MOCVD کے لیے Semicorex SiC Coated Graphite Base Susceptors سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں استعمال ہونے والے اعلیٰ معیار کے کیریئر ہیں۔ ہماری پروڈکٹ کو اعلیٰ معیار کے سلکان کاربائیڈ کے ساتھ ڈیزائن کیا گیا ہے جو بہترین کارکردگی اور دیرپا استحکام فراہم کرتا ہے۔ یہ کیریئر ویفر چپ پر ایپیٹیکسیل پرت کو بڑھانے کے عمل میں استعمال کے لیے مثالی ہے۔
MOCVD کے لیے ہمارے SiC Coated Graphite Base Susceptors میں زیادہ گرمی اور سنکنرن مزاحمت ہے جو انتہائی ماحول میں بھی زبردست استحکام کو یقینی بناتی ہے۔
MOCVD کے لیے اس SiC Coated Graphite Base Susceptors کی خصوصیات شاندار ہیں۔ یہ گریفائٹ پر اعلیٰ پاکیزہ سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کے ساتھ بنایا گیا ہے، جو اسے 1600 ° C تک کے اعلی درجہ حرارت پر آکسیکرن کے خلاف انتہائی مزاحم بناتا ہے۔ اس کی تیاری میں استعمال ہونے والا CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے کا عمل اعلی پاکیزگی اور بہترین سنکنرن مزاحمت کو یقینی بناتا ہے۔ کیریئر کی سطح گھنی ہے، باریک ذرات کے ساتھ جو اس کی سنکنرن مزاحمت کو بڑھاتے ہیں، جو اسے تیزاب، الکلی، نمک، اور نامیاتی ری ایجنٹس کے خلاف مزاحم بناتے ہیں۔
ہمارے SiC Coated Graphite Base Susceptors for MOCVD ایک یکساں تھرمل پروفائل کو یقینی بناتے ہیں، بہترین لیمینر گیس کے بہاؤ کی ضمانت دیتے ہیں۔ یہ کسی بھی آلودگی یا نجاست کو ویفر میں پھیلنے سے روکتا ہے، جو اسے کلین روم کے ماحول میں استعمال کے لیے مثالی بناتا ہے۔ Semicorex چین میں SiC Coated Graphite Susceptor کا ایک بڑے پیمانے پر مینوفیکچرر اور فراہم کنندہ ہے، اور ہماری مصنوعات کو قیمت کا اچھا فائدہ ہے۔ ہم سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔
MOCVD کے لیے SiC Coated Graphite Base Susceptors کے پیرامیٹرز
Main Specifications of CVD-SIC Coating |
||
SiC-CVD پراپرٹیز |
||
کرسٹل کا ڈھانچہ |
ایف سی سی β مرحلہ |
|
کثافت |
g/cm ³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
اناج کا سائز |
μm |
2~10 |
کیمیائی طہارت |
% |
99.99995 |
حرارت کی صلاحیت |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
ینگ کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300℃) |
430 |
حرارتی توسیع (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
تھرمل چالکتا |
(W/mK) |
300 |
MOCVD کے لیے SiC Coated Graphite Susceptor کی خصوصیات
- چھیلنے سے گریز کریں اور تمام سطح پر کوٹنگ کو یقینی بنائیں
اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت: 1600 ° C تک اعلی درجہ حرارت پر مستحکم
اعلی طہارت: اعلی درجہ حرارت کلورینیشن کے حالات میں CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے سے بنایا گیا ہے۔
سنکنرن مزاحمت: اعلی سختی، گھنے سطح اور باریک ذرات۔
سنکنرن مزاحمت: تیزاب، الکلی، نمک اور نامیاتی ری ایجنٹس۔
- بہترین لیمینر گیس کے بہاؤ کا نمونہ حاصل کریں۔
- تھرمل پروفائل کے برابر ہونے کی ضمانت
- کسی بھی آلودگی یا نجاست کے پھیلاؤ کو روکیں۔