sic عمودی کشتیاں

سیمیکوریکس ایس آئی سی عمودی کشتیاں انجنیئر ویفر کیریئرز ہیں ، جو عمودی فرنس سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ کے لئے سب سے زیادہ تھرمل ، مکینیکل اور کیمیائی استحکام فراہم کرنے کے لئے تیار اور تیار کی گئیں ہیں۔ اعلی طہارت کی تعمیرسلیکن کاربائڈ، ہم سمجھتے ہیں کہ وہ انتہائی اعلی درجے کی ویفر تھرمل پروسیسنگ کے لئے طاقت ، استحکام اور صفائی کا بہترین توازن ہیں ، جو عمودی فرنس سسٹم میں آکسیکرن ، بازی ، ایل پی سی وی ڈی ، اور اینیلنگ کے طور پر نوٹ کرتے ہیں۔

عمودی فرنس پروسیسنگ کے ماحول کو ایک ویفر سپورٹ سسٹم کی ضرورت ہوتی ہے جو اعلی درجہ حرارت پر بار بار نمائشوں کا مقابلہ کرسکتی ہے ، جو اکثر 1،200 ° C سے زیادہ ہوتی ہے ، اور آلودگی کے معاملات کے بغیر معمولی طور پر مستحکم رہ سکتی ہے۔ ایس آئی سی عمودی کشتیاں ان حالات میں ان کی مضبوطی میں بہترین کارکردگی کا مظاہرہ کرتی ہیں کیونکہ دوبارہ انسٹال یا سی وی ڈی سلکان کاربائڈ کی اندرونی مکینیکل اور تھرمل خصوصیات کی وجہ سے۔ ان کا انتہائی کم تھرمل توسیع گتانک تیزی سے تھرمل سائیکلنگ کی وجہ سے کم سے کم وار پیج یا مسخ کو یقینی بناتا ہے۔ مزید برآں ، اعلی تھرمل چالکتا ، تمام ویفروں میں سب سے زیادہ مقامی درجہ حرارت کی یکسانیت کی پیش کش کرتی ہے ، جو پرت کی موٹائی ، ڈوپنگ پروفائلز اور بجلی کی کارکردگی میں ویفر سے کمر مستقل مزاجی کے لئے اہم ہے۔ سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں اعلی حجم مینوفیکچرنگ کے اہم پہلو۔

روایتی کوارٹج کشتیاں کے مقابلے میں ، sic عمودی کشتیاں اعلی مکینیکل طاقت اور توسیع شدہ خدمت کی زندگی فراہم کرتی ہیں۔ کوارٹج وقت کے ساتھ ساتھ آسانی سے ٹوٹنے اور منحرف ہوجاتے ہیں ، خاص طور پر جارحانہ فرنس کیمسٹریوں میں ، جس کے نتیجے میں متبادل لاگت اور ممکنہ پیداواری رکاوٹیں پیدا ہوتی ہیں۔ اس کے برعکس ، سلیکن کاربائڈ کلورین ، ایچ سی ایل ، یا امونیا جیسی سنکنرن گیسوں کی طویل نمائش کے بعد بھی اپنی سالمیت کو برقرار رکھتا ہے ، جو مختلف بازی اور ایل پی سی وی ڈی عمل میں عام ہیں۔ اس کا غیر معمولی لباس اور آکسیکرن مزاحمت ذرہ نسل کو بہت کم کرتی ہے ، جس سے آلودگی اور عیب کی تشکیل سے ویفر سطحوں کی حفاظت میں مدد ملتی ہے۔

