آدھے چاند کے اجزاء

سیمیکوریکس ہاف مون اجزاء نیم بیلناکار یا سیگمنٹڈ اندرونی ری ایکٹر ڈھانچے ہیں جو عام طور پر ایپیٹیکسیل ری ایکٹر کے اندر نصب ہوتے ہیں۔ ان کی منفرد جیومیٹری ایپیٹیکسیل نمو کے عمل کے دوران گیس کی تقسیم، تھرمل مینجمنٹ، ویفر پوزیشننگ، اور چیمبر کے تحفظ کو بہتر بنانے میں مدد کرتی ہے۔

دکھائے گئے پروڈکٹ میں مربوط اندرونی سپورٹ جیومیٹری کے ساتھ ایک درست مشینی بیلناکار ڈھانچہ ہے، خاص طور پر ایل پی ای طرز کے چیمبر کنفیگریشنز کو فٹ کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ اجزاء عام طور پر اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ سے تیار کیے جاتے ہیں اور پائیداری، پاکیزگی اور کیمیائی مزاحمت کو بہتر بنانے کے لیے اعلی درجے کی CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگز کے ساتھ محفوظ کیا جا سکتا ہے۔

ایپیٹیکسیل ری ایکٹرز میں، اجزاء کا استحکام اور صفائی براہ راست فلم کی یکسانیت، کرسٹل کے معیار اور ویفر کی پیداوار کو متاثر کرتی ہے۔ لہذا، ری ایکٹر کے اندرونی حصے کو جارحانہ کیمیائی ماحول، تیز رفتار تھرمل سائیکلنگ، اور بغیر کسی خرابی یا آلودگی کے طویل اعلی درجہ حرارت کے آپریشن کا سامنا کرنا چاہیے۔

ایل پی ای اسٹائل چیمبرز کے ساتھ ہم آہنگ ری ایکٹر کے حصے

سیمیکوریکس ایل پی ای ایپیٹیکسیل سسٹمز کے ساتھ ہم آہنگ کئی ری ایکٹر پرزے تیار کرتا ہے، بشمول:

* آدھے چاند کے حصے

* تحفظ کا احاطہ کرتا ہے۔

* بہاؤ گائیڈ حصوں

* ویفر سپورٹ پارٹس

* شیلڈنگ بجتی ہے۔

* اپنی مرضی کے مطابق گریفائٹ اسمبلیاں

تمام اجزاء کو ری ایکٹر کے طول و عرض، عمل کے حالات، اور کسٹمر کے مخصوص ڈیزائن کی ضروریات کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔

آدھے چاند کے اجزاء کی اہم خصوصیات

ہائی پیوریٹی گریفائٹ بیس میٹریل

ری ایکٹر کے اجزاء اعلی کثافت، اعلی پاکیزگی کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیے جاتے ہیں۔isostatic گریفائٹ موادسیمی کنڈکٹر ایپلی کیشنز کے لیے خاص طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ کم ناپاک مواد ایپیٹیکسیل ترقی کے عمل کے دوران آلودگی کے خطرات کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے۔

اعلی پاکیزگی کے مواد کو برقرار رکھنے کے لئے ضروری ہے:

* مستحکم کرسٹل نمو

* یکساں ایپیٹیکسیل پرتیں۔

* کم خرابی کی کثافت

* سیمی کنڈکٹر گریڈ کی صفائی

اعلی درجے کی SiC کوٹنگ پروٹیکشن

مطالبہ کرنے والے عمل کے ماحول کے لیے، گریفائٹ سبسٹریٹ کو گھنے کے ساتھ لیپت کیا جا سکتا ہے۔سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ. SiC کوٹنگ بہترین آسنجن اور کیمیائی استحکام کے ساتھ ایک انتہائی حفاظتی سطح کی تہہ بناتی ہے۔

SiC کوٹنگ فراہم کرتا ہے:

* اعلی سنکنرن مزاحمت

* کم ذرہ پیدا کرنا

* بہتر لباس مزاحمت

* بہتر آکسیکرن مزاحمت

* طویل سروس کی زندگی

کوٹنگ گریفائٹ سبسٹریٹ کو پراسیس گیسوں اور جارحانہ صفائی کیمیکلز سے بھی بچاتی ہے۔

بہترین تھرمل استحکام

ہاف مون کے اجزاء اعلی درجہ حرارت والے ایپیٹیکسیل ری ایکٹرز میں کام کرتے ہیں جہاں تھرمل مستقل مزاجی اہم ہے۔ گریفائٹ اور SiC مواد بہترین تھرمل چالکتا اور تھرمل جھٹکا مزاحمت پیش کرتے ہیں، تیز حرارتی اور کولنگ سائیکل کے دوران چیمبر کی مستحکم حالت کو برقرار رکھنے میں مدد کرتے ہیں۔

