SiC فوکس رِنگز

Semicorex سپلائی SiC فوکس رِنگز RTA، RTP یا سخت کیمیائی صفائی کے لیے واقعی مستحکم ہیں۔ SiC فوکس رِنگز یا ایج رِنگز کو ویفر ایج یا پریمیٹر کے ارد گرد اینچ یکسانیت کو بہتر بنانے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ پلازما اینچ پروسیسنگ کی سختیوں کے لیے بنائے گئے اعلیٰ پاکیزگی والے اجزاء کے ساتھ آلودگی اور غیر طے شدہ دیکھ بھال کو کم سے کم کریں۔ SiC کوٹنگ کے ساتھ ہمارے SiC فوکس رِنگز ایک گھنے، لباس مزاحم سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ ہے۔ اس میں اعلی سنکنرن اور گرمی کے خلاف مزاحمت کی خصوصیات کے ساتھ ساتھ بہترین تھرمل چالکتا بھی ہے۔ ہم کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) کے عمل کا استعمال کرتے ہوئے گریفائٹ پر پتلی تہوں میں SiC کا اطلاق کرتے ہیں۔

SiC فوکس رِنگز کے پیرامیٹرز

SiC فوکس رِنگز کی خصوصیات

- سروس لائف کو بہتر بنانے کے لیے سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ کوٹنگز۔

- اعلی کارکردگی صاف کرنے والے سخت کاربن سے بنا تھرمل موصلیت۔

- کاربن/کاربن کمپوزٹ ہیٹر اور پلیٹ۔- گریفائٹ سبسٹریٹ اور سلکان کاربائیڈ دونوں تہہ میں اعلی تھرمل چالکتا، اور بہترین گرمی کی تقسیم کی خصوصیات ہیں۔

- اعلی طہارت گریفائٹ اور SIC کوٹنگ پن ہول مزاحمت اور اعلی زندگی کے لیے