ٹی اے سی کوٹنگ پیڈسٹل سپورٹر

سیمیکوریکس ٹی اے سی کوٹنگ پیڈسٹل سپورٹر کا مکینیکل تعاون میں کلیدی کردار ہے ، بلکہ عمل کے بہاؤ کو کنٹرول کرنے میں بھی۔ جب یہ ری ایکٹر میں استعمال ہوتا ہے تو یہ مرکزی حساسپٹر یا ویفر کیریئر کے نیچے واقع ہے۔ یہ گھومنے والی اسمبلی کو پوزیشن میں لاک کرتا ہے ، پیڈسٹل میں تھرمل توازن رکھتا ہے ، اور ویفر زون کے نیچے صحت مند گیس کے بہاؤ کا انتظام کرتا ہے۔ ٹی اے سی کوٹنگ پیڈسٹل سپورٹر دونوں افعال کے لئے بنایا گیا ہے ، جس میں تعمیری طور پر تیار کردہ گریفائٹ بیس بھی شامل ہے جو کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے ذریعہ ٹینٹلم کاربائڈ (ٹی اے سی) کی یکساں گھنے پرت کے ساتھ لیپت ہے۔

ٹینٹلم کاربائڈ ایک انتہائی ریفریکٹری اور کیمیائی طور پر غیر فعال مواد میں سے ایک ہے ، جس میں پگھلنے کا نقطہ 3800 ° C سے اوپر ہے اور سنکنرن اور کٹاؤ کے لئے زبردست مزاحمت ہے۔ جب سی وی ڈی تیار کرنے کے لئے کام کرتا ہےٹیک کوٹنگز، حتمی نتیجہ ایک ہموار ، گھنے کوٹنگ ہے جو گرافٹ سبسٹریٹ کو اعلی درجہ حرارت آکسیکرن ، امونیا سنکنرن ، اور دھات کے نامیاتی پیشگی رد عمل سے بچاتا ہے۔ Epitaxial عملوں سے وابستہ سنکنرن گیسوں یا انتہائی تھرمل سائیکلنگ کی لمبی لمبی نمائش کے تحت ، پیڈسٹل سپورٹر برداشت کرتا ہے ، جس سے ساختی اور کیمیائی استحکام برقرار رہتا ہے۔

متعدد اہم افعال کو انجام دیتے ہوئے ، سی وی ڈی ٹی اے سی کوٹنگ ایک حفاظتی رکاوٹ کے طور پر کام کرتی ہے ، گریفائٹ کوٹنگ سے کسی بھی ممکنہ کاربن آلودگی اور ری ایکٹر کے ماحول میں داخل ہونے یا ویفر کو متاثر کرنے سے سبسٹریٹ کو روکتی ہے۔ دوسرا ، یہ کیمیائی جڑتا مہیا کرتا ہے ، آکسائڈائزنگ اور ماحول کو کم کرنے میں صاف اور مستحکم سطح کو برقرار رکھتا ہے۔ اس سے عمل گیسوں اور ری ایکٹر ہارڈ ویئر کے مابین ناپسندیدہ رد عمل کو روکتا ہے ، اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ گیس فیز کیمسٹری کو کنٹرول کیا جائے اور اس فلم کی یکسانیت کو محفوظ رکھا جائے۔

گیس کے بہاؤ پر قابو پانے میں پیڈسٹل سپورٹر کی اہمیت کو بھی اتنا ہی نوٹ کیا جانا چاہئے۔ Epitaxial جمع کرنے کے عمل میں ایک اہم پہلو یہ ہے کہ مستقل پرت کی نشوونما کے ل the ویفر کی پوری سطح پر بہنے والے عمل گیسوں کی یکسانیت کو یقینی بنایا جائے۔ ٹی اے سی کوٹنگ پیڈسٹل سپورٹر کو گیس کے بہاؤ کے چینلز اور جیومیٹریوں کو کنٹرول کرنے کے لئے عین مطابق مشینی ہے ، جو رد عمل زون میں آسانی سے اور یکساں طور پر گیسوں کو براہ راست عمل میں مدد فراہم کرے گا۔ لامینر بہاؤ کو کنٹرول کرنے سے ، ہنگامہ آرائی کو کم سے کم کیا جاتا ہے ، مردہ زون ختم ہوجاتے ہیں ، اور گیس کا زیادہ مستحکم ماحول ہوتا ہے۔ یہ سب اعلی فلم کی موٹائی کی یکسانیت اور بہتر ایپیٹاکسیل معیار میں معاون ہے۔

The ٹیک کوٹنگاعلی تھرمل چالکتا اور ایمسیسیٹی مہیا کرتا ہے ، جو پیڈسٹل سپورٹر کو گرمی کو موثر انداز میں چلانے اور اس کو تیز کرنے کی بھی اجازت دیتا ہے۔ اس سے حساسیت اور کم درجہ حرارت کے تدریج کے ساتھ سوسری اور ویفر پر درجہ حرارت کی بہتر یکسانیت کا باعث بنے گا جس سے کرسٹل نمو میں کم تغیر پیدا ہوتا ہے۔ مزید برآں ، ٹی اے سی غیر معمولی آکسیکرن مزاحمت پیش کرتا ہے ، جو طویل مدتی کارروائیوں کے دوران ایمسیوٹی کو یقینی بنائے گا ، درجہ حرارت کے درست انشانکن اور تکرار کرنے کے قابل عمل کارکردگی کو یقینی بنائے گا۔

ٹی اے سی کی کوٹنگ پیڈسٹل سپورٹر میں اعلی میکانی استحکام ہے ، جو توسیع شدہ آپریشنل زندگی کو قرض دیتا ہے۔ سی وی ڈی کوٹنگ کا عمل ، خاص طور پر ، ٹی اے سی پرت اور گریفائٹ سبسٹریٹ کے مابین ٹھوس مالیکیولر بانڈ پیدا کرتا ہے تاکہ تھرمل تناؤ سے تعی .ن ، کریکنگ ، یا چھلکے کو روکا جاسکے۔ لہذا یہ ایک جزو ہے جس میں سیکڑوں اعلی درجہ حرارت کے چکروں سے فائدہ اٹھانا پڑتا ہے۔