسموں میں تقسیم کیا جاسکتا ہے: اعلی درجہ حرارت کے حصے اور کم درجہ حرارت والے حصے۔

1. اعلی درجہ حرارت والے حصے کوارٹج فرنس ٹیوب ، ویفر بوٹ ، بوٹ ہولڈر ، اور وغیرہ ہیں۔ انہیں اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں براہ راست یا بالواسطہ سلیکن ویفر سے رابطہ کرنے کی ضرورت ہے ، بنیادی طور پر فیوز کوارٹج شیشے کے مواد سے بنی ہیں ، جو تھرمل پروسیسنگ کے ذریعے تیار کی جاتی ہیں۔

2. کم درجہ حرارت والے حصے اینچنگ کے عمل میں کوارٹج کی انگوٹھی ہیں ، اور اس میں کیسیٹس بھی شامل ہیں ، صفائی کے عمل میں ٹینکوں کی صفائی کرنا۔ وہ بنیادی طور پر کم درجہ حرارت والے ماحول میں استعمال ہوتے ہیں ، جو بنیادی طور پر فیوز کوارٹج شیشے سے بنے ہوتے ہیں ، جو کولڈ پروسیسنگ کے ذریعے تیار ہوتے ہیں۔

اعلی درجہ حرارت والے زون میں اجزاء زیادہ تیزی سے کھائے جاتے ہیں ، لیکن وہ عام طور پر ملٹی ویفر سسٹم (ایک کیریئر میں متعدد سلیکن ویفرز کو تھامے ہوئے) میں استعمال ہوتے ہیں ، جبکہ کم درجہ حرارت والے زون میں موجود اجزاء زیادہ آہستہ آہستہ کھائے جاتے ہیں ، لیکن وہ سنگل ورفر سسٹم میں استعمال ہوتے ہیں (ایک کیریئر ایک سلیکن وفر) ؛ لہذا ، دونوں کے لئے مجموعی طور پر مارکیٹ کا سائز نسبتا similar ایک جیسے ہے۔

فرنس وہ علاقہ ہے جس میں ویفرز اعلی درجہ حرارت حرارت کے عمل سے گزرتے ہیں ، جس میں کوارٹج فرنس ٹیوب ، ری ایکٹر اور کئی ہیٹر ہوتے ہیں ، یہ سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ میں بازی ، آکسیکرن ، آر ٹی پی کے عمل میں وسیع پیمانے پر لاگو ہوتا ہے۔ بھٹی بنیادی طور پر افقی اور عمودی اقسام میں تقسیم ہے :۔ افقی بھٹی میں ، ویفرز کو کوارٹج کشتی پر رکھا جاتا ہے ، جس کے نتیجے میں ایک سی سی کیریئر پر رکھا جاتا ہے۔ سامنے اور پچھلے حصے میں انکولی بافلز بھی ہیں۔ کیریئر کو کوارٹج فرنس ٹیوب میں دھکیل دیا جاتا ہے ، اور ویفرز مستقل درجہ حرارت کے زون میں رد عمل سے گزرتے ہیں۔ عمودی فرنس میں ، ویفرز کو کوارٹج ٹاور پر رکھا جاتا ہے اور پھر آہستہ آہستہ پروسیسنگ کے لئے کوارٹج فرنس ٹیوب میں اٹھایا جاتا ہے۔

مذکورہ بالا عمل میں شامل اعلی درجہ حرارت کی وجہ سے ، بار بار اور طویل استعمال کے بعد کوارٹج فرنس ٹیوب کے شدید اخترتی اور خاتمے کو روکنے کے لئے ، ایک کوارٹج فرنس ٹیوب جو اخترتی اور گرنے کے لئے مزاحم ہے اور اس کی طویل خدمت زندگی کو پیداوار کے دوران استعمال کیا جانا چاہئے۔

کے فوائد یہ ہیںکوارٹجفرنس ٹیوب:

1. درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت. کوارٹج گلاس میں تقریبا 1730 ℃ کا ایک نرم نقطہ ہوتا ہے اور اسے 1150 ℃ پر توسیعی ادوار کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے ، جس میں قلیل مدتی زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت 1450 ℃ پہنچ جاتا ہے۔

2. سنکنرن مزاحمت. ہائیڈرو فلورک ایسڈ کے علاوہ ، اعلی طہارت کوارٹج مشکل سے دوسرے تیزابیت والے مادوں کے ساتھ کیمیائی رد عمل کا اظہار کرتا ہے۔ اعلی درجہ حرارت پر ، یہ سلفورک ایسڈ ، نائٹرک ایسڈ ، ہائیڈروکلورک ایسڈ ، ایکوا ریگیا ، غیر جانبدار نمکیات ، کاربن اور سلفر سے سنکنرن کا مقابلہ کرسکتا ہے۔ اس کی تیزاب مزاحمت سیرامکس سے 30 گنا اور سٹینلیس سٹیل سے 150 گنا ہے۔  اس کا کیمیائی استحکام ، خاص طور پر اعلی درجہ حرارت پر ، انجینئرنگ کے کسی دوسرے مواد سے بے مثال ہے۔

3. اچھا تھرمل استحکام۔ اعلی طہارت کوارٹج میں تھرمل توسیع کا انتہائی کم قابلیت ہے اور درجہ حرارت کی سخت تبدیلیوں کا مقابلہ کرسکتا ہے۔  اعلی طہارت کوارٹج کو تقریبا 1100 ℃ پر گرم کرنا اور پھر اسے کمرے کے درجہ حرارت کے پانی میں ڈوبنے کا سبب بنے گا۔

4. روشنی کی منتقلی کی اچھی کارکردگی. اعلی طہارت کوارٹج میں الٹرا وایلیٹ سے اورکت تک پورے اسپیکٹرم میں روشنی کی منتقلی کی اچھی کارکردگی ہے۔ مرئی روشنی کی ترسیل 93 ٪ سے زیادہ ہے ، اور الٹرا وایلیٹ اسپیکٹرم میں ، زیادہ سے زیادہ ترسیل 80 ٪ سے زیادہ تک پہنچ سکتی ہے۔

5. بجلی کی موصلیت کی اچھی کارکردگی۔ اعلی طہارت کوارٹج کی مزاحمیت عام کوارٹج شیشے سے دس ہزار گنا ہے ، جس سے یہ ایک بہترین برقی موصلیت کا مواد بن جاتا ہے ، جس میں اعلی درجہ حرارت پر بھی اچھی برقی خصوصیات کا مالک ہوتا ہے۔