Semicorex آپ کے OEM سیمی فیبریکیشن ٹولز اور سیمی کنڈکٹر صنعتوں میں سلکان کاربائیڈ پرتوں پر توجہ مرکوز کرنے والے ویفر ہینڈلنگ اجزاء کے لیے سیمی کنڈکٹر گریڈ سیرامکس فراہم کرتا ہے۔ ہم کئی سالوں سے سلیکن ویفر کیریئر کے کارخانہ دار اور سپلائر ہیں۔ ہمارے سلیکون ویفر کیریئر کا قیمت کا اچھا فائدہ ہے اور اس میں زیادہ تر یورپی اور امریکی مارکیٹیں شامل ہیں۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
سیمی کنڈکٹر جمع کرنے کے عمل غیر مستحکم پیشگی گیسوں، پلازما، اور اعلی درجہ حرارت کے امتزاج کا استعمال کرتے ہوئے اعلی معیار کی پتلی فلموں کو ویفرز پر ڈالتے ہیں۔ ڈیپوزیشن چیمبرز اور ویفر ہینڈلنگ ٹولز کو ان چیلنجنگ ماحول کا مقابلہ کرنے کے لیے پائیدار سیرامک اجزاء کی ضرورت ہوتی ہے۔
Semicorex Silicon Wafer Carrier اعلیٰ پاکیزگی والا سلکان کاربائیڈ ہے، جس میں سنکنرن اور گرمی کے خلاف مزاحمت کی خصوصیات کے ساتھ ساتھ بہترین تھرمل چالکتا بھی ہے۔
سلیکن ویفر کیریئر کے پیرامیٹرز
تکنیکی خصوصیات |
||||
انڈیکس |
یونٹ |
قدر |
||
مواد کا نام |
رد عمل Sintered سلیکن کاربائڈ |
پریشر لیس سینٹرڈ سلکان کاربائیڈ |
سلیکن کاربائیڈ کو دوبارہ ترتیب دیا گیا۔ |
|
کمپوزیشن |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
بلک کثافت |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
لچکدار طاقت |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20 ° C) 90-100(1400°C) |
دبانے والی طاقت |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
سختی |
بٹن |
2700 |
2800 |
/ |
بریکنگ ٹینسیٹی |
ایم پی اے ایم 1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
تھرمل چالکتا |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
تھرمل توسیع کا گتانک |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
مخصوص حرارت |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
ہوا میں زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
لچکدار ماڈیولس |
جی پی اے |
360 |
410 |
240 |
SSiC اور RBSiC کے درمیان فرق:
1. سنٹرنگ کا عمل مختلف ہے۔ RBSiC کو کم درجہ حرارت پر سلکان کاربائیڈ میں مفت Si کی دراندازی کرنا ہے، SSiC 2100 ڈگری پر قدرتی سکڑنے سے بنتا ہے۔
2. SSiC میں ہموار سطح، زیادہ کثافت اور زیادہ طاقت ہوتی ہے، زیادہ سخت سطح کی ضروریات کے ساتھ کچھ سیلنگ کے لیے، SSiC بہتر ہوگا۔
3. مختلف پی ایچ اور درجہ حرارت کے تحت مختلف استعمال شدہ وقت، SSiC RBSiC سے لمبا ہے۔
سلیکن ویفر کیریئر کی خصوصیات
اعلی طہارت SiC لیپت گریفائٹ
اعلی گرمی کی مزاحمت اور تھرمل یکسانیت
ہموار سطح کے لیے فائن SiC کرسٹل لیپت
کیمیائی صفائی کے خلاف اعلی استحکام
مواد کو ڈیزائن کیا گیا ہے تاکہ دراڑیں اور ڈیلامینیشن نہ ہو۔
سلکان کاربائیڈ سیرامکس کی دستیاب شکلیں:
● سیرامک راڈ / سیرامک پن / سیرامک پلنگر
● سیرامک ٹیوب/سیرامک بشنگ/سیرامک آستین
● سیرامک رنگ/سیرامک واشر/سیرامک اسپیسر
● سرامک ڈسک
● سیرامک پلیٹ/سیرامک بلاک
● سیرامک گیند
● سرامک پسٹن
● سیرامک نوزل
● سیرامک کروسیبل
● دیگر حسب ضرورت سیرامک حصے