سیمیکوریکس ایس آئی سی روبوٹ کے ہاتھ اعلی صحت سے متعلق ہیں ، سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں محفوظ اور قابل اعتماد ویفر منتقلی کے لئے ڈیزائن کردہ انتہائی صاف ستھرا اختتامی اثر۔
سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے شعبے میں روبوٹکس ویفر ٹرانسفر ایپلی کیشنز کے لئے ڈیزائن کردہ اختتامی اثرات میں سیمیکوریکس ایس آئی سی روبوٹ ہینڈ تازہ ترین ہیں۔ اعلی کارکردگی کے مواد سے بنی ، ہم نے ان روبوٹک ہاتھوں کو سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) سیرامکس کے ساتھ انجنیئر کیا تاکہ زیادہ سے زیادہ تھرمل ٹیبولیشن ، کیمیائی استحکام ، اور میکانکی طاقت کو ویفر تانے بانے یا ہینڈلنگ کے تیزی سے سخت ماحول کے لئے فراہم کیا جاسکے۔
ہمارے ایس آئی سی روبوٹ ہاتھوں کا مرکزی مقام ہمارے ملکیتی اعلی درجے کی ہےسلیکن کاربائڈاپنی اعلی سختی (MOHS 9) ، اعلی تھرمل چالکتا ، اور سنکنرن مزاحمت کے لئے جانا جاتا ہے۔ ایلومینیم یا سٹینلیس سٹیل جیسے روایتی مواد کے برعکس ، ایس آئی سی سیمیکمڈکٹر کلین رومز کے سخت پروسیسنگ ماحول کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے جس میں پروسیسڈ اعلی درجہ حرارت اور رد عمل گیس شامل ہیں۔ ہم طویل مدتی استحکام پیش کرتے ہیں اور آلودگی کو کم سے کم کرتے ہیں ، جو ویفر مینوفیکچرنگ کے لئے درکار سخت پاکیزگی کے مطابق ہے۔
ایس آئی سی روبوٹ ہاتھوں کے ساتھ سیمیکمڈکٹر کا سامان ویفر حاصل کرنے کے لئے منفی دباؤ سکشن کا استعمال کرتا ہے یعنی ، سیمیکمڈکٹر ویفر کوارٹج یا سیرامک انگلی پر سکشن کپ کے اصول کا استعمال کرتے ہوئے بالترتیب مکینیکل ایکشن بازو کی توسیع ، گھومنے اور لفٹنگ حرکتوں کا استعمال کرتے ہوئے نقل و حمل کے بعد نقل و حمل کے بعد نقل و حمل کیا جاتا ہے۔
"ہائی اسپیڈ" اور "صفائی" سیمیکمڈکٹر ویفر ہینڈلنگ آلات کی بنیادی خصوصیات ہیں۔ ان خصوصیات کو پورا کرنے کے لئے ، استعمال شدہ اجزاء کی کارکردگی پر سامان کی انتہائی سخت ضروریات ہیں۔ چونکہ زیادہ تر عمل ویکیوم ، اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن گیس کے ماحول میں انجام دیئے جاتے ہیں ، لہذا سامان میں استعمال ہونے والے ہینڈلنگ بازو میں بہترین جسمانی خصوصیات ہونی چاہئیں ، جیسے: اعلی مکینیکل طاقت ، سنکنرن مزاحمت ، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت ، لباس کی مزاحمت ، اعلی سختی ، موصلیت ، وغیرہ ، اور اعلی درجے کی سیرامک مواد صرف ان حالات کو پورا کرسکتا ہے۔
سلیکن کاربائڈ سیرامکسگھنے ساخت ، اعلی سختی ، اعلی لباس کے خلاف مزاحمت ، نیز اچھی گرمی کی مزاحمت ، بہترین مکینیکل طاقت ، اعلی درجہ حرارت کے ماحول میں اچھی موصلیت ، اچھی سنکنرن مزاحمت اور دیگر جسمانی خصوصیات کی جسمانی خصوصیات۔ یہ سیمیکمڈکٹر آلات کو سنبھالنے والے اسلحہ بنانے کے لئے ایک بہترین مواد ہے۔
یہ تسلیم کرتے ہوئے کہ روبوٹک پلیٹ فارم فیبس اور ٹول مینوفیکچررز میں مختلف ہوتے ہیں ، ہمارے ایس آئی سی روبوٹ ہاتھ معیاری سائز کی ایک حد میں دستیاب ہیں اور انفرادی ٹول کی تشکیل کے ل custom اپنی مرضی کے مطابق کیا جاسکتا ہے۔ بڑھتے ہوئے انٹرفیس ، فنگر جیومیٹریوں ، اور ویفر سپورٹ کی خصوصیات کو مخصوص سامان اور عمل کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے تیار کیا جاسکتا ہے۔ چاہے آپ کلسٹر ٹولز ، ویکیوم چیمبرز ، یا فوپ سسٹم کے اندر ویفرز کو منتقل کررہے ہو ، ہمارے روبوٹ کے ہاتھ بغیر کسی رکاوٹ کے معروف روبوٹکس برانڈز کے ساتھ ضم ہوجاتے ہیں۔
کلاس 1 کلین روم کے معیارات کی تعمیل کو یقینی بنانے کے لئے ہر ایس آئی سی روبوٹ ہاتھ سخت صفائی ، معائنہ اور پیکیجنگ کے طریقہ کار سے گزرتا ہے۔ ایس آئی سی کی غیر غیر محفوظ ، اینٹی اسٹیٹک سطح ذرہ آسنجن کو کم کرتی ہے ، جبکہ مضبوط ڈھانچہ مائکرو فریکچر کی مزاحمت کرتا ہے جو وقت کے ساتھ ذرہ نسل کا باعث بن سکتا ہے۔ اس سے وہ فرنٹ اینڈ ویفر عمل کے ل ideal مثالی بناتے ہیں جہاں معمولی سی آلودگی بھی آلہ کی ناکامی کا باعث بن سکتی ہے۔
ایپیٹیکسی اور آئن امپلانٹیشن سے لے کر پی وی ڈی ، سی وی ڈی ، اور سی ایم پی تک ، سیمی کنڈکٹر ڈیوائس کی تانے بانے کے ہر قدم پر ایس آئی سی روبوٹ کے ہاتھوں پر بھروسہ کیا جاتا ہے۔ تھرمل جھٹکے اور پلازما کے ماحول کے لئے ان کی اعلی مزاحمت انہیں جدید منطق اور پاور سیمیکمڈکٹر لائنوں میں ناگزیر بناتی ہے ، خاص طور پر جہاں ایس آئی سی ویفر سبسٹریٹس استعمال کیے جاتے ہیں۔