سیمیکوریکس چین میں سلکان کاربائیڈ لیپت گریفائٹ سسپٹر کا ایک بڑے پیمانے پر مینوفیکچرر اور سپلائر ہے۔ ہم سیمی کنڈکٹر صنعتوں پر توجہ مرکوز کرتے ہیں جیسے سیلیکون کاربائیڈ لیئرز اور ایپیٹیکسی سیمی کنڈکٹر۔ MOCVD کے لیے ہمارے SiC Coated Graphite Susceptor کی قیمت کا ایک اچھا فائدہ ہے اور اس کی بہت سی یورپی اور امریکی مارکیٹیں شامل ہیں۔ ہم آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔
MOCVD کے لیے Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor ایک اعلی پیوریٹی سلیکون کاربائیڈ کوٹیڈ گریفائٹ کیریئر ہے، جس کا استعمال کرتے ہوئے ویفر چپ پر ایپیکسیل تہہ کو بڑھایا جاتا ہے۔ یہ MOCVD میں سینٹر پلیٹ ہے، گیئر یا انگوٹی کی شکل۔ MOCVD کے لیے SiC Coated Graphite Susceptor میں زیادہ گرمی اور سنکنرن مزاحمت ہے، جو انتہائی ماحول میں بہت زیادہ استحکام رکھتی ہے۔
Semicorex میں، ہم اپنے صارفین کو اعلیٰ معیار کی مصنوعات اور خدمات فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہیں۔ ہم صرف بہترین مواد استعمال کرتے ہیں، اور ہماری مصنوعات کو معیار اور کارکردگی کے اعلیٰ ترین معیارات پر پورا اترنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ MOCVD کے لیے ہمارا SiC Coated Graphite Susceptor کوئی استثنا نہیں ہے۔ اس بارے میں مزید جاننے کے لیے آج ہی ہم سے رابطہ کریں کہ ہم آپ کی سیمی کنڈکٹر ویفر پروسیسنگ کی ضروریات میں کس طرح مدد کر سکتے ہیں۔
MOCVD کے لیے SiC Coated Graphite Susceptor کے پیرامیٹرز
CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
μm |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
ینگ کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300℃) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
تھرمل چالکتا |
(W/mK) |
300 |
MOCVD کے لیے SiC Coated Graphite Susceptor کی خصوصیات
- چھیلنے سے گریز کریں اور تمام سطح پر کوٹنگ کو یقینی بنائیں
اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت: 1600 ° C تک اعلی درجہ حرارت پر مستحکم
اعلی طہارت: اعلی درجہ حرارت کلورینیشن کے حالات میں CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے سے بنایا گیا ہے۔
سنکنرن مزاحمت: اعلی سختی، گھنے سطح اور باریک ذرات۔
سنکنرن مزاحمت: تیزاب، الکلی، نمک اور نامیاتی ری ایجنٹس۔
- بہترین لیمینر گیس کے بہاؤ کا نمونہ حاصل کریں۔
- تھرمل پروفائل کے برابر ہونے کی ضمانت
- کسی بھی آلودگی یا نجاست کے پھیلاؤ کو روکیں۔