سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن میں، فوٹو لیتھوگرافی اور پتلی فلم جمع کرنے کے ساتھ ایچنگ ایک اہم مرحلہ ہے۔ اس میں کیمیائی یا جسمانی طریقوں کا استعمال کرتے ہوئے ویفر کی سطح سے ناپسندیدہ مواد کو ہٹانا شامل ہے۔ یہ مرحلہ کوٹنگ، فوٹو لیتھوگرافی اور ترقی کے بعد کیا جاتا ہے۔ اس کا استعمال بے نقاب پتلی فلمی مواد کو ہ......
مزید پڑھSiC سبسٹریٹ میں خوردبینی نقائص ہو سکتے ہیں، جیسے کہ تھریڈنگ اسکرو ڈس لوکیشن (TSD)، تھریڈنگ ایج ڈس لوکیشن (TED)، بیس پلین ڈس لوکیشن (BPD) اور دیگر۔ یہ نقائص جوہری سطح پر ایٹموں کی ترتیب میں انحراف کی وجہ سے ہوتے ہیں۔ SiC کرسٹل میں میکروسکوپک ڈس لوکیشنز بھی ہو سکتے ہیں، جیسے Si یا C انکلوژنز، مائیکرو ......
مزید پڑھ