آر ٹی پی ایس آئی سی کوٹنگ پلیٹیں

سیمیکوریکس آر ٹی پی ایس آئی سی کوٹنگ پلیٹیں صحت سے متعلق انجینئرڈ اجزاء ہیں جو خاص طور پر ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (آر ٹی پی) ایپلی کیشنز کے دوران ویفر سپورٹ کے لئے تیار کی گئیں ہیں۔ یہ آر ٹی پیsic کوٹنگپلیٹیں تھرمل استحکام ، کیمیائی مزاحمت ، اور مکینیکل طاقت کا ایک بہترین توازن پیش کرتی ہیں ، جس سے وہ جدید سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے مطالبے کے ماحول کے لئے مثالی ہیں۔

ہمارا آر ٹی پیsic کوٹنگپلیٹیں بہترین تھرمل یکسانیت اور کم سے کم آلودگی کے خطرے کو یقینی بناتی ہیں۔ ایس آئی سی کی سطح اعلی درجہ حرارت کے لئے غیر معمولی مزاحمت فراہم کرتی ہے-1300 ° C تک-اور جارحانہ کیمیائی ماحول ، جس میں آکسیجن ، نائٹروجن ، اور ہائیڈروجن سے بھرپور ماحول شامل ہے جو عام طور پر اینیلنگ ، آکسیکرن ، اور بازی کے عمل کے دوران استعمال ہوتا ہے۔

آئن ایمپلانٹیشن تھرمل بازی کی جگہ لے لیتا ہے کیونکہ اس کے ڈوپنگ پر اس کے موروثی کنٹرول کی وجہ سے۔ تاہم ، آئن امپلانٹیشن کے لئے آئن امپلانٹیشن کی وجہ سے جعلی نقصان کو دور کرنے کے لئے اینیلنگ نامی ہیٹنگ آپریشن کی ضرورت ہوتی ہے۔ روایتی طور پر ، اینیلنگ ایک ٹیوب ری ایکٹر میں کی جاتی ہے۔ اگرچہ اینیلنگ جعلی نقصان کو ختم کرسکتی ہے ، لیکن اس کی وجہ سے ڈوپنگ ایٹم بھی ویفر کے اندر پھیل جاتے ہیں ، جو ناپسندیدہ ہے۔ اس مسئلے نے لوگوں کو یہ مطالعہ کرنے پر مجبور کیا کہ آیا توانائی کے دوسرے ذرائع موجود ہیں جو ڈوپینٹس کو پھیلا دینے کے بغیر ایک ہی اینیلنگ اثر حاصل کرسکتے ہیں۔ اس تحقیق کے نتیجے میں ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (آر ٹی پی) کی ترقی ہوئی۔

آر ٹی پی عمل تھرمل تابکاری کے اصول پر مبنی ہے۔ آر ٹی پی پر ویفرsic کوٹنگپلیٹوں کو خود بخود ایک رد عمل چیمبر میں ایک inlet اور دکان کے ساتھ رکھا جاتا ہے۔ اندر ، حرارتی نظام ویفر کے اوپر یا نیچے ہے ، جس کی وجہ سے ویفر کو تیزی سے گرم کیا جاتا ہے۔ گرمی کے ذرائع میں گریفائٹ ہیٹر ، مائکروویو ، پلازما ، اور ٹنگسٹن آئوڈین لیمپ شامل ہیں۔ ٹنگسٹن آئوڈین لیمپ سب سے عام ہیں۔ تھرمل تابکاری کو ویفر سطح میں جوڑا جاتا ہے اور 50 ℃ ~ 100 ℃ فی سیکنڈ کی شرح سے 800 ℃ ~ 1050 ℃ کے عمل کے درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے۔ روایتی ری ایکٹر میں ، اسی درجہ حرارت تک پہنچنے میں کئی منٹ لگتے ہیں۔ اسی طرح ، ٹھنڈک سیکنڈ کے معاملے میں بھی کی جاسکتی ہے۔ ریڈی ایٹو ہیٹنگ کے ل the ، گرمی کا زیادہ تر حصہ گرمی کے مختصر وقت کی وجہ سے گرم نہیں ہوتا ہے۔ آئن امپلانٹیشن کے لئے اینیلنگ کے عمل کے ل this ، اس کا مطلب یہ ہے کہ جالیوں کو پہنچنے والے نقصان کی مرمت کی جاتی ہے جبکہ پرتیارہ ایٹم اپنی جگہ پر رہتے ہیں۔

آر ٹی پی ٹکنالوجی ایم او ایس گیٹس میں پتلی آکسائڈ پرتوں کی نشوونما کے لئے ایک فطری انتخاب ہے۔ چھوٹے اور چھوٹے ویفر طول و عرض کی طرف رجحان کے نتیجے میں ویفر میں پتلی اور پتلی پرتوں کو شامل کیا گیا ہے۔ موٹائی میں سب سے اہم کمی گیٹ آکسائڈ پرت میں ہے۔ اعلی درجے کے آلات کو 10A کی حد میں گیٹ کی موٹائی کی ضرورت ہوتی ہے۔ آکسائڈ کی اس طرح کی پتلی پرتوں کو تیز آکسیجن کی فراہمی اور راستہ کی ضرورت کی وجہ سے روایتی ری ایکٹرز میں کنٹرول کرنا مشکل ہوتا ہے۔ آر پی ٹی سسٹم کی تیزی سے ریمپنگ اور کولنگ مطلوبہ کنٹرول فراہم کرسکتی ہے۔ آکسیکرن کے لئے آر ٹی پی سسٹم کو ریپڈ تھرمل آکسیکرن (آر ٹی او) سسٹم بھی کہا جاتا ہے۔ وہ اینیلنگ سسٹم سے بہت ملتے جلتے ہیں ، سوائے اس کے کہ آکسیجن غیر فعال گیس کے بجائے استعمال ہوتا ہے۔