سیمیکوریکس سلکان کاربائیڈ کوٹڈ گریفائٹ، پریسجن مشینڈ ہائی پیوریٹی گریفائٹ کا ایک آزاد ملکیتی صنعت کار ہے جو سیلیکون کاربائیڈ کوٹیڈ گریفائٹ، سیلیکون کاربائیڈ سیرامک، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے MOCVP علاقوں پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ ہمارے روبوٹ اینڈ ایفیکٹر کی قیمت کا ایک اچھا فائدہ ہے اور یہ بہت سے یورپی اور امریکی مارکیٹوں کا احاطہ کرتا ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
روبوٹ اینڈ ایفیکٹر روبوٹ کا ہاتھ ہے جو سیمی کنڈکٹر ویفرز کو ویفر پروسیسنگ آلات اور کیریئرز میں پوزیشنوں کے درمیان منتقل کرتا ہے۔ روبوٹ اینڈ ایفیکٹر کو جہتی طور پر عین مطابق اور تھرمل طور پر مستحکم ہونا چاہیے، جبکہ اس کے پاس ہموار، رگڑنے سے بچنے والی سطح ہونی چاہیے تاکہ آلات کو نقصان پہنچائے یا ذرات کی آلودگی پیدا کیے بغیر ویفرز کو محفوظ طریقے سے سنبھال سکے۔ ہمارا ہائی پیوریٹی سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ روبوٹ اینڈ ایفیکٹر اعلی حرارت کی مزاحمت فراہم کرتا ہے، یہاں تک کہ مسلسل ایپی پرت کی موٹائی اور مزاحمت کے لیے تھرمل یکسانیت، اور پائیدار کیمیائی مزاحمت۔
روبوٹ اینڈ ایفیکٹر کے پیرامیٹرز
CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
μm |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
ینگ کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300℃) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
تھرمل چالکتا |
(W/mK) |
300 |
روبوٹ اینڈ ایفیکٹر کی خصوصیات
اعلی طہارت SiC لیپت گریفائٹ
اعلی گرمی کی مزاحمت اور تھرمل یکسانیت
ہموار سطح کے لیے فائن SiC کرسٹل لیپت
کیمیائی صفائی کے خلاف اعلی استحکام
مواد کو ڈیزائن کیا گیا ہے تاکہ دراڑیں اور ڈیلامینیشن نہ ہو۔