سلیکن کاربائیڈ سیرامک ویفر بوٹ

Semicorex عمودی/کالم اور افقی دونوں ترتیبوں کے لیے ویفر بوٹس، پیڈسٹل، اور حسب ضرورت ویفر کیریئر فراہم کرتا ہے۔ ہم کئی سالوں سے سلکان کاربائیڈ کوٹنگ فلم کے کارخانہ دار اور سپلائر رہے ہیں۔ ہماری سلکان کاربائیڈ سیرامک ویفر بوٹ کی قیمت کا اچھا فائدہ ہے اور اس میں زیادہ تر یورپی اور امریکی منڈیوں کا احاطہ کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

سیمیکوریکس سلکان کاربائیڈ سیرامک ویفر بوٹ، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ویفر ہینڈلنگ اور تحفظ کا حتمی حل۔
ہماری سلیکون کاربائیڈ سیرامک ویفر بوٹ اعلیٰ معیار کے مواد سے بنائی گئی ہے جس میں سلکان کاربائیڈ (SiC) کی ایک تہہ استعمال کی گئی CVD طریقہ کار ہے، جو سنکنرن کے خلاف اچھی مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت اور تھرمل جھٹکے کے خلاف بہترین مزاحمت رکھتی ہے۔ اعلیٰ سیرامکس اعلیٰ صلاحیت والے ویفر کیریئرز کے ذرات اور آلودگی کو کم کرتے ہوئے بہترین تھرمل مزاحمت اور پلازما پائیداری فراہم کرتے ہیں۔

سلکان کاربائیڈ سیرامک ویفر بوٹ کے پیرامیٹرز

تکنیکی خصوصیات
انڈیکس	یونٹ	قدر
مواد کا نام		رد عمل Sintered سلیکن کاربائڈ	پریشر لیس سینٹرڈ سلکان کاربائیڈ	سلیکن کاربائیڈ کو دوبارہ ترتیب دیا گیا۔
ترکیب		RBSiC	SSiC	R-SiC
بلک کثافت	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
لچکدار طاقت	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
دبانے والی طاقت	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
سختی	نوپ	2700	2800	/
بریکنگ ٹینسیٹی	ایم پی اے ایم 1/2	4.5	4	/
حرارت کی ایصالیت	W/m.k	95	120	23
تھرمل توسیع کا گتانک	10^-6.1/°C	5	4	4.7
مخصوص گرمی	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
ہوا میں زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت	℃	1200	1500	1600
لچکدار ماڈیولس	جی پی اے	360	410	240

SSiC اور RBSiC کے درمیان فرق:

1. سنٹرنگ کا عمل مختلف ہے۔ RBSiC کو کم درجہ حرارت پر سلکان کاربائیڈ میں مفت Si کو گھسنا ہے، SSiC 2100 ڈگری پر قدرتی سکڑنے سے بنتا ہے۔

2. SSiC میں ہموار سطح، زیادہ کثافت اور زیادہ طاقت ہوتی ہے، زیادہ سخت سطح کی ضروریات کے ساتھ کچھ سیلنگ کے لیے، SSiC بہتر ہوگا۔

3. مختلف پی ایچ اور درجہ حرارت کے تحت مختلف استعمال شدہ وقت، SSiC RBSiC سے لمبا ہے۔

سلکان کاربائیڈ سیرامک ویفر بوٹ کی خصوصیات

اعلی گرمی کی مزاحمت اور تھرمل یکسانیت
ہموار سطح کے لیے فائن SiC کرسٹل لیپت
کیمیائی صفائی کے خلاف اعلی استحکام
مواد کو ڈیزائن کیا گیا ہے تاکہ دراڑیں اور ڈیلامینیشن نہ ہو۔