سلیکن شیلڈ رنگ

سیمیکوریکس سلیکن شیلڈ رنگ اینچنگ کے عمل میں سیمیکمڈکٹر کا ایک اہم جز ہے۔ اس کا بنیادی کام الیکٹروڈ کو گھیرنا ہے اور پلازما کی ضرورت سے زیادہ رساو کو روکنا ہے۔ 9 این (99.999999999 ٪) سے زیادہ مادی طہارت کے ساتھ ، شیلڈ کی انگوٹھی سنگل کرسٹل اور ملٹی کرسٹل دونوں کے ذریعہ بنائی جاسکتی ہے۔سلکان، جدید سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کے ساتھ انتہائی صاف آپریشن اور قابل اعتماد مطابقت کو یقینی بنانا۔

سی سی پی/آئی سی پی اینچنگ کے عمل میں درست پلازما کنٹرول موثر ، یکساں اینچ ریٹ ، اور ویفر معیار کے لئے ضروری ہے۔ مطلوبہ اینچنگ ایریا سے باہر بے قابو پلازما رساو سطح کا کٹاؤ اور آلودگی پیدا کرسکتا ہے یا چیمبر کے اندر موجود اجزاء کو نقصان پہنچا سکتا ہے۔ سلیکن شیلڈ کی انگوٹی اس مسئلے کا ایک موثر ، آسان حل ہے ، جو الیکٹروڈ کے بیرونی فریم پر حفاظتی رکاوٹ بنانے کے لئے تشکیل دیا گیا ہے ، پلازما کو ہدف کے علاقے سے باہر پھیلنے اور صرف مطلوبہ علاقے تک اینچنگ کو محدود کرنے سے روک سکتا ہے۔ سلیکن شیلڈ کی انگوٹی پلازما کی تقسیم کو مستحکم کرنے اور ویفر سطح پر زیادہ یکساں توانائی کو قابل بنانے کے لئے بیرونی الیکٹروڈ کے طور پر بھی کام کرتی ہے۔

سلیکن کی تھرمل اور بجلی کی خصوصیات اینچنگ شیلڈ رنگ کی کارکردگی کی مزید حمایت کرتی ہیں۔ اعلی عمل کے درجہ حرارت کے خلاف اس کی مزاحمت طویل پلازما کی نمائش کے دوران ساختی سالمیت فراہم کرتی ہے ، اور اس کی برقی چالکتا الیکٹروڈ سسٹم میں عنصر کے طور پر جزو کو مناسب طریقے سے چلانے کی اجازت دیتی ہے۔ ایک ساتھ ، یہ ایپلی کیشنز پلازما کی قید میں اضافہ کرتی ہیں اور توانائی کی یکسانیت کو بہتر بناتی ہیں ، جو وافروں میں تکرار کرنے والے اینچ پروفائلز کی اجازت دیتی ہیں۔

مکینیکل رواداری سلیکن اینچنگ شیلڈ رنگ کی ایک اور قابل ذکر خصوصیت ہے۔ سخت رواداری کے لئے تیار ہونے سے ، یہ الیکٹروڈ کے ارد گرد درست پوزیشننگ کی یقین دہانی کراتا ہے اور چیمبر کی وقفہ کاری اور جیومیٹری کو برقرار رکھتا ہے۔ یہ مکینیکل صحت سے متعلق انفرادی رنز کے مابین کم تغیر کے ل process عمل کی تکرار کرنے والی شرائط پیدا کرتا ہے ، اور اعلی حجم سیمیکمڈکٹر کی تیاری کی اجازت دیتا ہے۔ مادے میں خود پلازما ماحول کے ساتھ بہترین مطابقت ہے۔ لہذا اس کے ڈھانچے کو ختم کرنے سے یہ عمل کی کارکردگی میں عام طور پر طویل خدمت زندگی اور استحکام فراہم کرنے کی اجازت دیتا ہے۔

استحکام اور لاگت کی تاثیر دو اور قیمتی فوائد ہیں۔ پلازما سے چیمبر کے غیرضروری حصوں کو بچانے سے ، ڈھال کی انگوٹھی دوسرے اہم اجزاء پر پہننے کو کم کرتی ہے ، جو بحالی کی کوششوں کو کم کرتی ہے اور آپریشنل اپ ٹائم میں مجموعی طور پر اضافہ کرتی ہے۔ طویل خدمت کی زندگی اور کم کثرت سے متبادل اس کو سیمیکمڈکٹر فیبس کے ل produc پیداواری صلاحیت کو بڑھانے اور اس طرح آپریٹنگ اخراجات کو کم کرنے کے لئے لاگت کا ایک مؤثر حل بناتا ہے۔

The سلکانہر ٹول کی ترتیب اور عمل کی وضاحتوں کے لئے بھی شیلڈ رنگ کو اپنی مرضی کے مطابق بنایا جاسکتا ہے کیونکہ وہ کئی سائز اور جیومیٹریوں میں دستیاب ہیں تاکہ بہت سے مختلف پلازما اینچنگ چیمبرز تیار کریں جو تیار کرتے ہیں ، جبکہ اب بھی زیادہ سے زیادہ فٹ حاصل کرتے ہیں۔ مزید برآں ، سطح کے علاج اور پالش کرنے کا استعمال الٹرا کلین مینوفیکچرنگ کے معیارات کے لئے ذرہ نسل کو مزید کم کرنے کے لئے کیا جاسکتا ہے۔