1x2" گریفائٹ ویفر سسیپٹرز

Semicorex 1x2" graphite wafer susceptors 2 انچ کے ویفرز کے لیے خاص طور پر انجنیئر کیے گئے اعلیٰ کارکردگی کے ساتھ لے جانے والے اجزاء ہیں، جو سیمی کنڈکٹر ویفرز کے ایپیٹیکسیل عمل کے لیے موزوں ہیں۔ صنعت کے معروف مادّی کی پاکیزگی، درست انجینئرنگ کی طلب اور غیر یقینی ترقی کے ماحول کے لیے Semicorex کا انتخاب کریں۔

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

سیمی کنڈکٹر ویفر فیبریکیشن میں، سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز کے بعد کے فیبریکیشن کے لیے ویفر سبسٹریٹ پر ایپیٹیکسیل پرت کو اگانے کی ضرورت ہوتی ہے۔ چونکہ epitaxial ترقی کا عمل درجہ حرارت کے اتار چڑھاو اور آلودگی کے لیے انتہائی حساس ہے، اس لیے قابل اعتماد کا انتخابwafer susceptorsتنقیدی طور پر اہم ہیں. ویفر ایپیٹیکسیل عمل میں ناگزیر معاون حصوں کے طور پر، مشینی درستگی، تھرمل مینجمنٹ کی صلاحیت، اور آلودگی کے خلاف مزاحمت کی کارکردگی اعلیٰ معیار کی ویفر ایپیٹیکسیل ترقی کو حاصل کرنے میں اہم عوامل ہیں۔

1x2

سیمیکوریکس 1x2" گریفائٹ ویفر سسپٹرس کے افعال

انتہائی باریک اناج سے بنا ہوا، اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ کو خاص عمل کے ذریعے گھنے سلیکون کاربائیڈ کوٹنگ کے ساتھ ان کے میٹرکس کے طور پر، Semicorex 1x2" گریفائٹ ویفر سسپٹرز درج ذیل افعال فراہم کرتے ہیں:

1. محفوظ اور باسی ہولڈنگ

Semicorex 1x2"گریفائٹwafer susceptors میں درستگی کی مشینی اور علاج کی خصوصیت ہے، جو سطح کی غیر معمولی ہمواری اور جہتی درستگی فراہم کرتی ہے۔ یہ یقینی بناتا ہے کہ وہ ایک مناسب پوزیشن میں مضبوطی سے محفوظ ہیں اور ویفر ایپیٹیکسیل نمو کے لیے ایک مستحکم، فلیٹ سپورٹ پلیٹ فارم فراہم کرتا ہے۔

2.Precision یکساں حرارت کی تقسیم

گریفائٹ اور SiC مواد کی بہترین تھرمل چالکتا کے ساتھ، Semicorex 1x2" گریفائٹ ویفر سسیپٹرز سیمی کنڈکٹر مادہ میں تیز رفتار اور یکساں گرمی کی تقسیم فراہم کرتے ہیں۔ درجہ حرارت کے گریڈینٹ کو کم سے کم کرکے، Semicorex 1x2" گریفائٹ ویفر سسیپٹرز غیر مساوی epcentita کے کوالٹی اسٹریس جیسے مسائل سے مؤثر طریقے سے بچ سکتے ہیں۔

سیمیکوریکس سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کے فوائد

1. اعلی سنکنرن مزاحمت

گھنے سلیکون کاربائیڈ کوٹنگ سے ڈھکے ہوئے، Semicorex 1x2" گریفائٹ ویفر سسیپٹرز زیادہ تر کیمیکلز کے خلاف مؤثر طریقے سے مزاحم ہیں، انہیں انتہائی سنکنار آپریٹنگ حالات میں استعمال کرنے کے لیے موزوں بناتے ہیں جہاں مواد اکثر سنکنار گیسوں اور کیمیائی بخارات کے سامنے رہتا ہے۔

2. کم پارٹیکل شیڈنگ

سیمیکوریکسسلکان کاربائڈ کوٹنگگریفائٹ میٹرکس کے ساتھ اعلی بانڈنگ کی طاقت ہے، جو سنکنرن کی وجہ سے کوٹنگ کی لاتعلقی کی وجہ سے سبسٹریٹ کی آلودگی کے خطرے سے نمایاں طور پر بچ سکتی ہے اور زیادہ سنکنرن ماحول کی وجہ سے ذرہ گرنے سے۔

3. قابل اعتماد سروس کی زندگی

اگرچہ گریفائٹ میٹرکس بہترین تھرمل استحکام اور مکینیکل طاقت کی نمائش کرتے ہیں، لیکن یہ ایپیٹیکسیل عمل کے آپریٹنگ حالات میں سنکنرن اور پلورائزیشن کا شکار ہے، غیر کوٹیڈ گریفائٹ میٹرکس کی عمر کو بہت کم کر دیتا ہے۔ گھنے SiC کوٹنگز کے ساتھ گریفائٹ میٹرکس کو مکمل طور پر سمیٹ کر، ہمارے 1×2" گریفائٹ ویفر سسپٹرس اعلیٰ اور قابل اعتماد استحکام حاصل کرتے ہیں۔

Semicorex SiC کوٹنگ کا مادی ڈیٹا

مخصوص خصوصیات	یونٹس	اقدار
ساخت	/	ایف سی سی β مرحلہ
واقفیت	کسر (%)	111 کو ترجیح دی گئی۔
بلک کثافت	g/cm³	3.21
سختی	Vickers سختی	2500
حرارت کی صلاحیت	J·kg⁻¹·K⁻¹	640
حرارتی توسیع 100–600 °C (212–1112 °F)	10⁻⁶K⁻¹	4.5
ینگ کا ماڈیولس	Gpa (4pt موڑ، 1300°C)	430
اناج کا سائز	µm	2 - 10
Sublimation درجہ حرارت	°C	2700
لچکدار طاقت	MPa (RT 4 پوائنٹ)	415
تھرمل چالکتا	(W/mK)	300