آر ٹی پی رنگ

سیمیکوریکس آر ٹی پی رنگ ایک SiC کوٹڈ گریفائٹ رنگ ہے، جسے ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP) سسٹمز میں اعلیٰ کارکردگی کی ایپلی کیشنز کے لیے بنایا گیا ہے۔ یہ پروڈکٹ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لیے بہت اہم ہے، خاص طور پر RTP مرحلے کے دوران، جہاں اینیلنگ، ڈوپنگ، اور آکسیڈیشن جیسے عمل کے لیے درست اور یکساں حرارت ضروری ہے۔ RTP رنگ کا ڈیزائن اعلی تھرمل چالکتا، کیمیائی مزاحمت، اور مکینیکل طاقت کو یقینی بناتا ہے، جو اسے سیمی کنڈکٹر ڈیوائس کی پیداوار میں اعلی درجہ حرارت کے عمل کے لیے ایک قابل اعتماد حل بناتا ہے۔

اہم خصوصیات:

بہتر پائیداری کے لیے SiC کوٹنگ

RTP رنگ کو سلکان کاربائیڈ (SiC) کی ایک تہہ کے ساتھ لیپت کیا گیا ہے، ایک ایسا مواد جو اپنے شاندار تھرمل استحکام اور کیمیائی مزاحمت کے لیے جانا جاتا ہے۔ یہ کوٹنگ انگوٹھی کو بہتر استحکام فراہم کرتی ہے، جس سے یہ RTP عمل کی انتہائی حالات کا مقابلہ کر سکتی ہے۔ SiC کی تہہ عام طور پر اعلی درجہ حرارت کی نمائش کی وجہ سے ہونے والے ٹوٹ پھوٹ کو بھی نمایاں طور پر کم کرتی ہے، جس سے بغیر کوٹڈ گریفائٹ اجزاء کے مقابلے طویل سروس لائف کو یقینی بنایا جاتا ہے۔

ہائی تھرمل چالکتا

گریفائٹ گرمی کا ایک بہترین کنڈکٹر ہے، اور جب SiC کوٹنگ کے ساتھ ملایا جاتا ہے، تو RTP رنگ غیر معمولی تھرمل چالکتا فراہم کرتا ہے۔ یہ گرمی کی یکساں تقسیم کو قابل بناتا ہے، جو تیز تھرمل پروسیسنگ کے دوران درست درجہ حرارت کے کنٹرول کے لیے ضروری ہے۔ یونیفارم ہیٹنگ سیمی کنڈکٹر ویفرز کے معیار اور مستقل مزاجی کو بہتر بناتی ہے، جس کے نتیجے میں حتمی آلات میں بہتر کارکردگی ہوتی ہے۔

کیمیکل اور تھرمل مزاحمت

SiC کوٹنگ گریفائٹ کور کو رد عمل والی گیسوں اور سخت کیمیکلز سے بچاتی ہے جن کا سامنا عام طور پر RTP کے دوران ہوتا ہے، جیسے آکسیجن، نائٹروجن اور مختلف ڈوپینٹس۔ یہ تحفظ انگوٹھی کے سنکنرن اور انحطاط کو روکتا ہے، جو اسے مشکل کیمیائی ماحول میں بھی ساختی سالمیت کو برقرار رکھنے کی اجازت دیتا ہے۔ مزید برآں، SiC کوٹنگ اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ انگوٹھی RTP ایپلی کیشنز میں درکار اعلی درجہ حرارت کو انحطاط کے بغیر برداشت کر سکتی ہے، جو آکسیڈیشن کے خلاف مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت کی بہترین طاقت دونوں پیش کرتی ہے۔

حسب ضرورت کے اختیارات

Semicorex مخصوص عمل کی ضروریات کے مطابق مختلف حسب ضرورت اختیارات کے ساتھ RTP رنگ پیش کرتا ہے۔ مختلف RTP چیمبر کنفیگریشنز اور ویفر ہینڈلنگ سسٹمز کو ایڈجسٹ کرنے کے لیے حسب ضرورت سائز اور شکلیں دستیاب ہیں۔ کمپنی مخصوص ایپلی کیشنز کے لیے بہترین کارکردگی اور لمبی عمر کو یقینی بناتے ہوئے، صارفین کی ضروریات کی بنیاد پر SiC کوٹنگ کی موٹائی کو بھی تیار کر سکتی ہے۔

بہتر عمل کی کارکردگی

RTP رنگ سیمی کنڈکٹر ویفرز میں گرمی کی درست اور یکساں تقسیم فراہم کرکے عمل کی کارکردگی کو بڑھاتا ہے۔ بہتر تھرمل کنٹرول تھرمل گریڈینٹ کو کم کرنے اور ویفر پروسیسنگ کے تھرمل علاج کے مراحل کے دوران نقائص کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے۔ یہ بہتر پیداوار کی شرح اور اعلی معیار کی تیار شدہ مصنوعات کی طرف جاتا ہے، کم پیداواری لاگت اور بہتر تھرو پٹ میں حصہ ڈالتا ہے۔

