ٹھوس سی سی شاور ہیڈ

ٹھوس سی سی شاور ہیڈ کی اہم خصوصیات

1. پیشگی گیسوں کی بھی تقسیم

سالڈ SiC شاور ہیڈ کا ایک بنیادی کام CVD کے عمل کے دوران پیشگی گیسوں کو سبسٹریٹ میں یکساں طور پر تقسیم کرنا ہے۔ یہ بھی تقسیم سیمی کنڈکٹر ویفرز پر بننے والی پتلی فلموں کی مستقل مزاجی اور معیار کو برقرار رکھنے کے لیے ضروری ہے۔

2. مستحکم اور قابل اعتماد چھڑکاو کے اثرات

سالڈ SiC شاور ہیڈ کا ڈیزائن ایک مستحکم اور قابل اعتماد سپرےنگ اثر کی ضمانت دیتا ہے۔ یہ وشوسنییتا پروسیسنگ کے نتائج کی یکسانیت اور مستقل مزاجی کو یقینی بنانے کے لیے اہم ہے، جو کہ اعلیٰ معیار کے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لیے بنیادی ہیں۔

CVD بلک SiC اجزاء کے فوائد

CVD بلک SiC کی منفرد خصوصیات سالڈ SiC شاور ہیڈ کی تاثیر میں اہم کردار ادا کرتی ہیں۔ ان خصوصیات میں شامل ہیں:

1. اعلی کثافت اور پہننے کی مزاحمت

CVD بلک SiC اجزاء 3.2 g/cm³ کی اعلی کثافت کے مالک ہیں، پہننے اور میکانی اثرات کے لیے بہترین مزاحمت فراہم کرتے ہیں۔ یہ پائیداری اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ سالڈ SiC شاور ہیڈ ڈیمانڈ سیمی کنڈکٹر ماحول میں مسلسل آپریشن کی سختیوں کو برداشت کر سکتا ہے۔

2. اعلیٰ تھرمل چالکتا

300 W/m-K کی تھرمل چالکتا کے ساتھ، بلک SiC مؤثر طریقے سے گرمی کا انتظام کرتا ہے۔ یہ خاصیت انتہائی تھرمل سائیکلوں کے سامنے آنے والے اجزاء کے لیے بہت اہم ہے، کیونکہ یہ زیادہ گرمی کو روکتا ہے اور عمل کے استحکام کو برقرار رکھتا ہے۔

3. غیر معمولی کیمیائی مزاحمت

اینچنگ گیسوں، جیسے کلورین اور فلورین پر مبنی کیمیکلز کے ساتھ SiC کی کم رد عمل، جزو کی طویل زندگی کو یقینی بناتی ہے۔ یہ مزاحمت سخت کیمیائی ماحول میں سالڈ SiC شاور ہیڈ کی سالمیت کو برقرار رکھنے کے لیے ضروری ہے۔

4. مرضی کے مطابق مزاحمتی صلاحیت

CVD بلک SiC کی مزاحمتی صلاحیت 10^-2 سے 10^4 Ω-سینٹی میٹر کی حد کے اندر بنائی جا سکتی ہے۔ یہ موافقت سالڈ SiC شاور ہیڈ کو مخصوص اینچنگ اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کی ضروریات کو پورا کرنے کی اجازت دیتی ہے۔

5. تھرمل ایکسپینشن گتانک

4.8 x 10^-6/°C (25-1000°C) کے تھرمل ایکسپینشن گتانک کی خصوصیت کے ساتھ، CVD بلک SiC تھرمل جھٹکے کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔ یہ مزاحمت تیز رفتار حرارتی اور کولنگ سائیکلوں کے دوران جہتی استحکام کو یقینی بناتی ہے، اجزاء کی ناکامی کو روکتی ہے۔

6. پلازما کے ماحول میں پائیداری

سیمی کنڈکٹر کے عمل میں، پلازما اور رد عمل والی گیسوں کی نمائش ناگزیر ہے۔ سنکنرن اور انحطاط کے خلاف CVD بلک SiC کی اعلیٰ مزاحمت تبدیلی کی تعدد اور دیکھ بھال کے مجموعی اخراجات کو کم کرتی ہے۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایپلی کیشنز

1. کیمیائی بخارات کا ذخیرہ (CVD)

CVD کے عمل میں، سالڈ SiC شاور ہیڈ یکساں گیس کی تقسیم فراہم کر کے ایک اہم کردار ادا کرتا ہے، جو کہ اعلیٰ قسم کی پتلی فلموں کو جمع کرنے کے لیے ضروری ہے۔ سخت کیمیائی اور تھرمل ماحول کو برداشت کرنے کی اس کی صلاحیت اسے اس ایپلی کیشن میں ناگزیر بناتی ہے۔

2. اینچنگ کے عمل

ٹھوس SiC شاور ہیڈ کی کیمیائی مزاحمت اور تھرمل استحکام اسے اینچنگ ایپلی کیشنز کے لیے موزوں بناتا ہے۔ اس کی پائیداری اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ یہ اینچنگ کے عمل میں عام طور پر پائے جانے والے جارحانہ کیمیکلز اور پلازما کے حالات کو سنبھال سکتا ہے۔

3. تھرمل مینجمنٹ

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے اندر، موثر تھرمل مینجمنٹ بہت ضروری ہے۔ سالڈ SiC شاور ہیڈ کی اعلی تھرمل چالکتا گرمی کو مؤثر طریقے سے ختم کرنے میں مدد کرتی ہے، اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ اس عمل میں شامل اجزاء محفوظ آپریٹنگ درجہ حرارت کے اندر رہیں۔

4. پلازما پروسیسنگ

پلازما پروسیسنگ میں، سالڈ SiC شاور ہیڈ کی پلازما کی حوصلہ افزائی انحطاط کے خلاف مزاحمت دیرپا کارکردگی کو یقینی بناتی ہے۔ یہ استحکام عمل کی مستقل مزاجی کو برقرار رکھنے اور آلات کی خرابی کی وجہ سے ڈاؤن ٹائم کو کم کرنے کے لیے اہم ہے۔