سی وی ڈی سی سی لیپت اوپری زمینی حلقے

CVD SiC- لیپت اوپری زمینی حلقے عام طور پر ویفر الیکٹرو سٹیٹک چک کے ارد گرد، پلازما اینچنگ آلات میں ری ایکشن چیمبر کے اوپری علاقے میں نصب کیے جاتے ہیں۔ CVD SiC کوٹڈ اوپری گراؤنڈ رِنگ پورے اینچنگ سسٹم کے لیے اہم ہیں، جو آلے کے اجزاء کو پلازما حملے سے بچانے اور اندرونی برقی فیلڈ کو ایڈجسٹ کرنے اور یکساں اینچنگ کے نتائج کو یقینی بنانے کے لیے پلازما کی تقسیم کی حد کو محدود کرنے کے لیے جسمانی رکاوٹ کے طور پر کام کر سکتے ہیں۔

پلازما ایچنگ ایک خشک اینچنگ ٹیکنالوجی ہے جو بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال ہوتی ہے، جو پلازما اور سیمی کنڈکٹر مواد کی سطح کے درمیان جسمانی اور کیمیائی تعاملات کو استعمال کرکے مخصوص علاقوں کو منتخب طور پر ہٹانے کے لیے کام کرتی ہے، اس طرح درست ڈھانچے کی پروسیسنگ کو حاصل کیا جاتا ہے۔ پلازما اینچنگ کے متقاضی ماحول میں، ہائی انرجی پلازما ری ایکشن چیمبر کے اندر موجود اجزاء پر جارحانہ سنکنرن اور حملے کا سبب بنتا ہے۔ قابل اعتماد اور موثر آپریشن کو یقینی بنانے کے لیے، چیمبر کے اجزاء میں بہترین سنکنرن مزاحمت، مکینیکل خصوصیات، اور کم آلودگی کی خصوصیات ہونی چاہئیں۔ Semicorex CVD SiC کوٹڈ اپر گراؤنڈ رِنگز ان سخت، زیادہ سنکنرن آپریٹنگ ماحول سے نمٹنے کے لیے بالکل ڈیزائن کیے گئے ہیں۔

قابل اعتماد CVD SiC کوٹنگ

سخت اینچنگ کے حالات میں بہتر کارکردگی دکھانے کے لیے، Semicorex CVD SiC کوٹڈ اوپری گراؤنڈ رِنگز کو اعلیٰ کارکردگی کا مظاہرہ کرنے والی CVD SiC کوٹنگ سے ڈھانپ دیا گیا ہے، جو ان کی کارکردگی اور استحکام کو مزید بڑھاتا ہے۔

1. انتہائی اعلیٰ پاکیزگی

دیسی سی کوٹنگCVD پروسیس کے ذریعے من گھڑت انتہائی اعلیٰ پاکیزگی کے ساتھ بہترین کثافت (پاکیزگی 99.9999% سے زیادہ) کی خصوصیات ہے جو کہ Semicorex CVD SiC کوٹڈ اوپری گراؤنڈ رِنگز کو ایچنگ ایپلی کیشنز میں ہائی انرجی پلازما حملے سے روک سکتی ہے، اس طرح ناپاکی کے ذرات سے ہونے والی آلودگی سے بچا جا سکتا ہے۔

2. بہتر سنکنرن مزاحمت

سی وی ڈی کے عمل کے ذریعے تیار کردہ SiC کوٹنگ بہتر سنکنرن مزاحمت پیش کرتی ہے، جس سے Semicorex CVD SiC کوٹڈ اوپری زمینی حلقے پلازما (خاص طور پر سنکنرن گیسوں جیسے ہالوجن اور فلورین) سے ہونے والے چیلنجنگ سنکنرن کا مؤثر طریقے سے مقابلہ کرتے ہیں۔

3. بہتر میکانی خصوصیات

سیمیکوریکس CVD SiC کوٹڈ اوپری گراؤنڈ رِنگز CVD SiC کوٹنگ کی بڑھتی ہوئی سختی اور پہننے کی مزاحمت کی بدولت طویل مدتی سروس کے دوران شدید پلازما بمباری، مکینیکل تناؤ اور بغیر کسی خرابی یا فریکچر کے بار بار ہینڈلنگ کو برداشت کر سکتے ہیں۔

اعلی معیاری پروسیسنگ اور معیار کا معائنہ

مطلوبہ سیمی کنڈکٹر ایچنگ کے حالات کو مکمل طور پر ڈھالنے کے لیے، Semicorex CVD SiC-کوٹیڈ اوپری گراؤنڈ رِنگز کو درست مشینی اور سخت معائنہ سے گزرنا پڑتا ہے۔

سطح کا علاج: پالش کی درستگی Ra <0.1µm ہے۔ ٹھیک پیسنے کی درستگی Ra> 0.1µm ہے۔

پروسیسنگ کی درستگی کو ≤ 0.03 ملی میٹر کے اندر کنٹرول کیا جاتا ہے۔

معیار کا معائنہ:

Semicorex سالڈ CVD SiC رِنگز ICP-MS ( inductively coupled plasma mass spectrometry ) analysis کے ساتھ مشروط ہیں۔ Semicorex سالڈ CVD SiC رِنگز جہتی پیمائش، مزاحمتی جانچ، اور بصری معائنہ سے مشروط ہیں، اس بات کی ضمانت دیتے ہیں کہ پروڈکٹس چپس، خراشوں اور دیگر داغوں سے پاک ہیں۔