Semicorex سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں بہتری کے لیے آپ کا پارٹنر ہے۔ ہمارے سلکان کاربائیڈ کوٹنگز گھنے، اعلی درجہ حرارت اور کیمیائی مزاحم ہیں، جو اکثر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے پورے چکر میں استعمال ہوتے ہیں، بشمول سیمی کنڈکٹر ویفر اور ویفر پروسیسنگ اور سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن۔
اعلی طہارت کے SiC سیرامک اجزاء سیمی کنڈکٹر میں عمل کے لیے اہم ہیں۔ ہماری پیشکش کی حدیں ویفر پروسیسنگ کے آلات کے لیے استعمال ہونے والے پرزوں سے لے کر ہیں، جیسے Epitaxy یا MOCVD کے لیے Silicon Carbide wafer Boat، Cantilever paddles، tubes وغیرہ۔
سیمی کنڈکٹر کے عمل کے فوائد
پتلی فلم جمع کرنے کے مراحل جیسے ایپیٹیکسی یا MOCVD، یا ویفر ہینڈلنگ پروسیسنگ جیسے ایچنگ یا آئن امپلانٹ کو اعلی درجہ حرارت اور سخت کیمیائی صفائی کو برداشت کرنا ہوگا۔ سیمیکوریکس ہائی پیوریٹی سلکان کاربائیڈ (SiC) کی تعمیر اعلیٰ گرمی کی مزاحمت اور پائیدار کیمیائی مزاحمت فراہم کرتا ہے، یہاں تک کہ مسلسل ایپی پرت کی موٹائی اور مزاحمت کے لیے تھرمل یکسانیت۔
چیمبر کے ڈھکن →
کرسٹل گروتھ اور ویفر ہینڈلنگ پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے چیمبر کے ڈھکنوں کو زیادہ درجہ حرارت اور سخت کیمیائی صفائی کو برداشت کرنا چاہیے۔
کینٹیلیور پیڈل →
کینٹیلیور پیڈل ایک اہم جز ہے جو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں استعمال ہوتا ہے، خاص طور پر بازی اور RTP جیسے عمل کے دوران بازی یا LPCVD فرنس میں۔
پروسیس ٹیوب →
پروسیس ٹیوب ایک اہم جزو ہے، خاص طور پر مختلف سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ ایپلی کیشنز جیسے کہ آر ٹی پی، ڈفیوژن میں ڈیزائن کیا گیا ہے۔
ویفر بوٹس →
ویفر بوٹ کو سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں استعمال کیا جاتا ہے، اسے احتیاط سے ڈیزائن کیا گیا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ نازک ویفرز کو پیداوار کے اہم مراحل کے دوران محفوظ رکھا جائے۔
Inlet حلقے →
MOCVD آلات کی طرف سے SiC کوٹیڈ گیس انلیٹ رنگ کمپاؤنڈ گروتھ میں زیادہ گرمی اور سنکنرن مزاحمت ہوتی ہے، جس میں انتہائی ماحول میں بہت استحکام ہوتا ہے۔
فوکس رنگ →
سیمیکوریکس سپلائیز سلکان کاربائیڈ کوٹڈ فوکس رِنگ RTA، RTP یا سخت کیمیائی صفائی کے لیے واقعی مستحکم ہے۔
ویفر چک →
Semicorex الٹرا فلیٹ سیرامک ویکیوم ویفر چکز ویفر ہینڈلنگ کے عمل میں استعمال کرتے ہوئے اعلی پیوریٹی SiC کوٹڈ ہیں۔
سیمیکوریکس میں ایلومینا (Al2O3)، سیلیکون نائٹرائڈ (Si3N4)، ایلومینیم نائٹرائڈ (AIN)، Zirconia (ZrO2)، جامع سرامک وغیرہ میں سیرامک مصنوعات بھی ہیں۔