ویفر ہولڈر

سیمیکوریکس ویفر ہولڈر کو اعلیٰ پیوریٹی گریفائٹ سے بنے کور کے ساتھ بڑی مہارت سے انجنیئر کیا گیا ہے اور مائع فیز ایپیٹیکسی (ایل پی ای) آلات کی طلب کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے سلکان کاربائیڈ (SiC) کے ساتھ احتیاط سے لیپت کیا گیا ہے۔ سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن میں شامل اعلی درجہ حرارت کے عمل کے دوران ویفرز کی سالمیت کو برقرار رکھنے کے لیے اس کی تعمیر اور مواد کا انتخاب بالکل اہم ہے۔

SiC لیپت گریفائٹ ویفر ہولڈر پہننے اور آنسو کے خلاف شاندار مزاحمت کا مظاہرہ کرتا ہے، جو کہ عین مطابق طول و عرض اور سطح کے معیار کو زیادہ سے زیادہ ویفر ہینڈلنگ کے لیے درکار ہے۔ ایل پی ای کے عمل میں، ویفر ہولڈر کی سطح کی سالمیت سب سے اہم ہے، کیونکہ کسی بھی انحطاط یا ناہمواری کے نتیجے میں ویفر میں نقائص پیدا ہو سکتے ہیں، جس سے کم پیداوار اور فضلہ میں اضافہ ہو سکتا ہے۔ SiC کوٹنگ اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ ویفر ہولڈر بار بار کے چکروں پر ایک ہموار، مستحکم سطح کو برقرار رکھتا ہے، جس سے ایپیٹیکسی کے عمل کی مجموعی وشوسنییتا اور مستقل مزاجی میں مدد ملتی ہے۔

مزید برآں، SiC کوٹنگ ویفر ہولڈر کی تھرمل کارکردگی کو بڑھاتی ہے۔ سلیکون کاربائیڈ کی اعلی تھرمل چالکتا ایپیٹیکسی کے عمل کے دوران ویفر میں گرمی کی تقسیم کو بھی یقینی بناتی ہے، جو تھرمل گریڈینٹ کو روکنے کے لیے بہت اہم ہے جو ویفرز کے تپنے یا ٹوٹنے کا سبب بن سکتے ہیں۔ یہ اس بات کی ضمانت دیتا ہے کہ حتمی مصنوعات سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں درکار سخت معیار کے معیار پر پورا اترتی ہیں۔ ایس آئی سی کوٹنگ کے اضافی فوائد کے ساتھ گریفائٹ کی موروثی تھرمل خصوصیات کا امتزاج ایک ویفر ہولڈر بناتا ہے جو انتہائی مشکل تھرمل ماحول کو برداشت کرنے کی صلاحیت رکھتا ہے۔

ویفر ہولڈر کا ڈیزائن ایل پی ای آلات میں اس کے اطلاق کے لیے موزوں ہے۔ ویفر ہولڈر کو ویفرز کو محفوظ طریقے سے ایڈجسٹ کرنے کے لیے بالکل درست طریقے سے مشین بنایا گیا ہے، جس سے ایپیٹیکسی کے عمل کے دوران نقل و حرکت یا غلط ترتیب کے خطرے کو کم کیا جاتا ہے۔ یہ درستگی بہت اہم ہے، کیونکہ ویفر پوزیشن میں معمولی سی تبدیلی بھی غیر مساوی جمع ہونے کا باعث بن سکتی ہے، جس سے من گھڑت سیمی کنڈکٹر آلات کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔ SiC لیپت گریفائٹ ویفر ہولڈر ضروری استحکام فراہم کرتا ہے، اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ پورے عمل کے دوران ویفرز صحیح پوزیشن میں رہیں۔

                                                        ایل ای پی ڈھانچہ، ایل پی ای سے