سیمی کنڈکٹر کے لیے سیرامک ​​فوکس رِنگز

سیمیکوریکس سیرامکتوجہ کی انگوٹیسیمی کنڈکٹر کے لیے s مثالی حل ہیں جو سخت پلازما اینچنگ آپریٹنگ حالات کے لیے تیار کیے گئے ہیں۔ نفیس سیمی کنڈکٹر ایچنگ کے عمل کے دوران، پلازما کی تقسیم کو درست طریقے سے کنٹرول کرنا بہت ضروری ہے، جو اینچنگ چیمبر کے استحکام اور سیمی کنڈکٹر کی اینچنگ کی یکسانیت کو یقینی بنا سکتا ہے۔ جدید اینچنگ آلات میں استعمال ہونے والے ناگزیر اجزاء کے طور پر، فوکس رِنگز عام طور پر سیمی کنڈکٹر ویفرز کے ارد گرد رکھے جاتے ہیں اور ان کے ساتھ براہ راست رابطے میں آتے ہیں۔ فوکس رِنگز کی کارکردگی عمل کے دوبارہ ہونے، پروڈکٹ کی پیداوار، اور آلات کے اپ ٹائم پر براہِ راست اثرات مرتب کرتی ہے۔

سیمی کنڈکٹر کے لیے سیمیکوریکس سیرامک ​​فوکس رِنگز کے فوائد

1. انتہائی اعلی مواد کی پاکیزگی

ہماری پاکیزگیCVD SiCمواد 99.9995٪ سے زیادہ ہے۔ یہ ناکافی مواد کی پاکیزگی کی وجہ سے اینچنگ چیمبر اور سیمی کنڈکٹر ویفرز کی آلودگی کو مؤثر طریقے سے روک سکتا ہے۔

2. غیر معمولی سنکنرن مزاحمت

سیمی کنڈکٹر کے لیے سیمیکوریکس سیرامک ​​فوکس رِنگز CVD SiC سے بنائے گئے ہیں، جو آکسیڈیشن، کٹاؤ، اور کیمیائی سنکنرن کے خلاف بہترین مزاحمت کی خصوصیت رکھتے ہیں، خاص طور پر پروسیس گیسوں جیسے HF اور HCI، نیز پلازما گیس کے خلاف موثر ہیں۔

3. اعلیٰ مزاحمتی کارکردگی

سیمی کنڈکٹر کے لیے Semicorex سیرامک ​​فوکس رِنگز کی مزاحمتی یکسانیت 5% سے کم ہے۔

مزاحمتی حدود: کم ریزولیوٹی۔ (<0.02 Ω· سینٹی میٹر)، درمیانی جگہ (0.2–25 Ω· سینٹی میٹر)، ہائی ریسز۔ (>100 Ω· سینٹی میٹر)۔

سیمی کنڈکٹر کے لیے سیمیکوریکس سیرامک ​​فوکس رِنگز کے افعال

1. کنارے الیکٹرک فیلڈ اور پلازما کی تقسیم کو کنٹرول اور یکساں بنائیں

سیمی کنڈکٹر کے لیے سیمیکوریکس سیرامک ​​فوکس رِنگز اینچنگ چیمبر کے اندر برقی میدان کی تقسیم کو کنٹرول کر سکتے ہیں اور سیمی کنڈکٹر ویفرز کے گرد زیادہ یکساں پلازما میان حاصل کر سکتے ہیں، جس سے پلازما عمودی اور یکساں طریقے سے ویفر کی سطح پر ٹپکنے کے قابل ہو جاتا ہے۔ اس طرح، اینچنگ ایج اثر کو بہت کم کیا جا سکتا ہے اور اینچنگ کی درستگی کو نمایاں طور پر بہتر کیا جا سکتا ہے۔

2. electrostatic چک کی حفاظت

اینچنگ کے عمل میں فوکس رِنگز کے تحفظ کے بغیر، الیکٹرو سٹیٹک چک کو زیادہ توانائی والے پلازما کی بمباری اور کٹاؤ کا سامنا کرنا پڑے گا۔ الیکٹرو سٹیٹک چک انتہائی اعلی متبادل اخراجات کے ساتھ اعلی قیمت والے مواد سے بنی ہیں۔ فوکس رِنگز کا استعمال الیکٹرو سٹیٹک چک پر پلازما کے سنکنرن کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتا ہے اور الیکٹرو سٹیٹک چک کی دیکھ بھال اور تبدیلی کے اخراجات کو کم کر سکتا ہے۔