سلیکن انجیکٹر

سیمیکوریکس سلیکن انجیکٹر ایک انتہائی اعلی طہارت کا جزو ہے جو پولیسیلیکن اور پتلی فلم جمع کرنے کے لئے کم پریشر کیمیکل وانپ ڈپوزیشن (ایل پی سی وی ڈی) سسٹم میں گیس کی عین مطابق فراہمی کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ 9 این (99.99999999 ٪) سے تعمیر کیا گیااعلی طہارت سلیکن، یہ عمدہ نلی نما انجیکٹر اعلی صفائی ، کیمیکلز کے ساتھ مطابقت اور انتہائی عمل کے حالات میں تھرمل استحکام فراہم کرتا ہے۔

چونکہ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ انضمام کی اعلی سطح اور آلودگی کے سخت کنٹرول تک تیار ہے ، جمع چیمبر میں گیس کی فراہمی کے ہر جزو کو بھی پہلے کے مقابلے میں اعلی معیار پر پورا اترنے کی ضرورت ہوگی۔ سیمیکوریکس سلیکن انجیکٹر کو خاص طور پر اس قسم کی ضروریات کے لئے تیار کیا گیا ہے - جو آلودگی کو متعارف کرائے بغیر رد عمل چیمبر میں مستحکم اور یکساں انداز میں گیس مادے کی فراہمی کرتا ہے جو فلمی معیار ، یا وافر پیداوار پر منفی اثر ڈالے گا۔

انجیکٹر عمل کی ضروریات پر منحصر ہے ، اور اس مواد کو کم دھاتی ، ذر .ہ اور آئنک نجاست کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس سے الٹرا کلین ایل پی سی وی ڈی شرائط کے ساتھ مطابقت کی فراہمی کی جاسکتی ہے ، جہاں بھی آلودگی کا پتہ لگانے سے فلم میں کوئی عیب پیدا ہوسکتا ہے یا کسی آلے کی ناکامی کا باعث بن سکتا ہے۔ بیس میٹریل کے طور پر سلیکن کا استعمال چیمبر کے انجیکٹر اور سلیکن اجزاء کے مابین مادی مماثلت کو بھی کم کرتا ہے ، جو استعمال اور اعلی درجہ حرارت کے عمل کے دوران ذرہ نسل کے خطرات یا کیمیائی رد عمل کو نمایاں طور پر کم کرتا ہے۔

سلیکن انجیکٹر کا سرشار نلی نما ڈھانچہ یکساں ویفر بوجھ پر گیس کی کنٹرول اور مساوی تقسیم کی اجازت دیتا ہے۔ مائکرو انجینئرڈ اوریفکس اور ہموار اندرونی سطح لیمنار گیس کی حرکیات کے ساتھ تولیدی بہاؤ کی شرح کو یقینی بناتی ہے جو بھٹی میں مستقل فلم کی موٹائی اور مستحکم جمع کی شرح کے لئے اہم ہیں۔ چاہے وہ سیلین (سیہ) ، ڈیکلوروسیلین (سیہکلا) ، یا دیگر رد عمل والی گیسیں ہوں ، انجیکٹر اچھے معیار کے پالیسیلیکن فلم کی نمو کے ل required قابل اعتماد کارکردگی اور صحت سے متعلق پیش کرتا ہے۔

بہترین تھرمل استحکام کی وجہ سے ، سیمیکوریکس سلیکن انجیکٹر 1250 ° C تک درجہ حرارت کا مقابلہ کرسکتا ہے اور اعلی درجہ حرارت ایل پی سی وی ڈی کے متعدد چکروں کے دوران خرابی ، کریکنگ یا وارپنگ کے خوف کے بغیر اس پر قابو پایا جاسکتا ہے۔ مزید برآں ، آکسیکرن اور کیمیائی جڑ سے اس کی اعلی مزاحمت طویل رنز فراہم کرتی ہے جبکہ آکسائڈائزنگ ، کم کرنے ، یا سنکنرن ماحول کو کم کرتی ہے جبکہ بحالی کو کم کرتی ہے اور عمل میں استحکام پیدا کرتی ہے۔

ہر انجیکٹر جدید ترین سی این سی مشینی اور پالش کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا جاتا ہے ، جس سے ذیلی مائکرون جہتی رواداری اور سطح پر الٹرا ہموار ختم ہوتا ہے۔ اعلی معیار کی سطح ختم گیس کی ہنگامہ خیزی کو کم سے کم کرتی ہے ، جس سے متضاد تھرمل اور دباؤ کی تبدیلیوں میں مستقل بہاؤ کی خصوصیات کو یقینی بناتے ہوئے بہت کم ذرات پیدا ہوتے ہیں۔ صحت سے متعلق مینوفیکچرنگ مضبوطی سے کنٹرول شدہ عمل کو یقینی بناتا ہے ، قابل اعتماد نتائج کو دوبارہ تولیدی ، اور اسی وجہ سے مستقل سازوسامان کی کارکردگی کو یقینی بناتا ہے۔

سیمیکوریکس بیسپوک سلیکن انجیکٹر تیار کرتا ہے ، جو کسٹم لمبائی ، قطر اور نوزل ​​کی تشکیل میں دستیاب ہے۔ ایک بار ری ایکٹر جیومیٹریوں یا جمع کرنے کی ترکیبیں کے ل gas گیس بازی کے نمونوں کو بڑھانے کے لئے تیار کردہ حل تیار کیے جاسکتے ہیں۔ ہر انجیکٹر کا معائنہ کیا جاتا ہے اور طہارت کے لئے اس کی تصدیق کی جاتی ہے تاکہ سیمی کنڈکٹر گریڈ کی اعلی سطح کی فراہمی کی جاسکےسلیکن اجزاء.

سیمیکوریکس سلیکن انجیکٹر آج کے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں درکار صحت سے متعلق اور طہارت فراہم کرتا ہے۔ 9n الٹرا ہائی پیوریٹی سلیکن ، مائکرون سطح کی مشینی درستگی ، اور اعلی تھرمل اور کیمیائی استحکام کو شامل کرنا یکساں گیس کی تقسیم ، کم ذرہ نسل اور غیر معمولی وشوسنییتا فراہم کرتا ہے جب ایل پی سی وی ڈی پولیسیلیکن جمع کرتے ہیں۔