آکسیکرن کے تین قسم کے عمل کا تعارف

آکسیکرن کے عمل سے مراد آکسیڈینٹس (جیسے آکسیجن ، پانی کے بخارات) اور سلیکن پر تھرمل توانائی فراہم کرنے کے عمل سے مراد ہے۔ویفرزचीन सीएफसी फिक्स्चर आपूर्तिकर्ता, निर्माता - उन्नत अनुकूलित सीएफसी फिक्स्चर - सेमीकोरेक्स

चीन सीएफसी फिक्स्चर आपूर्तिकर्ता, निर्माता - उन्नत अनुकूलित सीएफसी फिक्स्चर - सेमीकोरेक्स

1. آکسیکرن کو ڈریں:

خشک آکسیکرن کے عمل میں ، ویفروں کو آکسیکرن کے ل pure خالص O₂ کے ساتھ افزودہ ایک اعلی درجہ حرارت والے ماحول کا نشانہ بنایا جاتا ہے۔ خشک آکسیکرن آہستہ آہستہ آگے بڑھتا ہے کیونکہ آکسیجن کے انو پانی کے انووں سے زیادہ بھاری ہوتے ہیں۔ تاہم ، یہ پتلی ، اعلی معیار کے آکسائڈ پرتوں کی تیاری کے لئے فائدہ مند ہے کیونکہ یہ سست شرح فلم کی موٹائی پر زیادہ عین مطابق کنٹرول کے قابل بناتی ہے۔ یہ عمل ہائیڈروجن جیسی ناپسندیدہ ضمنی پیداوار تیار کیے بغیر ایک یکساں ، اعلی کثافت والی SIO₂ فلم تیار کرسکتا ہے۔ یہ آلات میں پتلی آکسائڈ پرتوں کی تیاری کے لئے موزوں ہے جس میں آکسائڈ کی موٹائی اور معیار پر عین مطابق کنٹرول کی ضرورت ہوتی ہے ، جیسے موسفٹ گیٹ آکسائڈ۔

2. ویٹ آکسیکرن:

گیلے آکسیکرن سلیکن ویفرز کو اعلی درجہ حرارت کے پانی کے بخارات سے بے نقاب کرکے چلاتا ہے ، جو سلیکن اور بخارات کے مابین کیمیائی رد عمل کو متحرک کرتا ہے تاکہ سلیکن ڈائی آکسائیڈ (سی آئی او) تشکیل دیا جاسکے۔ یہ عمل آکسائڈ پرتوں کو کم یکسانیت اور کثافت کے ساتھ تیار کرتا ہے اور H₂ جیسی ناپسندیدہ مصنوعات تیار کرتا ہے ، جو عام طور پر بنیادی عمل میں استعمال نہیں ہوتے ہیں۔ اس کی وجہ یہ ہے کہ آکسائڈ فلم کی شرح نمو تیز ہے کیونکہ پانی کے بخارات کی رد عمل خالص آکسیجن سے زیادہ ہے۔ لہذا ، گیلے آکسیکرن عام طور پر سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے بنیادی عمل میں استعمال نہیں ہوتے ہیں۔

3. درجہ بندی آکسیکرن:  

ریڈیکل آکسیکرن کے عمل میں ، سلیکن ویفر کو ایک اعلی درجہ حرارت پر گرم کیا جاتا ہے ، جس پر آکسیجن ایٹم اور ہائیڈروجن انو ملتے ہیں تاکہ انتہائی فعال آزاد ریڈیکل گیسیں تشکیل پائیں۔ یہ گیسیں سلیکن ویفر کے ساتھ ایس آئی او فلم بنانے کے ل reas رد عمل ظاہر کرتی ہیں۔

اس کا اسٹینڈ آؤٹ فائدہ اعلی رد عمل ہے: یہ مشکل سے پہنچنے والے علاقوں (جیسے گول کونے) اور کم رد عمل والے مواد (جیسے ، سلیکن نائٹرائڈ) میں یکساں فلمیں تشکیل دے سکتا ہے۔ یہ پیچیدہ ڈھانچے کی تیاری کے ل well مناسب بناتا ہے جیسے 3D سیمیکمڈکٹرز جو انتہائی یکساں ، اعلی معیار کے آکسائڈ فلموں کا مطالبہ کرتے ہیں۔