ساک عمودی کشتیاں الٹرا کلین پروسیسنگ کے معاملے میں بھی ایک اہم فائدہ پیش کرتی ہیں۔ اعلی طہارت ایس آئی سی مادے پر سخت تندہی کے تحت عملدرآمد کیا جاتا ہے تاکہ شناخت کرنے والے آلودگی والے دھاتوں کو کم کیا جاسکے جو سیمیکمڈکٹر آلات کی آپریشنل خصوصیات میں مداخلت کرسکتی ہیں۔ ایس آئی سی عمودی کشتی کی سطحیں دائیں زاویہ والی خصوصیات کے ساتھ اچھی طرح ختم ہوچکی ہیں جو مائیکرو پارٹیکلز بہانے کے امکان کو کم کرتی ہیں۔ ایس آئی سی سطحیں کیمیائی طور پر جڑ ہیں اور عمل گیسوں کے ساتھ کوئی رد عمل ظاہر نہیں کرتے ہیں اور اس وجہ سے آلودگی کا کم خطرہ ہے۔ اس سلسلے میں ، SIC عمودی کشتیاں لائن (Feol) کے سامنے والے سرے اور لائن کے پچھلے سرے (BEOL) وافر پروسیسنگ آپریشنز کے لئے اچھی طرح سے موزوں ہیں۔

sic عمودی کشتیاں ڈیزائن لچک بھی پیش کرتی ہیں۔ ہر عمودی کشتی ڈیزائن کے لئے مخصوص ہوسکتی ہے تاکہ متعدد ویفر قطر (150 ملی میٹر ، 200 ملی میٹر یا 300 ملی میٹر وافرز) کو ایڈجسٹ کیا جاسکے اور عمل کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے سلاٹ نمبر اور وقفہ کاری کو استعمال کیا جاسکتا ہے۔ صحت سے متعلق مشینی اور جہتی کنٹرول مناسب وافر سیدھ اور ویفر سپورٹ کی اجازت دیتا ہے جس میں لوڈنگ ، پروسیسنگ اور ان لوڈنگ کے دوران کسی بھی مائکرو سکریچ یا تناؤ کی دراڑیں پڑنے کے امکانات کو کم سے کم کیا جاسکے۔ نیز ، اگر کسی خاص عمل کے لئے اعلی درجہ حرارت کی یکسانیت اور / یا اس سے کم تھرمل ماس کی ضرورت ہو تو ، کسی بھی مکینیکل خصوصیات کی قربانی کے بغیر ، بہتر جغرافیائی اور سلاٹ ڈیزائن کو ایس آئی سی عمودی کشتی کی تشکیل میں شامل کیا جاسکتا ہے۔

ایک اور فائدہ بحالی اور آپریشنل کارکردگی ہے۔ کی سخت تعمیرsicعمودی کشتیاں متبادل وقت اور تعدد کو کم کرتی ہیں ، اس طرح ٹائم ٹائم یا ملکیت کی لاگت کو کم سے کم کرتی ہیں۔ ایس آئی سی کے تھرمل جھٹکے کی مزاحمت سے گرمی اور ٹھنڈک کے چھوٹے چکروں کو پیداواری لائنوں پر اعلی تھروپپٹ فراہم کرنے کی اجازت ملتی ہے۔ sic عمودی کشتیوں کی بحالی یا صفائی بھی بہت آسان ہے۔ یہ مواد سیمیکمڈکٹر فیبوں میں عام طور پر روایتی گیلے یا خشک صفائی کے عمل کو برداشت کرسکتا ہے جیسے تیزاب اور اعلی درجہ حرارت بیک آؤٹ کے ساتھ کیمیائی صفائی۔

نفیس سیمیکمڈکٹر تانے بانے کے اس جدید دور میں جہاں پیداوار میں بہتری ، آلودگی پر قابو پانے اور عمل میں استحکام کی تمام اہمیت ہوتی ہے ، ایس آئی سی عمودی کشتیاں ایک حقیقی تکنیکی فائدہ پیش کرتی ہیں۔ وہ عمودی فرنس ایپلی کیشنز کے جسمانی اور کیمیائی چیلنجوں سے بخوبی نپٹتے ہیں اور ویفر سالمیت ، مستقل نتائج اور آلات کی لمبی زندگی کی فراہمی کے ذریعہ عمل کی اصلاح میں مجموعی طور پر شراکت کرتے ہیں۔