سی سی لیپت سیاروں کے سسپٹرز

Semicorex SiC-coated planetary susceptors ایک ناگزیر معاون جزو ہیں جو Aixtron G2 آلات میں سیمی کنڈکٹر اپیٹیکسیل گروتھ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جس میں وہ محفوظ طریقے سے ویفرز کو سپورٹ کرنے اور سیاروں کی حرکت کے طریقے سے گھومنے کے قابل ہیں۔ اس طرح، عین مطابق تھرمل یکسانیت اور ویفر سطح پر گیس کی یکساں تقسیم کامیابی سے حاصل کی جا سکتی ہے، جس کے نتیجے میں ویفرز پر پریمیم کوالٹی ایپیٹیکسیل پرت جمع ہوتی ہے۔

Semicorex SiC-coated Planetary susceptors کے فوائد

1. ملٹی ویفر جیب ڈیزائن

سیمیکوریکس سی سی لیپتسیاروں کے حساسعین مطابق کنٹرول شدہ طول و عرض کے ساتھ متعدد ویفر جیبوں کی یکساں تقسیم کو نمایاں کریں۔ یہ ویفر جیب ایپیٹیکسیل گروتھ کے عمل کے دوران ویفر سبسٹریٹس کو مضبوطی سے پکڑنے کے قابل ہیں، جو ویفر سبسٹریٹس کی ناپسندیدہ حرکت کی وجہ سے ہونے والی ایپیٹیکسیل عمل کی مختلف حالتوں کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتی ہے۔ اس کے علاوہ، یہ ملٹی ویفر جیب ڈیزائن متعدد ویفر سبسٹریٹس کو ایک ہی عمل میں بیک وقت ایپیٹیکسیل ڈیپوزیشن سے گزرنے کی اجازت دیتا ہے، جس سے ایپیٹیکسیل گروتھ کے عمل کی مجموعی کارکردگی میں بہت بہتری آتی ہے۔

2. آپٹمائزڈ گیس فلو ہول کا انتظام

Semicorex اپنے میں گیس کے بہاؤ کے چینلز کا ایک احتیاط سے انجنیئر سیٹ شامل کرتا ہے۔SiC-caotedسیاروں کے سسپٹرز، جو گیس کے بہاؤ کی حرکیات اور تھرمل یکسانیت کو ویفر سطح کے پورے ایپیٹیکسیل عمل کے دوران بہتر بناتے ہیں۔ یہ سوچا سمجھا ڈیزائن ری ایکشن چیمبر کے اندر گیس کے بہاؤ کی شرح اور تقسیم پر درست کنٹرول کو قابل بناتا ہے، جو اعلیٰ معیار کی پتلی فلموں، یکساں پرت کی موٹائی، اور آلے کی قابل اعتماد مجموعی کارکردگی کے حصول کے لیے ضروری ہے۔

3. انتہائی اعلیٰ صفائی

Semicorex SiC-coated Planetary susceptors انتہائی اعلیٰ پاکیزگی والے مواد اور انتہائی کم ناپاکی کی سطح کے ساتھ تیار کیے جاتے ہیں، جو سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کی سخت صفائی کی ضروریات کو پوری طرح پورا کرتے ہیں۔ وہ دھاتی آؤٹ گیسنگ کی وجہ سے ہونے والی ویفر آلودگی کو مؤثر طریقے سے کم کرتے ہیں، یہاں تک کہ اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن حالات کے تحت بھی جو epitaxial عمل کی مخصوص ہے۔

4. دیرپا سروس کی زندگی

سیمیکوریکس کا کوالٹی کنٹرول ہمارے خام مال کے سخت انتخاب سے شروع ہوتا ہے۔ SiC کوٹڈ سیاروں کے سسپٹرز سیمی کنڈکٹر گریڈ گریفائٹ اور سلکان کاربائیڈ سے درست طریقے سے تیار کیے گئے ہیں، جو بہترین اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت پیش کرتے ہیں، جس سے وہ چیلنجنگ اعلی درجہ حرارت، انتہائی سنکنرن اپیٹیکسیل آپریٹنگ حالات کا بالکل مقابلہ کرتے ہیں۔ ان بہترین مادی خصوصیات کے ساتھ، Semicorex SiC-coated Planetary susceptors اپنی مسلسل کارکردگی اور ساختی سالمیت کو برقرار رکھ سکتے ہیں اور اعلی درجہ حرارت اور اعلی سنکنرن رد عمل والے چیمبرز میں اپنی سطح کو پہنچنے والے نقصان اور کارکردگی میں کمی سے بچ سکتے ہیں، جو اس طرح SiC-coated Planetary susceptors کی سروس لائف کو بہت زیادہ بڑھاتے ہیں۔