sic لیپت گریفائٹ ٹرے

سیمیکوریکس ایس آئی سی لیپت گریفائٹ ٹرے اعلی درجے کی مادے ہیں جو خاص طور پر ایپیٹاکسیل نمو کے ماحول کا مطالبہ کرنے کے لئے انجنیئر ہیں۔ یووی ایل ای ڈی انڈسٹری میں ، خاص طور پر الگن پر مبنی آلات کی تعمیر میں ، یہ ٹرے دھات-نامیاتی کیمیائی بخارات جمع (MOCVD) کے عمل کے دوران یکساں تھرمل تقسیم ، کیمیائی استحکام اور طویل خدمت زندگی کو یقینی بنانے میں اہم کردار ادا کرتے ہیں۔

الگن میٹریلز کی ایپیٹاسیل نمو اعلی عمل کے درجہ حرارت ، جارحانہ پیشگیوں ، اور انتہائی یکساں فلم جمع کرنے کی ضرورت کی وجہ سے انوکھے چیلنج پیش کرتی ہے۔ ہماری ایس آئی سی لیپت گریفائٹ ٹرے بہترین تھرمل چالکتا ، اعلی طہارت ، اور کیمیائی حملے کی غیر معمولی مزاحمت کی پیش کش کرکے ان چیلنجوں کو پورا کرنے کے لئے تیار کی گئی ہیں۔ گریفائٹ کور ساختی سالمیت اور تھرمل جھٹکا مزاحمت فراہم کرتا ہے ، جبکہ گھنےsic کوٹنگامونیا اور دھات نامیاتی پیش رو جیسے رد عمل کی پرجاتیوں کے خلاف حفاظتی رکاوٹ پیش کرتا ہے۔

ایس آئی سی لیپت گریفائٹ ٹرے اکثر دھات کے نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (ایم او سی وی ڈی) کے سامان میں سنگل کرسٹل سبسٹریٹس کی مدد اور گرم کرنے کے لئے جزو کے طور پر استعمال ہوتے ہیں۔ تھرمل استحکام ، تھرمل یکسانیت اور ایس آئی سی لیپت گریفائٹ ٹرے کے دیگر کارکردگی کے پیرامیٹرز ایپیٹاکسیل مادی نمو کے معیار میں فیصلہ کن کردار ادا کرتے ہیں ، لہذا یہ ایم او سی وی ڈی آلات کا بنیادی کلیدی جزو ہے۔

میٹل نامیاتی کیمیائی بخارات جمع (MOCVD) ٹکنالوجی اس وقت بلیو لائٹ ایل ای ڈی میں GAN پتلی فلموں کی Epitaxial ترقی کے لئے مرکزی دھارے میں شامل ٹیکنالوجی ہے۔ اس میں سادہ آپریشن ، قابو پانے کے قابل نمو کی شرح ، اور بڑھی ہوئی گن پتلی فلموں کی اعلی پاکیزگی کے فوائد ہیں۔ ایم او سی وی ڈی آلات کے رد عمل چیمبر میں ایک اہم جزو کے طور پر ، GAN پتلی فلموں کی ایپیٹیکسیل نشوونما کے لئے استعمال ہونے والی SIC لیپت گریفائٹ ٹرےوں کو اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت ، یکساں تھرمل چالکتا ، اچھی کیمیائی استحکام اور مضبوط تھرمل جھٹکے کے خلاف مزاحمت کے فوائد حاصل کرنے کی ضرورت ہے۔ گریفائٹ مواد مذکورہ بالا شرائط کو پورا کرسکتا ہے۔

ایم او سی وی ڈی آلات میں بنیادی اجزاء میں سے ایک کے طور پر ،sic لیپت گریفائٹٹرے سبسٹریٹ سبسٹریٹ کا کیریئر اور حرارتی عنصر ہے ، جو پتلی فلمی مواد کی یکسانیت اور پاکیزگی کا براہ راست تعین کرتا ہے۔ لہذا ، اس کا معیار براہ راست epitaxial wafers کی تیاری کو متاثر کرتا ہے۔ ایک ہی وقت میں ، کام کے حالات میں استعمال اور تبدیلیوں کی تعداد میں اضافے کے ساتھ ، یہ پہننا اور پھاڑنا بہت آسان ہے ، اور یہ قابل استعمال ہے۔

