سلیکون مڑے ہوئے الیکٹروڈز

اعلی درجے کی اینچ آلات کے دوران، سلکان مڑے ہوئے الیکٹروڈ کو عام طور پر اینچنگ چیمبر کے اوپر نصب کیا جاتا ہے، جس کا رخ سیمی کنڈکٹر ویفر کی طرف ہوتا ہے۔ سلکان مڑے ہوئے الیکٹروڈ عام طور پر الیکٹرو اسٹیٹک چک، سی فوکس رِنگ، سی ایج رِنگ، سی ایگزاسٹ رِنگ، اور سی شیلڈنگ رِنگ کے ساتھ مل کر کام کرتا ہے تاکہ اعلیٰ درستی والی اینچنگ کے لیے بہترین آپریٹنگ حالات فراہم کیے جا سکیں۔

سیمیکوریکس سلکان مڑے ہوئے الیکٹروڈ کے افعال

1. پیچیدہ 3D ڈھانچہ ایچنگ کے ساتھ ہم آہنگ

غیر معمولی 3D الیکٹرک فیلڈ کنٹرول کی صلاحیت کے ساتھ، Semicorexسلیکن مڑے ہوئے الیکٹروڈپیچیدہ ڈھانچے کی ہندسی خصوصیات سے بالکل میل کھا سکتے ہیں۔ خصوصی خمیدہ ڈیزائن عین پلازما کنٹرول اور توانائی کی بہتر تقسیم کو قابل بناتا ہے، جو 3D ڈھانچہ ایچنگ کے پہلو کے تناسب اور سائیڈ وال کی عمودی کو نمایاں طور پر متاثر کرتا ہے اور جدید پیکیجنگ عمل اور 3D IC انضمام کی پیداوار لائن کی ضروریات کو پوری طرح پورا کرتا ہے۔

2. Etch گیس کی تقسیم کا عین مطابق کنٹرول

سیمیکوریکس سلکان مڑے ہوئے الیکٹروڈز اینچنگ چیمبر میں داخل ہونے کے لیے اینچ گیس کے لیے اپنی سطح پر یکساں طور پر تقسیم کیے گئے متعدد مائیکرو ہولز کی خصوصیت رکھتے ہیں۔ سیمیکوریکس سلیکون مڑے ہوئے الیکٹروڈز اینچنگ گیس پر قطعی کنٹرول حاصل کر سکتے ہیں اور اسے اینچنگ چیمبر میں یکساں طور پر تقسیم کرنے کی اجازت دیتے ہیں، اس طرح گیس کی غیر یکساں تقسیم کی وجہ سے ہونے والے عمل کے تغیرات کو کم کرتے ہیں۔

سیمیکوریکس سلکان مڑے ہوئے الیکٹروڈ کے فوائد

1. انتہائی اعلیٰ پاکیزگی

سیمیکوریکس سلکان مڑے ہوئے الیکٹروڈ انتہائی اعلیٰ پاکیزگی والے سنگل کرسٹل سے بنے ہیںسلکان99.9999999% سے اوپر پاکیزگی کی سطح کے ساتھ، پلازما کے کٹاؤ کے خلاف اعلیٰ مزاحمت پیش کرتا ہے۔ یہ اعلیٰ معیاری مواد کا انتخاب مؤثر طریقے سے غیر مطلوبہ آلودگی سے بچ سکتا ہے جو ضمنی پروڈکٹس کو کھینچنے کے نتیجے میں پیدا ہوتا ہے جبکہ سلیکون مڑے ہوئے الیکٹروڈ کی سروس لائف کو بھی نمایاں طور پر بڑھاتا ہے۔

2. بہترین برقی خصوصیات

MCZ سے تیار کردہ سنگل کرسٹل سلکان سے تیار کردہ، Semicorex سلکان خمیدہ الیکٹروڈز شاندار مزاحمتی یکسانیت کو ظاہر کرتے ہیں: 5%، اور ایک وسیع انتخابی مزاحمتی رینج: کم ریزولیوٹی۔ (<0.02)، درمیانی ریزرویشن۔ (1-4)، اور اعلی ریزولیوشن۔ (70-90)۔

3. صحت سے متعلق پروسیسنگ کی درستگی

اعلی درستگی والی مکینیکل پروسیسنگ کے ذریعے، Semicorex سلکان مڑے ہوئے الیکٹروڈ مسلسل تاکنا سائز اور یکساں سوراخ کی تقسیم کو حاصل کرتے ہیں۔ ان کی سطحیں باریک پالش اور گراؤنڈ ہیں: پالش (Ra <0.1 μm) اور گراؤنڈ (Ra <1.6 μm)، مجموعی طور پر مشینی درستگی کے ساتھ 0.03 ملی میٹر کے اندر کنٹرول کیا جاتا ہے۔