ایلومینیم نائٹریڈ ہیٹر

سیمیکوریکس ایلومینیم نائٹرائڈ ہیٹر جدید ترین سیرامک ​​حرارتی عناصر ہیں جو ایپلی کیشنز کے لئے ڈیزائن کیے گئے ہیں جو اعلی تھرمل چالکتا ، بجلی کی موصلیت اور غیر معمولی استحکام کا مطالبہ کرتے ہیں۔ ایلومینیم نائٹرائڈ سیرامک ​​سے انجنیئر ، یہ ہیٹر تیز اور یکساں حرارتی نظام مہیا کرتے ہیں ، جس سے وہ اعلی صحت سے متعلق ماحول جیسے سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ ، طبی تشخیص ، اور جدید تجزیاتی آلہ سازی کے لئے مثالی بناتے ہیں۔

ایلومینیم نائٹریڈ ہیٹر سیمیکمڈکٹر پتلی فلم جمع کرنے کے سازوسامان میں کلیدی اجزاء ہیں۔ وہ براہ راست عمل چیمبر پر اور ویفر کے ساتھ براہ راست رابطے میں لاگو ہوتے ہیں۔ وہ نہ صرف ویفر رکھتے ہیں ، بلکہ یہ بھی یقینی بناتے ہیں کہ ویفر کو ایک حاصل ہوتا ہے 

مستحکم اور یکساں عمل کا درجہ حرارت۔ یہ خصوصیت ویفر سطح اور یکساں پتلی فلموں کی نسل پر اعلی صحت سے متعلق رد عمل کے ل essential ضروری ہے۔

عام طور پر ، ایلومینیم نائٹریڈ ہیٹر میں ایک سیرامک ​​سبسٹریٹ شامل ہوتا ہے جس میں ویفر لوڈنگ سطح اور ایک بیلناکار سپورٹ باڈی ہوتا ہے جو اس کی پشت پر تائید کرتا ہے۔ حرارتی نظام کے لئے مزاحم حرارتی سرکٹ کے علاوہ ، ایک آر ایف الیکٹروڈ اور ایک الیکٹرو اسٹاٹک چک الیکٹروڈ اور دیگر کنڈکٹر بھی سیرامک ​​سبسٹریٹ کے اندر یا سطح پر فراہم کیے جاتے ہیں۔

پتلی فلم جمع کرنے کا سامان عام طور پر اس پر مبنی سیرامک ​​مواد استعمال کرتا ہےایلومینیم نائٹریڈ (ALN)کیونکہ اس میں اعلی درجہ حرارت کا ماحول شامل ہے۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایلومینیم نائٹریڈ ہیٹر کی حمایت کرنے کی وجہ بنیادی طور پر ان کی منفرد جسمانی اور کیمیائی خصوصیات کی وجہ سے ہے۔ ایلومینیم نائٹرائڈ میں نہ صرف اعلی تھرمل چالکتا ہے اور وہ تھوڑے وقت میں تیزی سے حرارتی اور ٹھنڈک حاصل کرسکتا ہے ، بلکہ اس میں بجلی کی موصلیت اور مکینیکل طاقت بھی اچھی ہے ، جس سے ہیٹر کی استحکام اور وشوسنییتا کو یقینی بنایا جاسکتا ہے۔ اس کے علاوہ ، ایلومینیم نائٹریڈ کا تھرمل توسیع گتانک سلیکن کی طرح ہے ، جو ویفر پر تھرمل تناؤ کے اثرات کو کم کرنے اور عمل کی پیداوار کو بہتر بنانے میں مدد کرتا ہے۔

عام طور پر بولیں ،سیرامک ​​ہیٹربنیادی طور پر پتلی فلم جمع کرنے کے سازوسامان میں استعمال ہوتے ہیں۔ چونکہ اس میں اعلی درجہ حرارت کے عمل شامل ہیں ، لہذا استعمال ہونے والا سیرامک ​​مواد بنیادی طور پر ایلومینیم نائٹرائڈ ہے۔ الیکٹرو اسٹاٹک چکس بنیادی طور پر اینچنگ آلات میں استعمال ہوتے ہیں ، اور استعمال شدہ سیرامک ​​مواد بنیادی طور پر ایلومینیم آکسائڈ ہوتا ہے۔ سیمیکمڈکٹر ٹکنالوجی کی ترقی کے ساتھ ، سیرامک ​​ہیٹر اور الیکٹرو اسٹاٹک چکس کے مابین ایک وورلیپ موجود ہے۔ مثال کے طور پر ، پتلی فلم جمع کرنے کے سازوسامان میں استعمال ہونے والے سیرامک ​​ہیٹر الیکٹرو اسٹاٹک چکس سے لیس ہیں ، جن میں اعلی درجہ حرارت حرارتی اور الیکٹرو اسٹاٹک جذب کے دوہری افعال ہوتے ہیں۔ اینچنگ آلات میں استعمال ہونے والے الیکٹرو اسٹاٹک چکس میں بھی اعلی درجہ حرارت کے عمل شامل ہونا شروع ہوجاتے ہیں ، اور سیرامک ​​مواد کو ایلومینیم آکسائڈ سے ایلومینیم نائٹریڈ میں تبدیل کرنا ضروری ہے۔