8 انچ ایپی نیچے کی انگوٹھی

سیمیکوریکس 8 انچ ایپی نچلی رنگ ایک اہم ساختی حصہ ہے جو سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسی آلات کے لئے استعمال ہوتا ہے اور خاص طور پر مکمل حساسیت اسمبلی کی نچلی انگوٹھی بننے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ نیچے کی انگوٹھی ویفر کی ایپیٹاکسیل نمو کے دوران ویفر کیریئر سسٹم کی حمایت کرتی ہے جبکہ میکانیسکا استحکام ، تھرمل یکسانیت ، اور عمل کی سالمیت میں تعاون کرتے ہیں جس کی اعلی کارکردگی سیمیکمڈکٹر وفر تیار کرنے کے لئے درکار ہے۔ نیچے کی انگوٹھی اعلی طہارت گریفائٹ سے تیار کی گئی ہے جسے سطح کی سطح پر لیپت کیا گیا ہے ، سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کی گھنے اور یکساں کوٹنگ کے ساتھ۔ اس کے نتیجے میں ، یہ انتہائی تھرمل اور کیمیائی حالات کے تحت جدید ایپیٹیکسیئل ری ایکٹرز کے لئے انتہائی قابل اعتماد متبادل کی نمائندگی کرتا ہے۔

گریفائٹ اعلی درجہ حرارت کے تحت ہلکے وزن ، بہترین تھرمل کنڈکٹر ، اور غیر پیچیدہ تعمیر کے ساتھ غیر پیچیدہ تعمیر کی وجہ سے نیچے کی انگوٹھی کے لئے سب سے مناسب بیس مواد ہے۔ یہ خصوصیات نیچے کی انگوٹھی کو تیز رفتار سے تھرمل چکر لگانے کی اجازت دیتی ہیں اور اسی وجہ سے خدمت میں رہتے ہوئے مکینیکل کارکردگی میں مستقل تسلسل کا مظاہرہ کرتی ہیں۔ گھنے اور عیب سے پاک سیرامک بیرونی پرت تیار کرنے کے لئے کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے عمل کا استعمال کرتے ہوئے ایس آئی سی بیرونی کوٹنگ کا اطلاق ہوتا ہے۔ اس کے علاوہ ، سی وی ڈی عمل ایک ایسا عمل مہیا کرتا ہے جو بنیادی سبسٹریٹ گریفائٹ کو پریشان نہ کرنے کی دیکھ بھال کے ساتھ ایس آئی سی کوٹنگ کو سنبھال کر پہننے اور ذرہ نسل کو محدود کرتا ہے۔ ایس آئی سی اور گریفائٹ کے یکجہتی کے طور پر ، ایس آئی سی سطح کی پرت کیمیائی طور پر عمل گیسوں کی سنکنرن کارروائی کے لئے جڑ جاتی ہے ، خاص طور پر ہائیڈروجن اور کلورینیٹڈ پروڈکشن کے ساتھ ، اور اس میں بہترین سختی اور لباس مزاحمت دونوں ہوتی ہے۔

8 انچ EPI نیچے کی انگوٹھی زیادہ تر افقی یا عمودی MOCVD اور CVD Epitaxial ٹولز کے ساتھ مطابقت کے لئے بنائی گئی ہے جو سلیکن ، سلیکن کاربائڈ یا کمپاؤنڈ سیمیکمڈکٹرز جمع کرواتے ہیں۔ اصلاح شدہ جیومیٹری کو ویفر ہولڈر سسٹم کے حساسیت اور اعلی اجزاء کو عین مطابق سیدھ ، آفاقی گرمی کی تقسیم اور ویفر گردش میں استحکام کے ساتھ فٹ کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ رنگ کی عمدہ فلیٹ پن اور ارتکازیت وفر کی سطح پر ایپیٹیکسیل پرت کی یکسانیت کو درآمد کرنے اور کم سے کم نقائص کو وصف کرنا۔

اس sic لیپت گریفائٹ رنگ کے فوائد میں سے ایک کم ذرہ اخراج کا سلوک ہے جو پروسیسنگ کے دوران ویفر کی آلودگی کو کم کرتا ہے۔ صاف چیمبر کے ماحول اور پیداوار کی شرحوں کو حاصل کرنے کے ل Non غیر لیپت گریفائٹ اجزاء کے مقابلے میں ایس آئی سی پرت کاربن ذرات کی آؤٹ گیسنگ اور نسل کو کم کرتی ہے۔ اس کے علاوہ ، جامع ڈھانچے کی عمدہ تھرمل جھٹکا مزاحمت مصنوع کی زندگی کو طول دیتی ہے ، سیمیکمڈکٹر مینوفیکچررز کے لئے متبادل اور کم آپریشن کے اخراجات کو کم کرتی ہے۔

تمام نچلے حلقوں کو جہتی طور پر جانچ پڑتال کی جاتی ہے ، سطح کے معیار کی جانچ پڑتال کی جاتی ہے ، اور تھرمل سائیکل کی جانچ کی جاتی ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ وہ سیمیکمڈکٹر تیاری کے ماحول کی اہم ماحولیاتی ضروریات کو پورا کرتے ہیں۔ مزید برآں ، ایس سی سطح کی کوٹنگ کی موٹائی میکانکی اور تھرمل ممکنہ مطابقت کے ل adequate کافی سے زیادہ ہے۔ آسنجن عوامل کے لئے ایس آئی سی کوٹنگز کا معمول کے مطابق جانچ پڑتال کی جاتی ہے جس سے یہ یقینی بنایا جاتا ہے کہ جب نیچے کی انگوٹھی اعلی درجہ حرارت کے جمع ہونے کا سامنا کرتی ہے تو چھیلنے یا فلائنگ نہیں ہوتی ہے۔ انفرادی ری ایکٹر ڈیزائن اور عمل کی ایپلی کیشنز کے ل The فلیٹ نچلے رنگ کی انگوٹی کو کچھ معمولی جہتی اور کوٹنگ پراپرٹی کی مختلف حالتوں کے ساتھ اپنی مرضی کے مطابق بنایا جاسکتا ہے۔

سیمیکوریکس سے سیمیکوریکس 8 انچ ایپی نچلی رنگ کی انگوٹھی طاقت ، کیمیائی مزاحمت ، اور ایپیٹاکسیل نمو کے نظام کے لئے سازگار تھرمل خصوصیات کا ایک بہترین توازن پیش کرتی ہے۔ ایس آئی سی لیپت گریفائٹ کے معلوم فوائد کی وجہ سے ، یہ نچلی انگوٹھی اعلی درجہ حرارت جمع کرنے کے عمل میں اعلی ویفر معیار ، کم آلودگی کا امکان ، اور طویل خدمت کی زندگی مہیا کرتی ہے۔ اس نچلی انگوٹھی کو سی ، ایس آئی سی ، یا III-V مادی ایپیٹیکسیل نمو کے ساتھ استعمال کے لئے انجنیئر کیا گیا ہے۔ یہ سیمیکمڈکٹر مادے کی تیاری میں قابل اعتماد ، تکرار کرنے والے راحت کی پیش کش کے لئے بنایا گیا ہے۔