ویفر قبول کرنے والا

Semicorex Wafer Susceptor کو گریفائٹ سے مہارت کے ساتھ تیار کیا گیا ہے اور جدید سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کی ضروری شرائط کو پورا کرنے کے لیے اسے سلکان کاربائیڈ (SiC) کے ساتھ لیپت کیا گیا ہے۔

epitaxy کے عمل میں، ایک مستحکم اور کنٹرول شدہ ماحول کو برقرار رکھنا بالکل ضروری ہے۔ Wafer Susceptor ایک بنیادی پلیٹ فارم کے طور پر کام کرتا ہے جس پر wafers کو جمع کرنے کے دوران رکھا جاتا ہے، جو درجہ حرارت کی یکسانیت، کیمیائی جڑت، اور میکانکی طاقت کے لیے اعلیٰ معیار کی ایپیٹیکسیل تہوں کو حاصل کرنے کے لیے قطعی تقاضوں کو پورا کرتا ہے۔

Wafer Susceptor کے لیے بنیادی مواد کے طور پر گریفائٹ کا انتخاب اس کی بہترین تھرمل چالکتا اور مکینیکل خصوصیات کی وجہ سے ہوتا ہے۔ گریفائٹ کی ساختی سالمیت کو برقرار رکھتے ہوئے اعلی درجہ حرارت کو برداشت کرنے کی صلاحیت ایپیٹیکسی ری ایکٹرز کے اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں اہم ہے۔ مزید برآں، گریفائٹ کی تھرمل چالکتا پورے ویفر میں گرمی کی موثر تقسیم کو یقینی بناتی ہے، جس سے درجہ حرارت کے میلان کے خطرے کو کم کیا جاتا ہے جو اپیٹیکسیل پرت میں نقائص کا باعث بن سکتا ہے۔

Wafer Susceptor کی کارکردگی کو بڑھانے کے لیے، ایک سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ کو مہارت سے گریفائٹ بیس پر لگایا جاتا ہے۔ SiC اعلی کیمیائی مزاحمت کے ساتھ ایک انتہائی پائیدار مواد ہے، جو اسے سیمی کنڈکٹر ماحول میں استعمال کے لیے مثالی بناتا ہے جہاں رد عمل والی گیسیں اکثر موجود ہوتی ہیں۔ SiC کوٹنگ ایک حفاظتی رکاوٹ فراہم کرتی ہے جو گریفائٹ کو ممکنہ کیمیائی رد عمل سے بچاتی ہے، ویفر سسپٹر کی لمبی عمر کو یقینی بناتی ہے اور ری ایکٹر کے اندر صاف ستھرے ماحول کو برقرار رکھتی ہے۔

SiC-coated graphite سے بنا Semicorex Wafer Susceptor سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی عمل میں ایک ناگزیر جزو ہے۔ سلکان کاربائیڈ کے کیمیکل اور تھرمل استحکام کے ساتھ گریفائٹ کی تھرمل اور مکینیکل خصوصیات کا اس کا امتزاج اسے جدید سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے سخت تقاضوں کے لیے مثالی طور پر موزوں بناتا ہے۔ سنگل ویفر ڈیزائن اعلی معیار کے سیمی کنڈکٹر آلات کی تیاری میں حصہ ڈالتے ہوئے ایپیٹیکسی عمل پر قطعی کنٹرول پیش کرتا ہے۔ یہ سسیپٹر اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ویفرز کو انتہائی احتیاط اور درستگی کے ساتھ ہینڈل کیا جاتا ہے، جس کے نتیجے میں اعلیٰ اپیٹیکسیل پرتیں اور بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرنے والے سیمی کنڈکٹر پروڈکٹس ہوتے ہیں۔