SiC ICP پلیٹ

Semicorex SiC ICP پلیٹ سلکان کاربائیڈ کے ذریعے بنائی گئی ہے، جو اپنی غیر معمولی جسمانی اور کیمیائی خصوصیات کے لیے مشہور ہے۔ اس کی مضبوط نوعیت تھرمل جھٹکا، آکسیکرن، اور سنکنرن کے خلاف اعلیٰ مزاحمت کو یقینی بناتی ہے، جو سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے سخت ماحول میں اہم عوامل ہیں۔ SiC مواد کا استعمال پلیٹ کی عمر کو نمایاں طور پر بڑھاتا ہے، تبدیلی کی فریکوئنسی کو کم کرتا ہے اور اس طرح پیداواری سہولیات میں دیکھ بھال کے اخراجات اور ڈاؤن ٹائم کو کم کرتا ہے۔

SiC ICP پلیٹ پلازما اینچنگ اور جمع کرنے کے عمل میں ایک اہم کردار ادا کرتی ہے، جو سیمی کنڈکٹر ویفرز کی تخلیق کے لیے بنیادی حیثیت رکھتی ہے۔ ان عملوں کے دوران، SiC ICP پلیٹ کی اعلی تھرمل چالکتا اور استحکام درست درجہ حرارت کے کنٹرول اور پلازما کی یکساں تقسیم کو یقینی بناتا ہے، جو مستقل اور درست اینچنگ اور جمع کرنے کے نتائج حاصل کرنے کے لیے ضروری ہے۔ یہ درستگی تیزی سے چھوٹے اور پیچیدہ سیمی کنڈکٹر آلات کی تیاری میں اہم ہے، جہاں معمولی انحراف بھی کارکردگی کے اہم مسائل کا باعث بن سکتا ہے۔

SiC ICP پلیٹ کی نمایاں خصوصیات میں سے ایک اس کی غیر معمولی مکینیکل طاقت ہے۔ سلکان کاربائیڈ کی موروثی سختی اور سختی انتہائی حالات میں بھی بہترین ساختی سالمیت فراہم کرتی ہے۔ یہ مضبوطی اعلی شدت والے پلازما کے عمل کے دوران زیادہ مستحکم اور قابل اعتماد کارکردگی کا ترجمہ کرتی ہے، جس سے اجزاء کی ناکامی کے خطرے کو کم کیا جاتا ہے اور مسلسل، بلاتعطل آپریشن کو یقینی بنایا جاتا ہے۔ مزید برآں، روایتی دھاتی ہم منصبوں کے مقابلے میں مواد کی ہلکی پھلکی نوعیت، آسان ہینڈلنگ اور انسٹالیشن میں معاون ہے، جس سے آپریشنل کارکردگی میں مزید اضافہ ہوتا ہے۔

اپنی جسمانی خصوصیات کے علاوہ، SiC ICP پلیٹ بہترین کیمیائی استحکام پیش کرتی ہے۔ یہ ری ایکٹو پلازما پرجاتیوں کے خلاف قابل ذکر مزاحمت کا مظاہرہ کرتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر اینچنگ اور جمع کرنے والے ماحول میں پائے جاتے ہیں۔ یہ مزاحمت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ پلیٹ طویل عرصے تک اپنی سالمیت اور کارکردگی کو برقرار رکھتی ہے، یہاں تک کہ پلازما کے عمل میں استعمال ہونے والے جارحانہ کیمیکلز کی موجودگی میں بھی۔ نتیجتاً، SiC ICP پلیٹ ایک صاف ستھرا پروسیسنگ ماحول فراہم کرتی ہے، جو سیمی کنڈکٹر ویفرز میں آلودگی اور نقائص کے امکانات کو کم کرتی ہے۔