اگرچہ گریفائٹ میں عمدہ تھرمل چالکتا اور استحکام ہے ، جو پیداوار کے عمل کے دوران ، ایم او سی وی ڈی آلات کے بنیادی جزو کے طور پر یہ ایک اچھا فائدہ بنتا ہے ، گریفائٹ کو بقایا سنکنرن گیس اور دھات کے نامیاتی مادے کی وجہ سے خراب اور پاوڈر کیا جائے گا ، جو گریفائٹ بیس کی خدمت کی زندگی کو بہت کم کردے گا۔ ایک ہی وقت میں ، گرے ہوئے گریفائٹ پاؤڈر چپ کو آلودگی کا سبب بنے گا۔

کوٹنگ ٹکنالوجی کا ظہور سطح کے پاؤڈر کی تعی .ن ، تھرمل چالکتا کو بڑھانے ، اور گرمی کی تقسیم کو متوازن فراہم کرسکتا ہے ، اور اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے بنیادی ٹکنالوجی بن سکتا ہے۔ گریفائٹ بیس کو MOCVD آلات کے ماحول میں استعمال کیا جاتا ہے ، اور گریفائٹ بیس کی سطح کی کوٹنگ کو مندرجہ ذیل خصوصیات کو پورا کرنا چاہئے:

(1) یہ گریفائٹ اڈے کو مکمل طور پر لپیٹ سکتا ہے اور اچھی کثافت رکھتا ہے ، بصورت دیگر گریفائٹ بیس آسانی سے سنکنرن گیس میں خراب ہوجاتا ہے۔

(2) اس میں گریفائٹ بیس کے ساتھ ایک اعلی رشتہ دار طاقت ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ کوٹنگ کو متعدد اعلی درجہ حرارت اور کم درجہ حرارت کے چکروں کا سامنا کرنے کے بعد گرنا آسان نہیں ہے۔

()) کوٹنگ کو اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں ناکام ہونے سے بچنے کے ل good اچھا کیمیائی استحکام ہے۔

ایس آئی سی کے سنکنرن مزاحمت ، اعلی تھرمل چالکتا ، تھرمل جھٹکا مزاحمت ، اور اعلی کیمیائی استحکام کے فوائد ہیں ، اور یہ GAN Epitaxial ماحول میں اچھی طرح سے کام کرسکتے ہیں۔ اس کے علاوہ ، ایس آئی سی کا تھرمل توسیع گتانک گریفائٹ کے بہت قریب ہے ، لہذا گریفائٹ بیس کی سطح کوٹنگ کے لئے ایس آئی سی ترجیحی مواد ہے۔

فی الحال ، کامن ایس آئی سی بنیادی طور پر 3C ، 4H اور 6H اقسام ہے ، اور مختلف کرسٹل شکلوں کی sic مختلف استعمال ہوتی ہے۔ مثال کے طور پر ، 4H-sic کو اعلی طاقت والے آلات تیار کرنے کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ 6H-SIC سب سے زیادہ مستحکم ہے اور آپٹ الیکٹرانک آلات تیار کرنے کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ 3C-SIC ، اس کی ساخت کی وجہ سے GAN کی طرح ، GAN Epitaxial پرتوں کو تیار کرنے اور SIC-GAN RF آلات تیار کرنے کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ 3C-SIC کو عام طور پر β-sic کے طور پر بھی جانا جاتا ہے۔ sic-sic کا ایک اہم استعمال ایک پتلی فلم اور کوٹنگ میٹریل کے طور پر ہے۔ لہذا ، فی الحال کوٹنگ کا بنیادی مواد ہے۔