ٹی اے سی لیپت سیارے کی پلیٹ

سیمیکوریکس ٹی اے سی لیپت سیارے کی پلیٹ ایم او سی وی ڈی ری ایکٹرز کے اندر ایک کلیدی جزو کے طور پر کام کرتی ہے ، جس میں ایک سیاروں کے ڈیزائن کی نمائش ہوتی ہے جس کی خصوصیات اس کی سطح کے ساتھ ترتیب دیئے گئے متعدد ویفر جیبوں کی ہوتی ہے۔ یہ جیبیں خاص طور پر کسی بھی ایپیٹیکسیل پرت کی نمو کے مرحلے کے دوران ویفروں کو قابل اعتماد طریقے سے ایڈجسٹ کرنے کے لئے بنائی گئی ہیں ، سبسٹریٹ ویفرز کو مستحکم کرتی ہیں اور بلند عمل کے درجہ حرارت کے تحت سبسٹریٹ موومنٹ کو کم سے کم کرتی ہیں۔ عین مطابق جیب جیومیٹری مستقل ویفر پلیسمنٹ مہیا کرتی ہے جو ایپیٹاکسیل پرتوں کی یکساں موٹائی اور اسی عمل کے دوران اگائے جانے والے تمام ویفروں کے لئے سبسٹریٹ نقائص کی یکسانیت کی سطح کے لئے اہم ہے۔

سیاروں کی پلیٹ کا ایک اہم ڈیزائن پہلو ، ایک بار پھر ، پلیٹ کی سطح کے ساتھ ساتھ عمدہ گیس کے بہاؤ کے سوراخوں کی انجنیئر بازی ہے۔ ان سوراخوں کو احتیاط سے ڈیزائن کیا گیا ہے اور خاص طور پر ری ایکٹر میں پیشگی گیسوں کے بہاؤ کو میٹر کرنے کے لئے حکمت عملی کے ساتھ پوزیشن میں رکھا گیا ہے ، لہذا ہر ویفر کے درمیان یکساں گیس کی بازی اور یہاں تک کہ جمع بھی حاصل کیا جاتا ہے۔ کسی بھی MOCVD عمل میں ، گیس کی حرکیات کے پہلو فلم کی خصوصیات ، موٹائی کی یکسانیت اور آلہ کی مجموعی کارکردگی کا تعین کرنے میں اہم ہیں۔ پر بہتر سوراخ ڈیزائنٹی اے سی لیپتسیاروں کی پلیٹ اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ تمام ویفرز ایک ہی عمل کے حالات کا تجربہ کریں ، جو پیداوار اور تولیدی صلاحیت کو بہتر بنانے کا ایک بہترین طریقہ فراہم کرتا ہے۔

The ٹی اے سی (ٹینٹلم کاربائڈ) کوٹنگمزید سیاروں کی پلیٹ کی کارکردگی اور زندگی میں توسیع کرتا ہے۔ ٹینٹلم کاربائڈ انتہائی سخت ، کیمیائی طور پر غیر فعال اور تھرمل طور پر کوند کرنے والا ہے ، جس سے یہ انتہائی ایم او سی وی ڈی ماحول کے لئے ایک بہترین کوٹنگ ہے۔ ایپیٹیکسی کے دوران ، ری ایکٹر میں موجود اجزاء کو اعلی درجہ حرارت ، رد عمل پیشگی گیسوں اور پلازما کی نمائش کا سامنا کرنا پڑے گا۔ ٹی اے سی کی کوٹنگ سنکنرن ، آکسیکرن اور ذرہ نسل کے لئے ایک مضبوط رکاوٹ کا کام کرتی ہے جس کے نتیجے میں بغیر کسی کوڑے یا روایتی لیپت پلیٹ کے مقابلے میں سیاروں کی پلیٹ کی زندگی میں نمایاں توسیع ہوتی ہے۔

ٹی اے سی لیپت سیارے کی پلیٹ کی لمبی عمر اور استحکام اسے ایم او سی وی ڈی سسٹم کے ل a ایک سرمایہ کاری مؤثر انتخاب بناتا ہے۔ پائیدار ٹی اے سی پرت بار بار تھرمل سائیکلنگ اور انتہائی عمل گیسوں کی نمائش کا مقابلہ کرسکتی ہے جبکہ ساختی سالمیت اور کارکردگی کی استحکام کو برقرار رکھتی ہے جبکہ توسیعی ٹائم فریموں پر کام کرتے ہیں۔