SiC ALD رسیپٹر

سیمیکوریکس کے فوائدSiC ALD رسیپٹر:

اعلی درجہ حرارت استحکام:SiC ALD رسیپٹر بلند درجہ حرارت (1600 ° C تک) پر اپنی ساختی سالمیت کو برقرار رکھتا ہے، اعلی درجہ حرارت والے ALD عمل کو فعال کرتا ہے جس کے نتیجے میں بہتر برقی خصوصیات کے ساتھ گھنے فلمیں بنتی ہیں۔

کیمیائی جڑت:SiC ALD رسیپٹر ALD میں استعمال ہونے والے کیمیکلز اور پیشگی عناصر کی ایک وسیع رینج کے خلاف بہترین مزاحمت کا مظاہرہ کرتا ہے، آلودگی کے خطرات کو کم کرتا ہے اور فلم کے مستقل معیار کو یقینی بناتا ہے۔

درجہ حرارت کی یکساں تقسیم:SiC ALD رسیپٹر کی اعلی تھرمل چالکتا سسپٹر کی سطح پر یکساں درجہ حرارت کی تقسیم کو فروغ دیتی ہے، جس سے یکساں فلم جمع ہوتی ہے اور ڈیوائس کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے۔

کم اخراج:SiC میں کم باہر گیس کی خصوصیات ہیں، یعنی یہ اعلی درجہ حرارت پر کم سے کم نجاست کو جاری کرتا ہے۔ صاف پروسیسنگ ماحول کو برقرار رکھنے اور جمع شدہ فلم کی آلودگی کو روکنے کے لیے یہ بہت ضروری ہے۔

پلازما مزاحمت:SiC پلازما اینچنگ کے خلاف اچھی مزاحمت کا مظاہرہ کرتا ہے، اسے پلازما سے بہتر ALD (PEALD) کے عمل کے ساتھ ہم آہنگ بناتا ہے۔

لمبی عمر:SiC ALD رسیپٹر کی پائیداری اور پہننے اور پھٹنے کے خلاف مزاحمت، susceptor کے لیے لمبی عمر کا ترجمہ کرتی ہے، بار بار تبدیلی کی ضرورت کو کم کرتی ہے اور مجموعی آپریٹنگ اخراجات کو کم کرتی ہے۔

ALD اور CVD کا موازنہ:

اٹامک لیئر ڈیپوزیشن (ALD) اور کیمیکل ویپر ڈیپوزیشن (CVD) دونوں الگ الگ خصوصیات کے ساتھ پتلی فلم جمع کرنے کی تکنیکیں ہیں۔ ان کے اختلافات کو سمجھنا کسی مخصوص درخواست کے لیے موزوں ترین طریقہ منتخب کرنے کے لیے بہت ضروری ہے۔

ALD بمقابلہ CVD

ALD کے اہم فوائد:

غیر معمولی موٹائی کنٹرول اور یکسانیت:پیچیدہ جیومیٹریوں پر جوہری سطح کی درستگی اور کنفارمل کوٹنگز کی ضرورت والی ایپلی کیشنز کے لیے مثالی۔

کم درجہ حرارت پروسیسنگ:درجہ حرارت کے حساس ذیلی ذخائر پر جمع کرنے اور مواد کے وسیع انتخاب کو قابل بناتا ہے۔

اعلی فلمی معیار:کم نجاست کے ساتھ گھنے، پن ہول سے پاک فلموں کے نتائج۔

CVD کے اہم فوائد:

زیادہ جمع کرنے کی شرح:ان ایپلی کیشنز کے لیے موزوں ہے جن میں جمع کرنے کی تیز رفتار اور موٹی فلموں کی ضرورت ہوتی ہے۔

کم لاگت:بڑے رقبے کے جمع کرنے اور کم مطالبہ کرنے والی ایپلی کیشنز کے لیے زیادہ سرمایہ کاری مؤثر۔

استعداد:دھاتوں، سیمی کنڈکٹرز، اور انسولیٹروں سمیت وسیع پیمانے پر مواد جمع کر سکتے ہیں۔

پتلی فلم جمع کرنے کا طریقہ موازنہ