Semicorex عمودی / کالم اور افقی دونوں ترتیبوں کے لیے ویفر بوٹس، پیڈسٹل، اور حسب ضرورت ویفر کیریئر فراہم کرتا ہے۔ ہم کئی سالوں سے سلکان کاربائیڈ کوٹنگ فلم کے کارخانہ دار اور سپلائر رہے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر کے عمل کے لیے ہماری ویفر بوٹ کی قیمت کا اچھا فائدہ ہے اور اس میں زیادہ تر یورپی اور امریکی منڈیوں کا احاطہ کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
Semicorex SiC Wafer Boat for Semiconductor Process، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ویفر ہینڈلنگ اور تحفظ کا حتمی حل۔ سیمی کنڈکٹر کے عمل کے لیے ہماری ویفر بوٹ اعلیٰ معیار کے سلکان کاربائیڈ سے بنی ہے، جو سنکنرن کے خلاف اچھی مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت اور تھرمل جھٹکے کے خلاف بہترین مزاحمت رکھتی ہے۔ اعلیٰ سیرامکس اعلیٰ صلاحیت والے ویفر کیریئرز کے ذرات اور آلودگی کو کم کرتے ہوئے بہترین تھرمل مزاحمت اور پلازما پائیداری فراہم کرتے ہیں۔
سیمی کنڈکٹر کے عمل کے لیے ویفر بوٹ کے پیرامیٹرز
تکنیکی خصوصیات |
||||
انڈیکس |
یونٹ |
قدر |
||
مواد کا نام |
رد عمل Sintered سلیکن کاربائڈ |
پریشر لیس سینٹرڈ سلکان کاربائیڈ |
سلیکن کاربائیڈ کو دوبارہ ترتیب دیا گیا۔ |
|
ترکیب |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
بلک کثافت |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
لچکدار طاقت |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
دبانے والی طاقت |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
سختی |
نوپ |
2700 |
2800 |
/ |
بریکنگ ٹینسیٹی |
ایم پی اے ایم 1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
حرارت کی ایصالیت |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
تھرمل توسیع کا گتانک |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
مخصوص گرمی |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
ہوا میں زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
لچکدار ماڈیولس |
جی پی اے |
360 |
410 |
240 |
سیمی کنڈکٹر کے عمل کے لیے ویفر بوٹ کی خصوصیات
اعلی گرمی کی مزاحمت اور تھرمل یکسانیت
ہموار سطح کے لیے فائن SiC کرسٹل لیپت
کیمیائی صفائی کے خلاف اعلی استحکام
مواد کو ڈیزائن کیا گیا ہے تاکہ دراڑیں اور ڈیلامینیشن نہ ہو۔