ایلن ہیٹر

سیمیکمڈکٹر کے لئے سیمیکوریکس ایلن ہیٹر ایک ایسا آلہ ہے جو سیمیکمڈکٹر مواد کو گرم کرنے کے لئے استعمال ہوتا ہے۔ یہ بنیادی طور پر بنا ہوا ہےایلومینیم نائٹرائڈ سیرامکمواد ، بہترین تھرمل چالکتا اور درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت رکھتا ہے ، اور اعلی درجہ حرارت پر مستحکم کام کرسکتا ہے۔ ہیٹر عام طور پر حرارتی عنصر کے طور پر مزاحمتی تار کا استعمال کرتا ہے۔ مزاحمتی تار کو گرم کرنے کے لئے تقویت بخش کر ، گرمی کو سیمیکمڈکٹر مواد کی حرارت کو حاصل کرنے کے لئے ہیٹر کی سطح پر منتقل کیا جاتا ہے۔ سیمیکمڈکٹر کے لئے ALN ہیٹر سیمیکمڈکٹر کی پیداوار کے عمل میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے اور کرسٹل نمو ، اینیلنگ اور بیکنگ جیسے عمل میں استعمال کیا جاسکتا ہے۔

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے فرنٹ اینڈ پروسیس (FEOL) میں ، ویفر پر مختلف عمل کے علاج کروائے جائیں ، خاص طور پر ویفر کو کسی خاص درجہ حرارت پر گرم کرنا ، اور اس میں سخت تقاضے ہیں ، کیونکہ درجہ حرارت کی یکسانیت مصنوعات کی پیداوار پر بہت اہم اثر و رسوخ رکھتی ہے۔ ایک ہی وقت میں ، سیمیکمڈکٹر آلات کو ایسے ماحول میں بھی کام کرنا چاہئے جہاں ویکیوم ، پلازما اور کیمیائی گیسیں موجود ہیں ، جس کے لئے سیرامک ​​ہیٹر (سیرامک ​​ہیٹر) کے استعمال کی ضرورت ہوتی ہے۔ سیرامک ​​ہیٹر سیمیکمڈکٹر پتلی فلم جمع کرنے کے سازوسامان کے اہم اجزاء ہیں۔ وہ اس عمل کے چیمبر میں استعمال ہوتے ہیں اور براہ راست ویفر سے رابطہ کرتے ہیں اور ویفر کو مستحکم اور یکساں عمل کے درجہ حرارت کو حاصل کرنے اور اعلی صحت سے متعلق کے ساتھ ویفر سطح پر پتلی فلموں پر رد عمل ظاہر کرنے اور ان کے قابل بنانے کے لئے براہ راست رابطہ کرتے ہیں۔

سیرامک ​​ہیٹر کے لئے پتلی فلم جمع کرنے کا سامان عام طور پر اس پر مبنی سیرامک ​​مواد استعمال کرتا ہےایلومینیم نائٹریڈ (ALN)اس کی وجہ سے اعلی درجہ حرارت شامل ہے۔ ایلومینیم نائٹریڈ میں برقی موصلیت اور عمدہ تھرمل چالکتا ہے۔ اس کے علاوہ ، اس کا تھرمل توسیع کا گتانک سلیکن کے قریب ہے ، اور اس میں پلازما کی بہترین مزاحمت ہے ، جس سے یہ سیمیکمڈکٹر ڈیوائس کے جزو کے طور پر استعمال کے ل very بہت موزوں ہے۔

ایل این ہیٹر میں ایک سیرامک ​​اڈہ شامل ہے جو ویفر کو لے کر جاتا ہے ، اور ایک بیلناکار سپورٹ باڈی جو اس کی پشت پر اس کی تائید کرتا ہے۔ سیرامک ​​اڈے کے اندر یا سطح پر ، حرارتی نظام کے لئے مزاحمتی عنصر (حرارتی پرت) کے علاوہ ، ایک آریف الیکٹروڈ (آر ایف پرت) بھی ہے۔ تیزی سے حرارتی اور ٹھنڈک کے حصول کے ل the ، سیرامک ​​اڈے کی موٹائی پتلی ہونی چاہئے ، لیکن بہت پتلی بھی سختی کو کم کردے گی۔ ALN ہیٹر کا سپورٹ باڈی عام طور پر ایک ایسے مواد سے بنا ہوتا ہے جس میں تھرمل توسیع کے گتانک ہوتے ہیں جیسے اڈے کی طرح ہوتا ہے ، لہذا سپورٹ باڈی اکثر ایلومینیم نائٹرائڈ سے بھی بنا ہوتا ہے۔ ٹرمینلز اور تاروں کو پلازما اور سنکنرن کیمیائی گیسوں کے اثرات سے بچانے کے لئے ALN ہیٹر شافٹ (شافٹ) مشترکہ نیچے کی ایک انوکھی ڈھانچہ اپناتے ہیں۔ ہیٹر کے یکساں درجہ حرارت کو یقینی بنانے کے لئے سپورٹ باڈی میں گرمی کی منتقلی گیس انلیٹ اور آؤٹ لیٹ پائپ فراہم کی جاتی ہے۔ بیس اور سپورٹ باڈی کیمیائی طور پر بانڈنگ پرت کے ساتھ بندھے ہوئے ہیں۔

ایک مزاحمتی حرارتی عنصر کو ہیٹر بیس میں دفن کیا جاتا ہے۔ یہ ایک سرپل یا مرتکز سرکل سرکٹ پیٹرن کی تشکیل کے ل cond سکرین پرنٹنگ (ٹنگسٹن ، مولیبڈینم یا ٹینٹلم) کے ساتھ اسکرین پرنٹنگ کے ذریعہ تشکیل دیا گیا ہے۔ یقینا ، دھات کے تار ، دھات کی میش ، دھات کی ورق ، وغیرہ بھی استعمال ہوسکتے ہیں۔ اسکرین پرنٹنگ کے طریقہ کار کا استعمال کرتے وقت ، ایک ہی شکل کی دو سیرامک ​​پلیٹیں تیار کی جاتی ہیں ، اور ان میں سے کسی ایک کی سطح پر کوندکٹو پیسٹ کا اطلاق ہوتا ہے۔ اس کے بعد ، یہ ایک مزاحم حرارتی عنصر کی تشکیل کے ل send ہی ہے ، اور دوسری سیرامک ​​پلیٹ کو مزاحمتی عنصر کے ساتھ اوور لیپ کیا جاتا ہے تاکہ اڈے میں ایک مزاحم عنصر کو دفن کیا جاسکے۔

ایلومینیم نائٹرائڈ سیرامکس کی تھرمل چالکتا کو متاثر کرنے والے اہم عوامل جالی ، آکسیجن مواد ، پاؤڈر طہارت ، مائکرو اسٹرکچر وغیرہ کی کثافت ہیں ، جو ایلومینیم نائٹرائڈ سیرامکس کی تھرمل چالکتا کو متاثر کریں گے۔