Semicorex MOCVD کے لیے SiC Susceptor کا ایک معروف صنعت کار اور فراہم کنندہ ہے۔ ہماری پروڈکٹ کو خاص طور پر ویفر چپ پر ایپیٹیکسیل پرت کو بڑھانے میں سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ پروڈکٹ کو MOCVD میں سنٹر پلیٹ کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے، جس میں گیئر یا انگوٹھی کے سائز کا ڈیزائن ہوتا ہے۔ اس میں زیادہ گرمی اور سنکنرن مزاحمت ہے، جو اسے انتہائی ماحول میں استعمال کے لیے مثالی بناتی ہے۔
MOCVD کے لیے ہمارا SiC Susceptor ایک اعلیٰ معیار کی پروڈکٹ ہے جس میں کئی اہم خصوصیات ہیں۔ یہ تمام سطحوں پر کوٹنگ کو یقینی بناتا ہے، چھیلنے سے گریز کرتا ہے، اور اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت رکھتا ہے، یہاں تک کہ 1600 ° C تک کے اعلی درجہ حرارت پر بھی استحکام کو یقینی بناتا ہے۔ پروڈکٹ کو اعلی درجہ حرارت کی کلورینیشن کے حالات میں CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے کے ذریعے اعلی پاکیزگی کے ساتھ بنایا گیا ہے۔ اس کی باریک ذرات کے ساتھ ایک گھنی سطح ہے، جو اسے تیزاب، الکلی، نمک اور نامیاتی ری ایجنٹس سے سنکنرن کے لیے انتہائی مزاحم بناتی ہے۔
MOCVD کے لیے ہمارے SiC Susceptor کو بہترین لیمینر گیس فلو پیٹرن کی ضمانت دینے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جس سے تھرمل پروفائل کی یکسانیت کو یقینی بنایا گیا ہے۔ یہ کسی بھی قسم کی آلودگی یا نجاست کے پھیلاؤ کو روکتا ہے، ویفر چپ پر اعلیٰ معیار کے ایپیٹیکسیل نمو کو یقینی بناتا ہے۔
MOCVD کے لیے SiC Susceptor کے پیرامیٹرز
CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
μm |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
ینگ کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300℃) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
تھرمل چالکتا |
(W/mK) |
300 |
MOCVD کے لیے SiC Susceptor کی خصوصیات
- چھیلنے سے گریز کریں اور تمام سطح پر کوٹنگ کو یقینی بنائیں
اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت: 1600 ° C تک اعلی درجہ حرارت پر مستحکم
اعلی طہارت: اعلی درجہ حرارت کلورینیشن کے حالات میں CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے سے بنایا گیا ہے۔
سنکنرن مزاحمت: اعلی سختی، گھنے سطح اور باریک ذرات۔
سنکنرن مزاحمت: تیزاب، الکلی، نمک اور نامیاتی ری ایجنٹس۔
- بہترین لیمینر گیس کے بہاؤ کا نمونہ حاصل کریں۔
- تھرمل پروفائل کے برابر ہونے کی ضمانت
- کسی بھی آلودگی یا نجاست کے پھیلاؤ کو روکیں۔