سنگل کرسٹل سلیکون الیکٹروڈ

سنگل کرسٹل سلکان الیکٹروڈعام طور پر اینچنگ چیمبر کے اوپر نصب ہوتے ہیں، جو اوپری الیکٹروڈ کے طور پر کام کرتے ہیں۔ سنگل کرسٹل سلکان الیکٹروڈ کی سطح یکساں طور پر تقسیم شدہ مائکرو ہولز کی خصوصیات رکھتی ہے، جو یکساں طور پر اینچنگ گیس کو ری ایکشن چیمبر میں پہنچا سکتی ہے۔ اینچنگ کے عمل کے دوران، وہ یکساں برقی میدان پیدا کرنے کے لیے نچلے الیکٹروڈ کے ساتھ کام کرتے ہیں، جو درست طریقے سے اینچنگ کے لیے ایک مثالی آپریٹنگ حالت فراہم کرنے میں معاون ہے۔

احتیاط سے مواد کا انتخاب

Semicorex سنگل کرسٹل سلیکون الیکٹروڈ تیار کرنے کے لیے پریمیم MCZ سے تیار کردہ مونوکریسٹل لائن سلکان کا انتخاب کرتا ہے، جو صنعت کی معروف مصنوعات کی کارکردگی اور معیار پیش کرتا ہے۔

1. انتہائی اعلیٰ پاکیزگی

Semicorex سنگل کرسٹل سلکان الیکٹروڈز 99.9999999% سے زیادہ کی انتہائی اعلیٰ پاکیزگی کی خصوصیت رکھتے ہیں، جس کا مطلب ہے کہ دھات کی اندرونی نجاست کا مواد انتہائی کم ہے۔

2. غیر معمولی مزاحمتی یکسانیت

روایتی CZ سنگل کرسٹل سلیکون سے مختلف، MCZ سے اگایا ہوا مونوکریسٹل لائن سیلیکون جو Semicorex استعمال کرتا ہے 5% سے کم مزاحمتی یکسانیت حاصل کرتا ہے۔ اس کی کم ریس 0.02 Ω·cm سے نیچے کنٹرول کیا جاتا ہے، درمیانی ریز. 0.2 اور 25Ω·cm کے درمیان ہے، اور اعلی ریزولیوشن۔ 70-90 Ω·cm کے درمیان ہے (حسب ضرورت درخواست پر دستیاب ہے)۔

3. بہترین مادی ڈھانچہ

MCZ طریقہ کے ذریعے اگایا جانے والا سنگل کرسٹل سلکان زیادہ مستحکم ڈھانچہ اور کم نقائص پیش کرتا ہے، جس سے Semicorex سنگل کرسٹل سلکان الیکٹروڈز پلازما کے سنکنرن کے خلاف مزاحمت فراہم کرتے ہیں اور سخت اینچنگ آپریٹنگ حالات کا مقابلہ کرتے ہیں۔

---

اعلی معیاری پروسیسنگ صحت سے متعلق

سیمیکوریکسسنگل کرسٹل سلکانالیکٹروڈز سلکان انگوٹ سے تیار مصنوعات تک مکمل پیداواری عمل کے ذریعے تیار کیے جاتے ہیں، بشمول سلائسنگ، سطح پیسنا، سوراخ کی کھدائی، گیلی اینچنگ، اور سطح پالش کرنا۔ سیمیکوریکس ہر قدم میں سخت درستگی کے کنٹرول کو برقرار رکھتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ قطر، موٹائی، سطح کی منصوبہ بندی، سوراخ کے درمیان وقفہ، اور الیکٹروڈ کے یپرچر کو مثالی رواداری کے اندر برقرار رکھا گیا ہے۔

1. مائکرو ہول پروسیسنگ

سنگل کرسٹل سلیکون الیکٹروڈ پر مائیکرو ہولز میں یکساں فاصلہ اور مستقل قطر (0.2 سے 0.8 ملی میٹر تک)، ہموار اور گڑبڑ سے پاک اندرونی دیواروں کے ساتھ۔ یہ مؤثر طریقے سے اینچنگ گیس کی یکساں اور مستحکم فراہمی کی ضمانت دیتا ہے، اس طرح ویفر اینچنگ کی یکسانیت اور درستگی کو یقینی بناتا ہے۔

2. پروسیسنگ کی درستگی

Semicorex سنگل کرسٹل سلکان الیکٹروڈ کی پروسیسنگ کی درستگی 0.3 ملی میٹر کے اندر کنٹرول کی جاتی ہے، اور ان کی پالش کی درستگی کو 0.1 µm سے نیچے سختی سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، اور باریک پیسنا 1.6 µm سے کم ہے۔