بہترین تھرمل کارکردگی میں حصہ ڈالتا ہے:

* درجہ حرارت کی یکساں تقسیم

* تھرمل تناؤ میں کمی

* مستحکم عمل کی تکرار کی اہلیت

* بہتر epitaxial پرت مستقل مزاجی

صحت سے متعلق مشینی صلاحیت

سیمیکوریکس سخت جہتی رواداری اور پیچیدہ اندرونی ڈھانچے کو حاصل کرنے کے لیے اعلی درجے کی CNC مشینی اور درست مینوفیکچرنگ ٹیکنالوجیز کا استعمال کرتا ہے۔

درست مشینی یقینی بناتی ہے:

* ری ایکٹر کی مناسب تنصیب

* مستحکم گیس کے بہاؤ کنٹرول

* قابل اعتماد ویفر پوزیشننگ

* چیمبر کی مستقل کارکردگی

مخصوص ری ایکٹر کے ڈیزائن کے مطابق پیچیدہ حسب ضرورت جیومیٹریاں بھی تیار کی جا سکتی ہیں۔

مضبوط کیمیائی مزاحمت

ایپیٹیکسیل عمل میں اکثر سنکنرن گیسیں اور سخت آپریٹنگ حالات شامل ہوتے ہیں۔ SiC لیپت ری ایکٹر کے اجزاء بہترین مزاحمت کا مظاہرہ کرتے ہیں:

* ہائیڈروجن

* کلورین پر مشتمل گیسیں

* تیزاب صاف کرنے والے کیمیکل

* اعلی درجہ حرارت آکسیکرن

یہ کیمیائی استحکام نمایاں طور پر اجزاء کی عمر کو بڑھاتا ہے اور بحالی کی تعدد کو کم کرتا ہے۔

ایپیٹیکسیل گروتھ سسٹمز میں ایپلی کیشنز

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ ایپلی کیشنز کے لیے جدید ایپیٹیکسیل پروسیسنگ آلات میں ہاف مون کے اجزاء بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں، بشمول:

* سلکان ایپیٹیکسی

* SiC اپیٹیکسیل نمو

* GaN ایپیٹیکسی

* پاور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ

* ایل ای ڈی کی پیداوار

* اعلی درجے کی ویفر پروسیسنگ

* اعلی درجہ حرارت والے CVD سسٹمز

ری ایکٹر چیمبر کے اندر، یہ اجزاء گیس کے بہاؤ کی حرکیات کو بہتر بنانے، عمل کی یکسانیت کو برقرار رکھنے، اور چیمبر کے اہم علاقوں کو تھرمل اور کیمیائی نقصان سے بچانے میں مدد کرتے ہیں۔

Semicorex کیوں منتخب کریں؟

Semicorex سیمی کنڈکٹر اور اعلی درجہ حرارت والے صنعتی ایپلی کیشنز کے لیے جدید ترین گریفائٹ اور سلکان کاربائیڈ حل پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ ایپیٹیکسیل ری ایکٹر کے اجزاء میں وسیع تجربے کے ساتھ، ہم طویل مدتی وشوسنییتا اور سیمی کنڈکٹر-گریڈ کی کارکردگی کے لیے ڈیزائن کردہ عین مطابق انجنیئر مصنوعات فراہم کرتے ہیں۔

ہمارے فوائد میں شامل ہیں:

* اعلی طہارت خام مال

* اعلی درجے کی SiC کوٹنگ ٹیکنالوجی

* صحت سے متعلق مشینی صلاحیت

* کسٹم انجینئرنگ سپورٹ

* سخت کوالٹی کنٹرول

* عالمی سپلائی کی صلاحیت

اپنی مرضی کے مطابق مینوفیکچرنگ سلوشنز کے ساتھ جدید مواد کی مہارت کو ملا کر، Semicorex اگلی نسل کی سیمی کنڈکٹر ٹیکنالوجیز کے لیے مستحکم اور موثر ایپیٹیکسیل ترقی کے عمل کو حاصل کرنے میں دنیا بھر کے صارفین کی مدد کرتا ہے۔