کم آلودگی کا خطرہ

SiC لیپت گریفائٹ رنگ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے دوران آلودگی کے خطرات کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے۔ دیگر مواد کے برعکس، SiC ذرات کو خارج نہیں کرتا، جو تھرمل علاج کے دوران نازک سیمی کنڈکٹر ویفرز میں ممکنہ طور پر مداخلت کر سکتا ہے۔ یہ خصوصیت کلین روم کے ماحول میں خاص طور پر اہم ہے جہاں آلودگی پر قابو پانا انتہائی اہمیت کا حامل ہے۔

آر ٹی پی میں درخواستیں:

RTP رنگ بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے ریپڈ تھرمل پروسیسنگ مرحلے میں استعمال کیا جاتا ہے، جس میں عین مادی تبدیلیوں کو حاصل کرنے کے لیے بہت مختصر مدت میں ویفرز کو زیادہ درجہ حرارت پر گرم کرنا شامل ہے۔ یہ مرحلہ عمل کے لیے بہت اہم ہے جیسے:

• اینیلنگ:RTP عام طور پر کرسٹل کے نقصان کو ٹھیک کرنے اور ڈوپینٹس کو چالو کرنے کے لئے ڈوپڈ ویفرز کو اینیل کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔ SiC لیپت گریفائٹ RTP رنگ گرمی کی یکساں تقسیم کو یقینی بناتا ہے، جو مسلسل اینیلنگ کے نتائج حاصل کرنے کے لیے اہم ہے۔
• آکسیکرن اور بازی:آکسیڈیشن یا ڈفیوژن کے عمل کے دوران، RTP رنگ کی اعلی تھرمل چالکتا اور کیمیائی مزاحمت آکسائیڈ کی تہوں اور ڈوپینٹ ڈفیوژن کی یکساں نشوونما کو آسان بنانے میں مدد کرتی ہے، عین مطابق پرت کے کنٹرول اور ویفر کے معیار کو یقینی بناتی ہے۔
• ڈوپنگ:ڈوپنگ کے عمل میں، RTP رنگ ضروری درجہ حرارت کے استحکام کو برقرار رکھنے میں کلیدی کردار ادا کرتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر مواد میں مطلوبہ ڈوپنگ پروفائلز کے حصول کے لیے ضروری ہے۔
• ڈوپینٹس کو چالو کرنا:RTP سسٹمز کی تیز رفتار درجہ حرارت ریمپ اپ اور کولنگ کی صلاحیت، SiC-coated graphite ring کی تھرمل کارکردگی کے ساتھ، precise dopant ایکٹیویشن کو قابل بناتی ہے، جو کہ سیمی کنڈکٹر مواد کی برقی خصوصیات کو تیار کرنے کے لیے بہت ضروری ہے۔

دیگر مواد پر فوائد:

روایتی گریفائٹ کی انگوٹھیوں یا دیگر لیپت اجزاء کے مقابلے میں، SiC کوٹڈ گریفائٹ RTP رنگ کئی فوائد پیش کرتا ہے۔ اس کی SiC کوٹنگ نہ صرف اجزاء کی آپریشنل زندگی کو بڑھاتی ہے بلکہ گرمی کے خلاف مزاحمت اور تھرمل چالکتا کے لحاظ سے اعلیٰ کارکردگی کو بھی یقینی بناتی ہے۔ SiC کوٹنگز کے بغیر گریفائٹ پر مبنی اجزاء سخت تھرمل سائیکلوں میں تیزی سے انحطاط کا تجربہ کر سکتے ہیں، جس کے نتیجے میں زیادہ بار بار تبدیلی اور ممکنہ طور پر زیادہ آپریشنل اخراجات ہوتے ہیں۔ مزید برآں، SiC کوٹنگ وقفے وقفے سے دیکھ بھال کی ضرورت کو کم کرتی ہے، جس سے سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کی مجموعی کارکردگی میں اضافہ ہوتا ہے۔

مزید یہ کہ، SiC کوٹنگ اعلی درجہ حرارت کی پروسیسنگ کے دوران آلودگیوں کے اخراج کو روکتی ہے، جو کہ بغیر کوٹڈ گریفائٹ کا ایک عام مسئلہ ہے۔ یہ ایک صاف ستھرا عمل ماحول کو یقینی بناتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے اعلیٰ درستگی کے تقاضوں کے لیے ضروری ہے۔

Semicorex RTP Ring - SiC Coated Graphite Ring ایک اعلیٰ کارکردگی والا جزو ہے جسے ریپڈ تھرمل پروسیسنگ سسٹم میں استعمال کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اپنی بہترین تھرمل چالکتا، اعلی تھرمل اور کیمیائی مزاحمت، اور حسب ضرورت خصوصیات کے ساتھ، یہ سیمی کنڈکٹر کے عمل کا مطالبہ کرنے کے لیے ایک مثالی حل ہے۔ درست درجہ حرارت کنٹرول کو برقرار رکھنے اور اجزاء کی زندگی کو بڑھانے کی اس کی صلاحیت عمل کی کارکردگی کو نمایاں طور پر بڑھاتی ہے، آلودگی کے خطرات کو کم کرتی ہے، اور مسلسل، اعلیٰ معیار کے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کو یقینی بناتی ہے۔ Semicorex SiC-coated graphite RTP رنگ کا انتخاب کر کے، مینوفیکچررز اپنے RTP کے عمل میں اعلیٰ نتائج حاصل کر سکتے ہیں، اپنی پیداوار کی کارکردگی اور معیار دونوں کو بڑھا کر۔