LPE ری ایکٹر چیمبر کے لیے Semicorex کا SiC- Coated Susceptor Barrel سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کے لیے ایک انتہائی قابل اعتماد حل ہے، جس میں اعلیٰ حرارت کی تقسیم اور تھرمل چالکتا کی خصوصیات ہیں۔ یہ سنکنرن، آکسیکرن اور اعلی درجہ حرارت کے لیے بھی انتہائی مزاحم ہے۔
LPE ری ایکٹر چیمبر کے لیے Semicorex کا SiC- Coated Susceptor Barrel ایک اعلیٰ معیار کی پروڈکٹ ہے، جو درستگی اور پائیداری کے اعلیٰ ترین معیار پر تیار کی گئی ہے۔ یہ بہترین تھرمل چالکتا، سنکنرن مزاحمت پیش کرتا ہے، اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایل پی ای ایپلی کیشنز کے لیے انتہائی موزوں ہے۔
ایل پی ای ری ایکٹر چیمبر کے لیے ہمارے SiC- Coated Susceptor Barrel کو بہترین لیمینر گیس فلو پیٹرن حاصل کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جس سے تھرمل پروفائل کی یکسانیت کو یقینی بنایا گیا ہے۔ یہ کسی بھی قسم کی آلودگی یا نجاست کے پھیلاؤ کو روکنے میں مدد کرتا ہے، جس سے ویفر چپ پر اعلیٰ معیار کے ایپیٹیکسیل نمو کو یقینی بنایا جاتا ہے۔
LPE ری ایکٹر چیمبر کے لیے ہمارے SiC- Coated Susceptor Barrel کے بارے میں مزید جاننے کے لیے آج ہی ہم سے رابطہ کریں۔
LPE ری ایکٹر چیمبر کے لیے SiC- Coated Susceptor Barrel کے پیرامیٹرز
CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
¼m |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
نوجوان کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300â) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
حرارت کی ایصالیت |
(W/mK) |
300 |
LPE ری ایکٹر چیمبر کے لیے SiC- Coated Susceptor Barrel کی خصوصیات
- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ دونوں پرت کی کثافت اچھی ہے اور یہ اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں اچھا حفاظتی کردار ادا کر سکتی ہے۔
- سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے استعمال ہونے والے سلیکون کاربائیڈ لیپت سسپٹر کی سطح بہت زیادہ چپٹی ہوتی ہے۔
- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ پرت کے درمیان تھرمل ایکسپینشن گتانک میں فرق کو کم کریں، کریکنگ اور ڈیلامینیشن کو روکنے کے لیے بانڈنگ کی طاقت کو مؤثر طریقے سے بہتر کریں۔
- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ دونوں تہوں میں اعلی تھرمل چالکتا، اور بہترین گرمی کی تقسیم کی خصوصیات ہیں۔
- اعلی پگھلنے کا نقطہ، اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت، سنکنرن مزاحمت.