سیمیکوریکس چین میں سلکان کاربائیڈ لیپت گریفائٹ سسپٹر کا ایک بڑے پیمانے پر مینوفیکچرر اور سپلائر ہے۔ Semicorex graphite susceptor خاص طور پر چین میں اعلی گرمی اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت کے ساتھ epitaxy آلات کے لیے تیار کیا گیا ہے۔ ہمارے RTP RTA SiC کوٹڈ کیرئیر کی قیمت کا اچھا فائدہ ہے اور اس میں بہت سی یورپی اور امریکی مارکیٹیں شامل ہیں۔ ہم آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔
سیمیکوریکس آر ٹی پی آر ٹی اے سی سی کوٹڈ کیرئیر فراہم کرتا ہے جو ویفرز کو سپورٹ کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، جو کہ آر ٹی اے، آر ٹی پی یا سخت کیمیائی صفائی کے لیے واقعی مستحکم ہے۔ اعلی پیوریٹی سلکان کاربائیڈ (SiC) لیپت گریفائٹ کی تعمیر کے ساتھ RTP RTA SiC کوٹڈ کیریئر اعلی گرمی کی مزاحمت فراہم کرتا ہے، یہاں تک کہ مسلسل ایپی پرت کی موٹائی اور مزاحمت کے لیے تھرمل یکسانیت، اور پائیدار کیمیائی مزاحمت فراہم کرتا ہے۔ فائن SiC کرسٹل کوٹنگ ایک صاف، ہموار سطح فراہم کرتی ہے، جو سنبھالنے کے لیے اہم ہے کیونکہ قدیم ویفرز اپنے پورے علاقے میں کئی مقامات پر سسپٹر سے رابطہ کرتے ہیں۔
Semicorex میں، ہم اعلیٰ معیار، لاگت سے موثر RTP RTA SiC Coated Carrier فراہم کرنے پر توجہ مرکوز کرتے ہیں، ہم صارفین کے اطمینان کو ترجیح دیتے ہیں اور لاگت سے موثر حل فراہم کرتے ہیں۔ ہم آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے، اعلیٰ معیار کی مصنوعات اور غیر معمولی کسٹمر سروس کی فراہمی کے منتظر ہیں۔
RTP RTA SiC کوٹڈ کیریئر کے پیرامیٹرز
CVD-SIC کوٹنگ کی اہم تفصیلات |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
¼m |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
نوجوان کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300â) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
حرارت کی ایصالیت |
(W/mK) |
300 |
RTP RTA SiC کوٹڈ کیریئر کی خصوصیات
- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ دونوں پرت کی کثافت اچھی ہے اور یہ اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں اچھا حفاظتی کردار ادا کر سکتی ہے۔
- سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے استعمال ہونے والے سلیکن کاربائیڈ لیپت سسپٹر کی سطح بہت زیادہ چپٹی ہوتی ہے۔
- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ پرت کے درمیان تھرمل ایکسپینشن گتانک میں فرق کو کم کریں، کریکنگ اور ڈیلامینیشن کو روکنے کے لیے بانڈنگ کی طاقت کو مؤثر طریقے سے بہتر کریں۔
- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ دونوں تہوں میں اعلی تھرمل چالکتا، اور بہترین گرمی کی تقسیم کی خصوصیات ہیں۔
- اعلی پگھلنے کا نقطہ، اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت، سنکنرن مزاحمت.