اعلی کارکردگی والے CVD SiC مواد سے تیار کردہ، 2L10-506419-21 کے لیے Semicorex CVD SiC فوکس رِنگ ایک اہم رِنگ پارٹ ہے جو خاص طور پر TEL VIGUS RK4 آلات کے لیے تیار کیا گیا ہے جو درست سیمی کنڈکٹر ایچنگ کے عمل میں استعمال ہوتا ہے۔ Semicorex کا انتخاب کرنے کا مطلب ہے کہ آپ درست اور یکساں ایچنگ کے نتائج حاصل کرنے کے لیے مثالی CVD SiC حل حاصل کریں گے۔
پلازما اینچنگ کے عمل کے دوران، رد عمل کے چیمبر میں پلازما کی غیر یکساں تقسیم ویفر کے کنارے پر شدید نقائص کا باعث بن سکتی ہے، جو سیمی کنڈکٹر ڈیوائس کی پیداوار کو کم کر دے گی۔ Semicorex CVD SiCتوجہ کی انگوٹی2L10-506419-21 کے لیے اس درد کے نقطہ سے نمٹنے کے لیے مثالی جزو ہے۔ یہ عام طور پر الیکٹرو سٹیٹک چک پر نصب ہوتا ہے اور ویفر کے کنارے کے ارد گرد رکھا جاتا ہے۔ 2L10-506419-21 کے لیے Semicorex CVD SiC فوکس رِنگ پلازما کو ویفر کی سطح پر فوکس کرنے اور ری ایکشن چیمبر کے اندر برقی میدان کی تقسیم کو بہتر بنانے کے قابل ہے۔ اس طرح، یہ مؤثر طریقے سے ویفر ایج اوور اینچنگ کے رجحان کو روک سکتا ہے، اس طرح درست اور یکساں اینچنگ کے نتائج کو یقینی بناتا ہے۔
1. یہ اینچنگ کی یکسانیت کو بہتر بنا سکتا ہے اور ویفر سینٹر اور کنارے کے درمیان ایک مستقل اینچ کی شرح کو برقرار رکھ سکتا ہے، اس طرح حتمی سیمی کنڈکٹر چپس کی پیداوار کو بڑھاتا ہے۔
2. یہ غیر مساوی پلازما کی تقسیم کی وجہ سے عمل کے انحراف اور ذرات کی آلودگی کو کم کرنے کے لیے ایک مستحکم اینچنگ حالت پیدا کرنے میں مدد کر سکتا ہے۔
3. یہ پلازما کی حوصلہ افزائی سے زیادہ اینچنگ اور کنارے کو پہنچنے والے نقصان کو روکنے کے لیے ویفر کے کنارے کو ڈھال سکتا ہے۔
سیمیکوریکسCVD SiC2L10-506419-21 کے لیے فوکس رِنگ بالکل ٹھوس CVD SiC مواد سے تیار کی گئی ہے۔ CVD عمل سلکان کاربائیڈ کی ساختی اور فعال کارکردگی کو نمایاں طور پر بڑھا سکتا ہے، جس سے 2L10-506419-21 کے لیے Semicorex CVD SiC فوکس رِنگ پیچیدہ اینچنگ آپریٹنگ ماحول کو پورا کرنے کے لیے درج ذیل بہترین خصوصیات کو نمایاں کرتا ہے۔
1. انتہائی اعلی طہارت، اور اس کی نجاست کا مواد 5 پی پی ایم سے کم ہے۔
2. اعلی مکینیکل طاقت ان کی گھنی اندرونی ساخت کی بدولت۔
3. اعلی تھرمل مینجمنٹ کی صلاحیت، تقریبا 2000 ° C کے درجہ حرارت پر مواد میں پگھلنے یا نرمی نہیں ہوتی ہے۔
4. غیر معمولی سنکنرن مزاحمت، یہ HF، HCl، اور NH₃ سمیت پروسیس گیسوں کے ذریعے پلازما اینچنگ اور کٹاؤ کو برداشت کر سکتی ہے۔
سیمیکوریکس ہمیشہ اجزاء کی درستگی اور معیار کو اپنی اولین ترجیح کے طور پر رکھتا ہے اور سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے پیشہ ورانہ درستگی کے معیارات کے مطابق سختی سے CVD SiC فوکس رِنگ تیار کرتا ہے، جو اس طرح 2L10-506419-21 کے لیے Semicorex CVD SiC فوکس رِنگ کو یقینی بناتا ہے REL4US آلات کے ساتھ ایک بہترین فٹ اور VELIG کے بغیر ہموار اسمبلی فراہم کرتا ہے۔